集尘装置以及集尘方法与流程

本发明实施方式涉及集尘装置以及集尘方法。

背景技术：

伴随着近年来的半导体装置的高集成化及大容量化，半导体装置所要求的电路线宽日益微小。为了实现半导体装置所希望的电路图案，使用了平板印刷技术。在该平板印刷技术中，进行采用被称为掩模(reticle：刻线)的原画图案的图案转印。为了制造该图案转印中使用的高精度的掩模，采用具有良好的分辨率的带电粒子束描绘装置。

在该带电粒子束描绘装置中，设有对载放掩模、胚料(blank)等试料的载台进行收容的描绘室、对试料搬送用的机械手装置进行收容的机械手室、试料搬入搬出用的预真空锁(loadlock)室等，这些室的内部通常维持为真空状态。试料被机械手装置从预真空锁室经由机械手室搬入到描绘室，在描绘后被从描绘室搬出并经由机械手室返回到预真空锁室。在图案的描绘时，使载放有试料的载台移动并且使电荷粒子束偏转而照射到载台上的试料的规定位置，在载台上的试料上描绘图案。

在带电粒子束描绘装置内，由于各种理由，有存在灰尘(例如垃圾等杂质)的情况。这样，若带电粒子束描绘装置内存在灰尘，则在试料搬送中或描绘时等灰尘会向试料附着。例如，若在描绘前灰尘附着于试料，则因该灰尘而产生描绘不良。这样，灰尘的附着成为试料品质即制品品质下降的要因，需要抑制因灰尘的附着引起的制品品质的下降。另一方面，为了清洁装置内的灰尘，需要打破真空而对装置内的机构进行清洁。但是，将带电粒子束描绘装置内抽真空需要大量的时间。此外，在将带电粒子束描绘装置内抽真空后，还需要带电粒子束描绘装置内的电子光学系统的调整。因此，带电粒子束描绘装置无法运转的时间(停机时间)会变长。有可能因为停机时间而引起成品率降低。由于成品率的降低，掩模的制造所花费的成本也有增大的可能性。因此，需要降低由灰尘引起的装置的停机时间的发生。

技术实现要素：

本发明的实施方式提供能够抑制由灰尘的附着引起的制品品质的下降的集尘装置以及集尘方法。

实施方式的集尘装置具备：主体，在第1面配置有第1电极的背面；固定部，对上述第1电极、以及上述主体的装拆进行控制；第2电极，向上述第1电极传送电压；以及控制基板，对施加于上述第2电极的电压的大小以及定时进行控制。

附图说明

图1是第1实施方式的集尘装置的立体图。

图2是从图1的s1方向观察集尘装置的图。

图3是示意性表示第1实施方式的被搬送集尘装置的带电粒子束描绘装置的结构的概略图。

图4是集尘装置的动作例，是表示高电压产生部向可更换电极施加的电压与时间的关系的图。

图5是第2实施方式的集尘装置的立体图。

图6是从图5的s2方向观察集尘装置的图。

图7是从图1的s1方向观察集尘装置的图。

图8是示意性表示第3实施方式的被搬送集尘装置的带电粒子束描绘装置的结构的概略图。

图9是从图5的s2方向观察集尘装置的图。

图10是示意性表示第3实施方式的被搬送集尘装置的带电粒子束描绘装置的结构的概略图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明实施方式。在该说明时，在全图中对共通的部分附加共通的参照符号。

附图是示意性的图，应留意到厚度与平面尺寸的关系、各层的厚度的比率等与实际情况不同。因而，具体的厚度及尺寸应参照以下的说明进行判断。此外，在附图彼此之间当然也包含彼此的尺寸关系及比率不同的部分。

各功能块能够作为硬件、计算机软件中的某一方或两者的组合来实现。因此，关于各块，为了明确可以是它们中的任一方，大致根据它们功能的观点在以下说明。这样的功能是作为硬件来执行还是作为软件来执行，取决于具体的实施方式或系统整体所负担的设计制约。本领域技术人员按每个具体实施方式，能够用各种方法实现它们的功能，但决定那样的实现包含在本发明的范畴内。

以下，在各实施方式中，说明对作为清洁对象装置的半导体制造装置(带电粒子束描绘装置)内的灰尘进行清洁(除去)的集尘装置。

＜1＞第1实施方式

＜1－1＞构成

＜1－1－1＞集尘装置

利用图1及图2，说明第1实施方式的集尘装置的结构。图1是第1实施方式的集尘装置的立体图。图2是从图1的s1方向观察集尘装置的图。另外，图2将集尘装置的一部分表现为功能块。

对集尘装置100的结构进行说明。如图1及图2所示，集尘装置100中，在主体101的第1面(由d1方向及d2方向构成的平面)上，配置有可更换电极(集尘部)110的背面。并且，通过设置在集尘装置100的第1面的电极130以及固定部140(基座部141、支承部142)，将可更换电极110机械固定到主体101的第1面。固定部140具备在第1面的端部配置的基座部141、和与基座部141连接并对可更换电极110表面(与背面对置的面)进行支承的支承部142。支承部142具备第1支承部142a和第2支承部142b。第1支承部142a例如是沿着配置可更换电极110的区域的板状的构造，一端被固定到基座部141。第2支承部142b例如是箱形状的构造，设置在第1支承部142a的另一端。第1支承部142a例如是板簧，具有通过施加力而变形且在将力去除时复原的性质。在第1支承部142a上没有施加力的状态下，第2支承部142b配置为，在主体101的第1面上，将可更换电极110固定。在将可更换电极110固定到主体101的第1面上的情况下，能够通过对第1支承部142a施加力、使第2支承部142b从配置可更换电极110的区域错开而实现。即，通过使支承部142可动，能够将可更换电极110对于主体101的第1面进行装拆。另外，主体101的第1面的外形例如与所描绘的试料大致相同。即，集尘装置100的与d1方向及d2方向平行的面的外形与所描绘的试料大致相同。另外，图1中，通过2个电极130及2个固定部140，将可更换电极110固定到主体101的第1面。但不限于此。即，电极130的数量与固定部140的数量能够适当变更。

可更换电极110是导电性的基板，作为一例，是被加工成与所描绘的试料大致相同的形状的硅基板。并且，可更换电极110通过经由电极130而被施加电压，从而可更换电极110带电。在带电状态的可更换电极110与灰尘之间，作用有相互吸引的静电力。由此，灰尘被吸附到可更换电极110的表面(与背面对置的面)上。此外，在带电状态的可更换电极110的表面上，由于电位被保持，所以吸附到可更换电极110的表面上的灰尘在静电力的作用下保持被吸附到可更换电极110的表面的状态。

如图2所示，主体101具备控制基板120。控制基板120上形成有电路，控制基板120具备由电路实现的控制部121、存储器122、电源123、高电压产生部124、监视部125和计时器126。

控制部121对存储器122、电源123、高电压产生部124、监视部125和计时器126进行控制。

存储器122存储各种信息。作为在存储器122中存储的信息的一例，是用于使高电压产生部124生成电压的设定信息、关于放电的信息等。存储器122例如是非易失性的存储装置。集尘装置的用户能够在存储器122中记录所希望的设定信息。此外，存储器122存储集尘装置100动作期间的、集尘装置100的各种物理量。用户通过经由存储器122参照物理量，从而能够进行例如可更换电极110的放电的有无、可更换电极110的放电次数的确认。

电源123是使集尘装置100的各结构动作所需要的电源。电源123是例如电池等。

高电压产生部124基于从电源123供给的电源而生成高电压，向电极130供给。电极130对来自高电压产生部124的电压进行传送，从而可更换电极110带电，灰尘被吸附到可更换电极110。高电压产生部124例如是科克罗夫特·沃尔顿(cockcroftwalton)电路、使用了压电变压器的升压电路。

监视部125监视来自高电压产生部124的电压的输出、以及在集尘装置100中流过的电流。监视部125将电流的值与例如在存储器122中存储的放电判断用的电流值进行比较。并且，在监视部125判断为超过放电判断用的电流值而流过电流的情况下，监视部125经由控制部121，使高电压产生部124的电压生成停止。由此，能够抑制放电。另外，这里，控制部121与监视部125作为独立的结构进行说明，但作为硬件也可以成为一体。

计时器126响应于控制部121的命令而计时。并且，控制部121基于由计时器126计时到的时刻，对高电压产生部124的电压生成进行控制。

此外，如图2所示，在主体101的与第1面对置的第2面，设有接地部150。接地部150连接到集尘装置100被搬入的装置(例如，带电粒子束描绘装置)内的接地部。由此，集尘装置100能够经由接地部150，共用集尘装置100被搬入的装置的接地电压。经由接地部150而得的集尘装置100被搬入的装置的接地电压被高电压产生部124共用。因此，高电压产生部124能够以集尘装置100被搬入的装置的接地电压为基准来生成电压。结果，可更换电极110以规定的电位带电，能够进行清洁。另外，在主体101的第2面上配置的接地部150的数量能够适当变更。

＜1－1－2＞带电粒子束描绘装置

如上所述，本实施方式的集尘装置例如被搬送到带电粒子束描绘装置。这里，利用图3，对本实施方式的搬送集尘装置的带电粒子束描绘装置的结构进行说明。图3是示意性表示带电粒子束描绘装置的结构的概略图。该带电粒子束描绘装置是利用例如电子束作为带电粒子束的可变成形型的描绘装置的一例。另外，带电粒子束不限于电子束，也可以是加工装置等一般性半导体制造装置。

如图3所示，带电粒子束描绘装置1具备：对载台2a进行收容的描绘室2，所述载台2a对作为描绘对象的试料w进行支承；光学镜筒3，向载台2a上的试料w照射电子束b；机械手室4，对试料w搬送用的机械手装置4a进行收容；试料w搬入搬出用的预真空锁室5；以及对各部进行控制的控制装置6。另外，描绘室2、光学镜筒3以及机械手室4的内部通常被维持为真空状态。此外，在描绘室2与机械手室4之间设有闸阀(gatevalve)11，在机械手室4与预真空锁室5之间设有闸阀12。

描绘室2是对载放作为描绘对象的试料w的载台2a进行收容的描绘腔室。描绘腔室具有气密性，作为真空腔室而发挥功能。该描绘室2内的载台2a形成为，能够通过移动机构，沿在水平面内相互正交的x轴方向和y轴方向移动。在载台2a的载放面上，载放例如掩模等试料w。

光学镜筒3设在描绘室2的上方，是与该描绘室2的内部相连的镜筒。光学镜筒3通过带电粒子光学系统使电子束b成形及偏转，并对描绘室2内的载台2a上的试料w照射。该光学镜筒3具备：射出电子束b的电子枪等波束射出部21、将该电子束b聚光的照明透镜22、波束成形用的第一孔径23、投影用的投影透镜24、波束成形用的成形偏转器25、波束成形用的第二孔径26、使波束焦点结到试料w上的物镜透镜27、以及用于控制对试料w的波束发射位置的副偏转器28及主偏转器29。

该光学镜筒3中，电子束b从波束射出部21射出，被照明透镜22向第一孔径23照射。该第一孔径23具有例如矩形的开口。由此，当电子束b通过第一孔径23，则该电子束的截面形状成形为矩形状，并被投影透镜24向第二孔径26投影。另外，成形偏转器25能够将该投影位置偏转。成形偏转器25能够通过变更投影位置来控制电子束b的形状和尺寸。然后，通过了第二孔径26的电子束b在物镜透镜27的作用下其焦点对应于载台2a上的试料w而照射。此时，副偏转器28及主偏转器29能够使电子束b对于载台2a上的试料w的发射位置偏转。

机械手室4设置在与描绘室2相邻的位置，经由闸阀11而与同其相邻的描绘室2连接。该机械手室4具有气密性，作为对搬送试料w的机械手装置4a进行收容的真空腔室(搬送室)发挥功能。另外，机械手装置4a具有保持试料w而使其移动的机械手手部31及机械手臂部32，作为进行相邻的各室间的试料w的搬送的搬送装置而发挥功能。

该机械手室4分别连接着用于进行试料w的定位的对准室(未图示)及用于向试料w设置接地(earth)体(基板罩)的设置室(未图示)等。另外，接地体具有将试料w的上表面周缘部覆盖的框状(边框状)的框架及多条接地管脚。该接地体在被设置到试料w的上表面的状态下，捕捉在描绘中在试料w的周缘部附近散乱的电子而防止试料周缘部的带电。

预真空锁室5设置在与机械手室4相邻且与描绘室2侧相反侧的位置，经由闸阀12而与机械手室4连接。该预真空锁室5具有气密性，作为提供试料w待机用的空间的真空腔室发挥功能。预真空锁室5内的压力被控制为与描绘室2、光学镜筒3及机械手室4相同程度的真空压和大气压。即，能够利用预真空锁室5，将载放有试料w的环境氛围切换为真空环境氛围和大气环境氛围。利用该预真空锁室5，防止描绘室2及光学镜筒3、机械手室4的大气开放，将它们的内部维持为真空状态。

控制装置6具备对关于描绘的各部进行控制的描绘控制部6a、和对系统整体进行控制的系统控制部6b。另外，在基于电子束b进行描绘时，描绘用的发射数据被输入到描绘控制部6a。该发射数据是将由描绘数据规定的描绘图案分割为多个条区域(较长方向为x轴方向，较短方向为y轴方向)、进而将各条区域分割为矩阵状的许多子区域的数据。

描绘控制部6a，在将描绘图案描绘于载台2a上的试料w时，使载台2a沿条区域的较长方向(x轴方向)移动，并且基于发射数据，利用主偏转器29将电子束b定位于各子区域，利用副偏转器28向子区域的规定位置进行发射而描绘图形。然后，当1个条区域的描绘完成，则使载台2a沿y轴方向步进移动后进行接下来的条区域的描绘，重复该动作而在试料w的描绘区域的整体进行基于电子束b的描绘(描绘动作的一例)。

系统控制部6b除了描绘控制部6a之外，对机械手装置4a等进行控制。例如，系统控制部6b对描绘控制部6a发送描绘开始指示、发射数据等，控制用于通过机械手装置4a搬送试料w的电压供给等。

如上所述，集尘装置100的外形与试料w的外形大致相同。因此，集尘装置100能够与试料w同样地向带电粒子束描绘装置1搬入、或从带电粒子束描绘装置1搬出。集尘装置100能够被搬送到描绘室2内、机械手室4内、预真空锁室5、对准室(未图示)以及设置室(未图示)内等。并且，被搬送到各室内的集尘装置100通过接地部150而与各室内的接地部连接。由此，集尘装置100能够共用各室的接地电压。此外，集尘装置100也可以经由接地部150而与机械手装置4a接地。由此，集尘装置100即使在搬送中也能够进行清洁。

＜1－2＞动作

＜1－2－1＞带电粒子束描绘装置的动作

在说明集尘装置的动作前，对带电粒子束描绘装置的动作进行说明。首先，试料w被投入到预真空锁室5，通过减压使预真空锁室5从大气状态成为真空状态。当预真空锁室5成为真空状态，则闸阀12打开，由机械手装置4a将试料w从预真空锁室5向与机械手室4相连的对准室搬送，然后，闸阀12关闭。当在对准室内完成试料w的定位，在不需要在试料w上设置接地体的情况下(例如，上述的试料周边部的带电不成为问题的情况下)，由机械手装置4a将试料w从对准室搬出，闸阀11打开而将试料w搬送到描绘室2内的载台2a上，然后，闸阀11关闭。另一方面，在需要在试料w上设置接地体的情况下，由机械手装置4a将试料w从对准室搬送到与机械手室4相连的设置室。当在设置室内对试料w设置了接地体，则由机械手装置4a将试料w与接地体一起从设置室搬出，闸阀11打开而向描绘室2内的载台2a上搬送，然后，闸阀11关闭。这样将试料w载放于载台2a上，进行基于电子束b的描绘。

接着，当基于电子束b的描绘完成，则闸阀11打开，利用机械手装置4a，试料w被从描绘室2搬出并搬送至机械手室4，然后，闸阀11关闭。接着，在接地体没有被设置在试料w上的情况下，闸阀12打开，利用机械手装置4a，试料w被从机械手室4搬送至预真空锁室5，最后，闸阀12关闭。另一方面，在接地体被设置在试料w上的情况下，利用机械手装置4a，试料w被搬送至与机械手室4相连的设置室。在该设置室内，当接地体被从试料w取下，则闸阀12打开，利用机械手装置4a，试料w被从设置室搬送至预真空锁室5，最后，闸阀12关闭。

按照这样的试料w的搬送工序产生搬送路线a1，该搬送路线a1基本存在于同一水平面内。例如，集尘装置100沿着搬送路线a1被搬送。

各集尘装置100在静电的作用下吸附存在于各室内的灰尘、通过基于电子束b的描绘而产生的灰尘等。

集尘装置100能够在将描绘室2以及机械手室4内维持为真空状态的状态下对灰尘进行清洁。

另外，作为灰尘，例如是10μm以下的微粒等。作为该微粒的成分的一例，可以举出金属和非金属(例如碳等)的成分。

＜1－2－2＞集尘装置的动作例

在说明集尘装置的动作例之前，对集尘装置的放电进行说明。在保持使可更换电极110带电、将集尘装置100搬送至被大气化后的带电粒子束描绘装置1内并进行抽真空的情况下，有可能集尘装置100在带电粒子束描绘装置1内引起真空放电。此外，在保持使可更换电极110带电、在集尘装置100的搬送过程中带电粒子束描绘装置1的各室的壁面等(构造物)与可更换电极110接近了的情况下，有可能集尘装置100在带电粒子束描绘装置1内引起真空放电。结果，有可能对带电粒子束描绘装置1的零件、集尘装置100带来损伤。

因此，为了消除上述可能性，本实施方式的集尘装置100，将对可更换电极110施加的电压、或施加电压的定时等任意地来决定。

以下，利用图4，说明集尘装置100的动作例。图4是集尘装置100的动作例，是表示高电压产生部124对可更换电极110施加的电压、与时间之间的关系的图。图4中，对集尘装置100被搬入到带电粒子束描绘装置1内的情况下的动作进行说明。另外，图4所示的动作例只是一例，电压的施加定时、电压值等能够由用户任意地设定。该设定例如被存储在存储器122中。

[时刻t0～时刻t1]

在图4所示的时刻t0～时刻t1之间，如上述那样，利用与试料w同样的方法，将集尘装置100搬入到作为清洁对象的带电粒子束描绘装置1内。例如在存储器122中，存储有在时刻t0～时刻t1之间禁止施加电压这样的信息(时刻及电压值)。另外，时刻t0～时刻t1的期间是为了避免在集尘装置100的搬送过程中由于压力变化及与带电粒子束描绘装置1的接近而放电的事故而设定的期间。

[时刻t1～时刻t2]

例如在存储器122中存储有在时刻t1～时刻t2之间施加电压v3这样的信息(时刻及电压值)。基于计时器126的计时，当控制部121判断为达到了时刻t1，则使高电压产生部124产生电压v3。由此，电压v3被供给至电极130，可更换电极110带电。结果，灰尘被吸附于可更换电极110的表面。

[时刻t2～时刻t3]

在集尘装置100通过例如闸阀等、集尘装置100与构造物接近的区域的情况下，希望停止向可更换电极110的电压供给。

例如在存储器122中存储有在时刻t2～时刻t3之间禁止施加电压这样的信息(时刻及电压值)。基于计时器126的计时，当控制部121判断为达到了时刻t2，则停止从高电压产生部124向电极130的电压供给。由此，能够抑制从可更换电极110的放电。

[时刻t3～时刻t4]

在集尘装置100被搬入到绝缘性能下降的真空度的区域的情况下，希望使向可更换电极110的电压供给适当。

例如在存储器122中存储有在时刻t3～时刻t4之间施加电压v1(v1＜v3)这样的信息(时刻及电压值)。基于计时器126的计时，当控制部121判断为达到了时刻t3时，则使高电压产生部124产生电压v1。由此，电压v1被供给至电极130，可更换电极110带电。

[时刻t4～时刻t5]

此外，在集尘装置100被搬入到虽不似在时刻t3～时刻t4中通过的区域那样但绝缘性能下降的真空度的区域的情况下，希望使向可更换电极110的电压供给适当。

例如在存储器122中存储有在时刻t4～时刻t5之间施加电压v2(v1＜v2＜v3)这样的信息(时刻及电压值)。基于计时器126的计时，当控制部121判断为达到了时刻t4，则使高电压产生部124产生电压v2。由此，电压v2被供给至电极130，可更换电极110带电。

如以上那样，本实施方式的集尘装置100能够任意地决定对可更换电极110施加的电压值(电压的大小)及其定时。

＜1－3＞效果

根据上述实施方式，集尘装置100中，在主体101的第1面配置可更换电极110，控制基板120控制向可更换电极110的电压施加定时以及施加的电压值。集尘装置100能够在真空下使用，能够以任意的定时对可更换电极110进行更换。

以下，对上述实施方式的集尘装置100的具体效果例进行说明。

＜1－3－1＞能够向半导体制造装置内搬送所带来的效果

在带电粒子束描绘装置等的利用真空的半导体制造装置中，若装置内存在灰尘，则装置可能无法适当地运转。

但是，为了清洁装置内的灰尘而需要打破真空而对装置内的机构进行清洁。但是，在这样的带电粒子束描绘装置中，为了将装置内抽真空，需要大量的时间。此外，在抽真空后还需要调整电子光学系统，因此装置无法运转的时间(停机时间)变长。结果，成品率可能降低。

此外，上述实施方式的集尘装置100的尺寸是与带电粒子束描绘装置中处理过的试料相当的尺寸。因此，能够将集尘装置100与试料同样地进行搬送。此外，集尘装置100内具备电源123及高电压产生部124，在真空下也能够进行清洁。这样，集尘装置100由于与试料同样地被搬送至装置内，所以即使不打破装置内的真空也能够对装置内进行清洁。结果，能够抑制装置的停机时间，抑制成品率的下降。

＜1－3－2＞集尘部可更换的效果

考虑集尘部与主体一体化的集尘装置。这样的集尘装置中，灰尘蓄积到集尘部，灰尘的吸附效率下降。因此，必须在吸附效率下降之前从集尘部清洁掉灰尘。但是，吸附于集尘部的灰尘的大小非常小，难以清洁。因此，无法维持集尘部的洁净度。

此外，这样的集尘装置中，越进行清洁灰尘越蓄积于集尘部而难以基于集尘物的位置、集尘物的种类等进行分析。

但是，根据上述实施方式的集尘装置100，作为集尘部，采用可更换的可更换电极110。用户能够以任意的定时将可更换电极110更换为新的可更换电极110。因此，用户不需要在半导体制造装置内的清洁后从可更换电极110去除灰尘，只要将可更换电极110自身更换为新的可更换电极110即可。由此，能够容易地维持可更换电极110的洁净度。因而，抑制可更换电极110的吸附效率的下降，结果，能够始终保持高度的带电粒子束描绘装置内的洁净度，从而极微细的图案也能够成品率良好地形成。

此外，当用户进行基于集尘物的位置、集尘物的种类等的分析时，若以任意的定时取下可更换电极110，则能够适当地进行集尘物的分析。用户通过进行该集尘物的分析，能够分析什么样的灰尘产生在何处。因此，用户能够确定例如使灰尘产生的带电粒子束描绘装置1内的部件。结果，用户有可能能够发现带电粒子束描绘装置1的故障。

此外，用户能够在对吸附于可更换电极110的集尘物进行分析的期间，将新的可更换电极110向主体101安装，进行半导体制造装置内的清洁。换言之，用户即使不等待集尘物的分析也能够进行半导体制造装置内的清洁。

此外，用户通过将清洁后的可更换电极110从主体101取下，并将新的可更换电极110向主体101安装，从而能够进行集尘装置的清洁。因此，集尘装置的清洁时间仅成为可更换电极110的更换作业所需要的时间。结果，能够将集尘装置的清洁时间抑制为最小限度。

＜1－3－3＞能够对电压施加进行控制的效果

在使可更换电极110保持带电、将带电粒子束描绘装置1内抽真空的情况下，或者在带电粒子束描绘装置1的各室的壁面等与可更换电极110接近的情况下，集尘装置100有可能引起真空放电。

但是，根据本实施方式的集尘装置100，控制部121根据存储器122中存储的信息，控制使可更换电极110带电的定时。用户能够根据将集尘装置100进行搬送的位置(例如带电粒子束描绘装置的各室)，在存储器122中设定时刻。结果，本实施方式的集尘装置100，在向被大气化后的带电粒子束描绘装置1内搬送集尘装置100并抽真空的期间，或者在集尘装置100的搬送中带电粒子束描绘装置1的各室的壁面等(构造物)与可更换电极110接近的期间，能够不使可更换电极110带电。

此外，根据本实施方式的集尘装置100，控制部121能够以存储器122中存储的电压值使可更换电极110带电。用户能够根据例如将集尘装置100搬送的场所与带电粒子束描绘装置的各室内的构造物之间距离，对存储器122设定电压值。结果，本实施方式的集尘装置100在带电粒子束描绘装置1的各室的壁面等(构造物)与可更换电极110接近的情况下也能够以不引起真空放电的程度使可更换电极110带电。

如以上那样，根据本实施方式的集尘装置100，能够一边抑制真空放电、一边对应于想要集尘的部位而在任意的定时以任意的电压进行清洁。

＜1－3－4＞接地于带电粒子束描绘装置的效果

例如，在集尘装置100不与带电粒子束描绘装置1内共用接地电压的情况下，有可能不能以规定的电位带电而无法进行清洁。在集尘装置100的接地电压与带电粒子束描绘装置1内的接地电压有偏差的情况下，例如存在即使集尘装置100对可更换电极110施加1v的电位、带电粒子束描绘装置1与可更换电极110的电位差也成为0.5v的情况。该情况下，在带电粒子束描绘装置1内，可更换电极110成为与实际被施加0.5v的状态同样的状态。因此，本来应该对可更换电极110施加1v，但只施加了0.5v。结果，可更换电极110不以希望的电位带电，有可能无法进行清洁。

但是，根据本实施方式的集尘装置100，能够经由接地部150，共用带电粒子束描绘装置1的各室内的接地电压。因此，高电压产生部124能够以带电粒子束描绘装置1的接地电压为基准来生成电压。结果，可更换电极110以想要的电位带电，能够正确地进行清洁。

＜1－3－5＞总结

即，上述实施方式的集尘装置100，即使不打破所搬送的装置内的真空也能够以适当的电压对装置内进行清洁，能够容易地维持集尘部的洁净度，能够提供一种使集尘物的分析较容易且能够抑制真空放电的集尘装置100。

结果，能够提供能够抑制因灰尘附着导致的制品品质的下降的集尘装置。

＜2＞第2实施方式

对第2实施方式进行说明。第1实施方式中，对将可更换电极机械性地固定到主体的情况进行了说明。第2实施方式中，对将可更换电极电气性地固定到主体的例子进行说明。另外，第2实施方式的集尘装置的基本结构以及基本动作与上述第1实施方式的集尘装置是同样的。因而，省略关于上述第1实施方式中说明过的事项以及能够容易地从上述第1实施方式类推的事项的说明。

＜2－1＞结构

利用图5及图6，对第2实施方式的集尘装置的结构进行说明。图5是第2实施方式的集尘装置的立体图。图6是从图5的s2方向观察集尘装置的图。另外，图6将集尘装置作为功能块来表现。

对集尘装置100的结构进行说明。如图5及图6所示，集尘装置100中，在主体101的第1面上，配置可更换电极110的背面。并且，利用在集尘装置100的第1面设置的固定部(静电卡装部)160，将可更换电极110电气固定到主体101的第1面。固定部160由静电卡装控制部127控制。具体而言，控制部121使静电卡装控制部127生成静电卡装用的电压。并且，静电卡装用的电压被供给至固定部160，可更换电极110经由固定部160被施加静电卡装用的电压。由此，可更换电极110带电，通过静电卡装，被固定到固定部160。在将可更换电极110取下的情况下，只要停止向可更换电极110的电压施加就能够将可更换电极110取下。

＜2－2＞效果

根据上述实施方式，通过静电卡装，将可更换电极电气性地固定到主体。

在通过静电卡装来固定可更换电极110的情况下，与在第1实施方式中说明过那样的机械性地固定可更换电极110的情况相比，能够使固定部更简化，能够减少对可更换电极110进行固定时的滑动，能够提高洁净度。此外，能够得到与第1实施方式同样的效果。

另外，静电卡装时，可更换电极110被带电，可更换电极110的表面被施加不带电程度的电压。由此，能够抑制被搬送集尘装置100的装置内的放电等。

＜3＞第3实施方式

对第3实施方式进行说明。第1实施方式中，对集尘装置使用计时器来控制向可更换电极的电压施加的情况进行了说明。第3实施方式中，说明利用集尘装置被搬送的装置来控制向可更换电极的电压施加的例子。另外，第3实施方式的集尘装置的基本结构以及基本动作与上述第1及第2实施方式的集尘装置是同样的。因而，省略关于在上述第1及第2实施方式中说明过的事项以及能够容易地从上述第1及第2实施方式类推的事项的说明。

＜3－1＞结构

＜3－1－1＞集尘装置

使用图7，对第3实施方式的集尘装置的结构进行说明。图7是从图1的s1方向观察集尘装置的图。另外，图7将集尘装置作为功能块来表现。

如图7所示，主体101具备控制基板120。控制基板120具备控制部121、存储器122、电源123、高电压产生部124、监视部125、通信部128和计时器126。

控制部121对存储器122、电源123、高电压产生部124、监视部125、计时器126和通信部128进行控制。

通信部128能够与集尘装置100的外部装置(例如，带电粒子束描绘装置、计算机等)进行通信。通信部128是用于与外部装置进行通信的通信接口。作为通信接口，例如可以使用采用了红外线、或bluetooth(注册商标)等的近距离无线数据通信标准的接口。通信部128向外部装置发送信息(例如存储器122中存储的信息)，或从外部装置接收信息、命令(信号)。例如经由通信部128接收到的信息存储在存储器122中。此外，控制部121根据经由通信部128接收到的命令进行动作。

具体而言，用户能够根据搬送集尘装置100的位置(例如带电粒子束描绘装置的各室)，经由通信部128从外部装置向存储器122设定时刻。

此外，用户也可以通过经由通信部128从外部装置发送命令，来使计时器126计时。

此外，用户也可以通过经由通信部128从外部装置发送命令，来控制高电压产生部124的电压生成。

＜3－1－2＞带电粒子束描绘装置

这里，利用图8，对被搬送集尘装置的带电粒子束描绘装置的结构进行说明。图8是示意性地表示带电粒子束描绘装置的结构的概略图。

如图8所示，带电粒子束描绘装置1与使用图3说明过的带电粒子束描绘装置1相比，还具备带电调整部6c。

带电调整部6c能够对集尘装置100的通信部128发送信息及命令(信号)。带电调整部6c具有用于与集尘装置100通信的通信接口。

＜3－2＞动作

＜3－2－1＞动作例1

接着，对集尘装置以及带电粒子束描绘装置的动作例1进行说明。控制部121基于经由通信部128从带电调整部6c接收的命令，使高电压产生部124生成电压。作为该命令，包含使电压生成的命令和生成的电压值等。这样，集尘装置100能够根据从带电粒子束描绘装置1接收的信息，进行带电粒子束描绘装置1的清洁。

＜3－2－2＞动作例2

对集尘装置以及带电粒子束描绘装置的动作例2进行说明。集尘装置100的存储器122中存储有真空度的阈值。控制部121基于经由通信部128从带电调整部6c接收的真空度，判断是否超过了存储器122中存储的阈值。控制部121在判断为真空度超过了阈值的情况下，使高电压产生部124生成电压。这样，集尘装置100能够根据从带电粒子束描绘装置1接收的信息，进行带电粒子束描绘装置1的清洁。

＜3－3＞效果

根据上述实施方式，集尘装置100经由通信部128接收来自半导体制造装置的命令，对半导体制造装置进行清洁。

这样，集尘装置100由于能够根据来自半导体制造装置的命令对半导体制造装置进行清洁，所以能够适当地进行清洁。

＜4＞变形例

另外，上述各实施方式中，对将集尘装置100向带电粒子束描绘装置搬送的情况进行了说明，但不限于此。即，只要是需要吸附灰尘的装置，则无论是怎样的装置都能够应用集尘装置100。此外，上述各实施方式中，以将集尘装置100向带电粒子束描绘装置搬送为前提进行了说明，所以将集尘装置100的尺寸记载为，与由带电粒子束描绘装置处理的试料的尺寸相同。但是，在对与带电粒子束描绘装置不同的装置应用集尘装置100的情况下，集尘装置100的尺寸及形状也可以是能够应用于与带电粒子束描绘装置不同的装置的尺寸及形状。此外，上述各实施方式中，集尘装置100针对在真空下集尘的情况进行了说明，但在大气下也能够集尘。

此外，作为第3实施方式的集尘装置100，能够对在第2实施方式中说明过的集尘装置100应用通信部128。具体而言，如图9所示，也可以对通过固定部160而非固定部140将可更换电极110进行固定的集尘装置100设置通信部128。该情况下，能够得到第2实施方式和第3实施方式的效果。

此外，第3实施方式的集尘装置100如图10所示，也可以按照来自计算机7等清洁对象装置以外的装置而非带电粒子束描绘装置1的带电调整部6c的命令进行动作。该情况下，集尘装置100根据经由通信部128从计算机7接收的命令、信息(例如真空度)，对清洁对象的装置进行清洁。

以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变形而实施。进而，上述实施方式中包含各种阶段的发明，通过将公开的构成要件适当组合而能够提取各种发明。例如，即使从公开的构成要件中删除一些构成要件，只要能够得到规定的效果，就能够作为发明提取。