一种光刻胶去边机的制作方法

本实用新型涉及一种光刻胶去边机，属于材料加工设备领域。

背景技术：

目前，对基片涂胶是利用旋转涂胶机来完成的，将基片放在旋转涂胶台上，滴加光刻胶后，通过控制旋转涂胶台的转动从而使基片涂覆上一层薄薄的光刻胶。但是，由于离心力及基片转动过程中上下表面空气流速的影响，使得涂覆的光刻胶外边缘微微凸起，在后续的曝光工序中需将掩膜板盖在基片上，由于凸起的形成，使得掩膜板与基片间出现了间隙，该间隙造成曝光区域改变。现有技术中为了消除凸起，采用的方法是在涂胶后，将光刻胶烘干，继而人工用刀具刮除凸起部分。用刀具刮除光刻胶凸起效率低且品质不易把控。

技术实现要素：

为了解决现有技术中光刻胶边缘凸起去除耗时、低效且不精准的问题，本实用新型提供一种光刻胶去边机。

本实用新型的技术方案如下：一种光刻胶去边机，包括真空涂胶装置，所述真空涂胶装置包括一透明硬质腔室和一设于腔室外部并与腔室连接的真空泵，所述腔室内设置有旋转涂胶台、涂胶嘴和刮胶装置，所述涂胶嘴设置在刮胶装置上并位于旋转涂胶台的中心上方；

所述刮胶装置包括与腔室顶部连接的操作臂、固定于操作臂自由端的溶剂喷头以及与溶剂喷头连通的溶剂喷雾装置，所述操作臂设置在一与腔室底部连接的L型支架上，操作臂包括第一伸缩支臂和第二伸缩支臂，所述第一伸缩支臂竖直设置，其一端与L型支架自由端下侧壁可转动连接且位于旋转涂胶台的中心上方，第一伸缩支臂绕着第一伸缩支臂与L型支架自由端下侧壁的连接点旋转，其另一端与水平设置的第二伸缩支臂一端连接；所述涂胶嘴设置在第一伸缩支臂和第二伸缩支臂连接处。

其中，所述第一伸缩支臂和第二伸缩支臂表面均设置有刻度。

其中，所述第一伸缩支臂与第一电动机的转轴连接，第一电动机驱动第一伸缩支臂伸缩，所述第一电动机与第一电动机控制器电连接，第一电动机控制器控制第一电动机启停；所述第二伸缩支臂与第二电动机的转轴连接，第二电动机驱动第二伸缩支臂伸缩，所述第二电动机与第二电动机控制器电连接，第二电动机控制器控制第二电动机启停。

其中，所述溶剂喷头与操作臂交界处竖直设置有一与溶剂喷头等宽度的隔离挡板，所述隔离挡板其中一端设有一延伸部，所述延伸部上连接有擦胶辊筒，所述擦胶辊筒表面覆盖有吸水性材料。

其中，所述溶剂喷雾装置包括气动隔膜泵和溶剂罐，所述气动隔膜泵包括泵腔、设置在泵腔内的隔膜，所述隔膜将泵腔分隔成溶液腔和气体腔，所述溶液腔设有溶液入口和溶液出口，所述溶液入口和溶液出口处均设置有浮球阀，所述溶液入口与溶剂罐连通，所述溶液出口与溶剂喷头连通；所述气体腔与一电动活塞的活塞腔连通。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型的操作臂由竖直以及水平设置的伸缩支臂连接而成，从而可以调整竖直方向以及水平方向的伸缩量，使操作臂可精准调节；

2、本实用新型的刮胶装置的溶剂喷头与操作臂交接处下方设置有隔离挡板，防止从溶剂喷头喷出的溶剂将边缘以内的光刻胶去除；

3、本实用新型的刮胶装置设置有擦胶辊筒，溶剂喷出后擦胶辊筒随后将溶解后的光刻胶拭擦掉，防止溶解后的光刻胶继续粘接在晶体上；

4、本实用新型的溶剂喷雾装置采用气动隔膜泵来实现溶剂的喷出，溶剂在气动隔膜泵中无需与气缸接触，安全性高，且气动隔膜泵的出口设有浮球阀，在非工作状态下，浮球阀能够将通道密封，减少酒精溶剂的挥发。

附图说明

图1为本实用新型的真空涂胶装置结构示意图；

图2为本实用新型的刮胶装置结构示意图；

图3为本实用新型的溶剂喷雾装置进液过程结构示意图；

图4为本实用新型的溶剂喷雾装置出液过程结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-真空涂胶装置、11-腔室、12-真空泵、13-旋转涂胶台、14-涂胶嘴、2-刮胶装置、21-操作臂、211-第一伸缩支臂、212-第二伸缩支臂、22-溶剂喷头、23-溶剂喷雾装置、231-气动隔膜泵、232-泵腔、2321-溶液腔、2322-气体腔、2323-溶液入口、2324-溶液出口、2325-浮球阀、233-隔膜、234-电动活塞、235-溶剂罐、24-隔离挡板、25-延伸部、26-擦胶辊筒。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。参见图1至图2，一种光刻胶去边机，包括真空涂胶装置1，所述真空涂胶装置1包括一透明硬质腔室11和一设于腔室11外部并与腔室11连接的真空泵12，所述腔室11内设置有旋转涂胶台13、涂胶嘴14和刮胶装置2，所述涂胶嘴14设置在刮胶装置2上并位于旋转涂胶台13的中心上方；

所述刮胶装置2包括与腔室11顶部连接的操作臂21、固定于操作臂21自由端的溶剂喷头22以及与溶剂喷头22连通的溶剂喷雾装置23，所述操作臂21设置在一与腔室11底部连接的L型支架上，操作臂21包括第一伸缩支臂211和第二伸缩支臂212，所述第一伸缩支臂211竖直设置，其一端与L型支架自由端下侧壁可转动连接且位于旋转涂胶台13的中心上方，第一伸缩支臂211绕着第一伸缩支臂211与L型支架自由端下侧壁的连接点旋转，其另一端与水平设置的第二伸缩支臂212一端连接；所述涂胶嘴14设置在第一伸缩支臂211和第二伸缩支臂212连接处。

优选的，所述第一伸缩支臂211和第二伸缩支臂212表面均设置有刻度。

优选的，所述第一伸缩支臂211与第一电动机的转轴连接，第一电动机驱动第一伸缩支臂211伸缩，所述第一电动机与第一电动机控制器电连接，第一电动机控制器控制第一电动机启停；所述第二伸缩支臂212与第二电动机的转轴连接，第二电动机驱动第二伸缩支臂212伸缩，所述第二电动机与第二电动机控制器电连接，第二电动机控制器控制第二电动机启停。

优选的，所述溶剂喷头22与操作臂21交界处下方竖直设置有一与溶剂喷头22等宽度的隔离挡板24，所述隔离挡板24其中一端设有一延伸部25，所述延伸部25上连接有擦胶辊筒26，所述擦胶辊筒26表面覆盖有吸水性材料。

优选的，参见图3及图4，所述溶剂喷雾装置23包括气动隔膜泵231和溶剂罐235，所述气动隔膜泵231包括泵腔232、设置在泵腔232内的隔膜233，所述隔膜233将泵腔232分隔成溶液腔2321和气体腔2322，所述溶液腔2321设有溶液入口2323和溶液出口2324，所述溶液入口2323和溶液出口2324处均设置有浮球阀2325，所述溶液入口2323与溶剂罐235连通，所述溶液出口2324与溶剂喷头22连通；所述气体腔2322与一电动活塞234的活塞腔连通。

本实用新型工作原理：

在腔室1中，将晶片固定在旋转涂胶台13上，从涂胶嘴14滴下的光刻胶后旋转涂胶台13转动，将所需位置上胶后，在光刻胶为流体状态时，需将涂胶位置的外边缘的光刻胶去除。预留中心百分九十的光刻胶，将其外圈的百分之十光刻胶去除，首先，调整第一伸缩支臂211至光刻胶中心位置，并伸缩第一伸缩支臂211调整其离光刻胶的高度位置，调整第二伸缩支臂212的伸缩量，使其末端的溶剂喷头22对准需要去除的光刻胶位置；控制第一伸缩支臂211使其绕着其与顶部连接点旋转，旋转的同时溶剂喷头喷出酒精将光刻胶溶解后去除。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。