技术特征：
技术总结
一种用于检查物体的表面的装置具有第一光源，该第一光源用于照射物体而不在物体上产生图案化图像。第二光源将由来自第二光源的第一偏振光产生的图案化图像投影到物体上，其中第一偏振光是在第一偏振方向上偏振的。第三光源将由来自第三光源的第二偏振光产生的图案化图像投影到物体上，其中第二偏振光是在不同于第一偏振方向的第二偏振方向上偏振的。当物体分别由第一、第二和第三光源照射时，成像设备观察物体的表面以便确定物体的表面的轮廓。
技术研发人员：施会丰;宋雷;邓江汶
受保护的技术使用者：先进科技新加坡有限公司
技术研发日：2018.05.21
技术公布日：2018.12.07