一种改良型电控全固态智能调光装置的制作方法

技术特征：

1.一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述改良型电控全固态智能调光装置至透明基体（1）自下而上呈层叠依次设置：透明基体（1）、电介质复合强化层（2）、下透明电极层（3）、下电致变色层（4）、离子传导层（5）、上电致变色层（6）、上透明电极层（7）、电介质复合保护层（8）。

2.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述电介质复合强化层（2）包括SiO2层、TiO2层、Si3N4层、Si2N2O层、ZnSnO2层、Nb2O5层、ZnO层、ZrO2层、NbZr层、BiO2层、Al2O3层、Cr2N层中的其中一种或几种。

3.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述电介质复合保护层（8）包括TiO2层、Cr2N层、ZnSnO2层、ZnO层、ZrO2层、NbZr层、Si3N4层、SiO2层、Si2N2O层、BiO2层、Al2O3层、Nb2O5层、Cr层、Al层、Pd层中的其中一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述下透明电极层（3）包括氧化物掺杂或金属掺杂或无掺杂的FTO层、ATO层、ITO层、Ag层、Au层、Cu层、AZO层、GZO层、GXO层、Al层、Cr层、Pt层中的至少其中之一。

5.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述上透明电极层（7）包括氧化物掺杂或金属掺杂或无掺杂的Cr层、Al层、ITO层、Ni层、FTO层、Au层、ATO层、Ag层、Cu层、AZO层、Pt层中的至少其中之一。

6.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述下电致变色层（4）包括WO3层、Ta2O5层、V2O5层、MoO3层、Nb2O5层、TiO2层、Ir2O3层中的至少其中之一。

7.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述下电致变色层（4）包括氧化物掺杂的WO3层、Ta2O5层、V2O5层、MoO3层、Nb2O5层、TiO2层、SnO2层中的至少其中之一。

8.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述离子传导层（5）包括固态锂盐之LiTaO3层、Li3N层、LiNbO3层、LiBO2层、LiF层、LiA1F4层、LiA1C1层、LiPON层中的其中一种或几种。

9.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述上电致变色层（6）包括NiOx层、Ir2O3层、Rh2O3层、CoO2层、InN层中的至少其中之一。

10.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述上电致变色层（6）包括氧化物掺杂的NiOx层、Ir2O3层、Rh2O3层、CoO2层中的一种或几种。

11.根据权利要求9或10所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述NiOx中的x是不同于氧化镍NiO的化学计量数，NiOx具体取值范围：0<x<1，或0.2<x<0.9，或0.4<x<0.8。

12.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述透明基体（1）为玻璃、PMMA、PC、PET的至少其中之一。

13.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述电介质复合强化层（2）厚度为60～100nm，下透明电极层（3）厚度为50～150nm，下电致变色层（4）厚度为200～400nm，离子传导层（5）厚度为10～2000nm，上电致变色层（6）厚度为150～350nm，上透明电极层（7）厚度为50～250nm，电介质复合保护层（8）厚度为50～150nm。

14.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述下透明电极层（3）与上透明电极层（7）的电阻均小于20Ω。

15.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，还包括低辐射功能膜、防晒功能膜、疏水功能膜、亲水功能膜、减反射功能膜、电磁屏蔽功能膜、抗尘土光催化功能膜的其中之一或者其组合。

16.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述改良型电控全固态智能调光装置的光热比为4.0～7.8。

17.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述电介质复合强化层（2）、下透明电极层（3）、下电致变色层（4）、离子传导层（5）、上电致变色层（6）、上透明电极层（7）、电介质复合保护层（8）均采用真空磁控溅射工艺制备。

18.根据权利要求17所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述真空磁控溅射工艺采用双交流旋转阴极、双交流平面阴极、双直流平面阴极、单直流平面阴极、单直流旋转阴极的至少其中之一在氩氧、氩氮或氩氧氮氛围中沉积成膜。

19.根据权利要求1所述的一种改良型电控全固态智能调光装置，其特征是，所述下透明电极层（3）与上透明电极层（7）均采用真空高温退火工艺制备。

20.一种玻璃窗，其特征是，所述玻璃窗具有权利要求1-19中任意一项所述的改良型电控全固态智能调光装置。