一种采用脉冲激光加工全息金光栅的装置及方法与流程

文档序号:15461391发布日期:2018-09-18 18:14阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于光栅加工技术研究领域,具体涉及一种采用脉冲激光加工全息金光栅的装置及方法,该装置包括脉冲激光器、扩束准直系统、第一反射镜、玻璃基底、角度调节间隔子、第二反射镜、电动位移平台和控制电脑,加工全息金光栅的方法采用固体脉冲激光器,并结合全息成像技术,利用等厚干涉的全息记录技术,使得加工的系统采用共光路结构,加工过程不需要对脉冲激光进行分光束干涉,提高了系统的稳定度,并且能够实现光栅刻线周期以及光栅面积的灵活调节,是一种稳定性好、加工效率高、光栅刻线周期及光栅面积可灵活调节的光栅加工技术。该光栅加工的装置及方法是基于脉冲激光和等厚干涉技术实现的。

技术研发人员:李克武;王志斌;王爽;李晓
受保护的技术使用者:中北大学
技术研发日:2018.04.12
技术公布日:2018.09.18

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