技术特征：
技术总结
本发明公开的一种MEMS可调光滤波器，是一种基于MEMS微镜和滤光片的可调光滤波器，该可调光滤波器包括以光路依次连接的MEMS微镜(4)、滤光片(5)、透镜(3)、反射镜(8)。本发明通过旋转MEMS微镜，可以改变入射到滤光片上的光线角度，从而改变滤光片输出的光波长，达到滤波的目的；通过级联滤波片，在实现精细光谱输出的同时，还可以实现输出光谱带宽的灵活可调，级联的方式有滤光片直接级联，也有级联可调光滤波器模块；有效地利用了MEMS微镜的旋转角度，光路设计紧凑。
技术研发人员：王念
受保护的技术使用者：王念
技术研发日：2018.05.07
技术公布日：2018.11.02