显影装置及其清洗方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显影装置及其清洗方法。

背景技术：

薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)是目前液晶显示装置(liquidcrystaldisplay，lcd)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(activematrixorganiclight-emittingdiode，amoled)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(thinfilmtransistorarraysubstrate，tftarraysubstrate)与彩色滤光片(colorfilter，cf)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。

在tft阵列基板或cf基板的制作过程中，通常会进行光阻涂布、前烘、曝光及显影等工艺流程。现有技术通过显影原液储存罐将显影液供给至机台上方的显影喷淋单元，通过显影喷淋单元对基板进行显影，显影喷淋单元喷淋过后的显影液重新返回至循环储存罐，循环储存罐再将喷淋过后的显影液供给至机台上方的显影喷淋单元，从而循环使用显影液。但如此循环使用显影液会导致循环储存罐内有较多光阻残留，因此一般会设置两个循环储存罐，一个循环储存罐开始工作将显影液供给至显影喷淋单元，另一个循环储存罐进行自清洗。该自清洗的过程是：通过显影原液储存罐将显影液供给至需要自清洗的循环储存罐的液位最高处，等待20-30min后将显影液排掉，如此重复2-3次，从而完成自清洗。自清洗完成后的循环储存罐开始工作，并切换至另一个循环储存罐开始自清洗。然而目前这种自清洗由于是浸泡的方式，显影液不能完全将循环储存罐死角位置的光阻溶解，清洗效果不佳，且自清洗过程中多次重复供液及排液会浪费大量的显影液和时间。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种显影装置，可以有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，并节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。

本发明的目的还在于提供一种显影装置的清洗方法，可以有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，并节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。

为实现上述目的，本发明提供了一种显影装置，包括：显影液供给单元、与所述显影液供给单元连接的显影液喷淋单元以及与所述显影液供给单元连接的控制单元；

所述显影液供给单元包括显影液储存罐、多个显影液循环罐以及分别设于多个显影液循环罐中并与显影液储存罐连接的喷头；

所述控制单元用于控制显影液循环罐进入工作模式或自清洗模式；

所述显影液储存罐用于将显影液供给至显影液喷淋单元，并在显影液循环罐进入自清洗模式时将显影液供给至喷头；

所述显影液循环罐用于在工作模式中收集显影液喷淋单元喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元；在自清洗模式中停止收集喷淋过后的显影液并通过喷头将显影液喷洒至显影液循环罐的内壁上以去除内壁上残留的光阻。

所述显影液储存罐通过第一管路与每一显影液循环罐中的喷头连接；所述显影液供给单元还包括去离子水储存罐以及连接所述去离子水储存罐与每一显影液循环罐中的喷头的第二管路；

所述显影液循环罐在自清洗模式时还通过喷头将去离子水喷洒至显影液循环罐的内壁上。

所述第一管路上设有第一阀门；所述第二管路上设有第二阀门；

所述控制单元还用于控制所述第一阀门和第二阀门的打开或关闭来控制喷头喷洒显影液或去离子水。

所述显影液供给单元还包括驱动单元以及连接所述驱动单元与每一显影液循环罐中的喷头的伸缩杆；

所述驱动单元用于在喷头喷洒过程中驱动伸缩杆上下移动从而带动喷头在显影液循环罐中上下移动。

所述控制单元控制多个显影液循环罐中的一部分进入工作模式，另一部分进入自清洗模式。

本发明还提供一种显影装置的清洗方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供显影装置；该显影装置包括显影液供给单元、与所述显影液供给单元连接的显影液喷淋单元以及与所述显影液供给单元连接的控制单元；

所述显影液供给单元包括显影液储存罐、多个显影液循环罐以及分别设于多个显影液循环罐中并与显影液储存罐连接的喷头；

所述显影液储存罐将显影液供给至显影液喷淋单元；

步骤s2、所述控制单元控制显影液循环罐进入工作模式，所述显影液循环罐在工作模式中收集显影液喷淋单元喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元；

步骤s3、所述控制单元控制显影液循环罐进入自清洗模式，所述显影液储存罐将显影液供给至喷头，所述显影液循环罐在自清洗模式中停止收集喷淋过后的显影液并通过喷头将显影液喷洒至显影液循环罐的内壁上以去除内壁上残留的光阻。

所述显影液储存罐通过第一管路与每一显影液循环罐中的喷头连接；所述显影液供给单元还包括去离子水储存罐以及连接所述去离子水储存罐与每一显影液循环罐中的喷头的第二管路；

所述步骤s3中，所述显影液循环罐在自清洗模式时还通过喷头将去离子水喷洒至显影液循环罐的内壁上。

所述第一管路上设有第一阀门；所述第二管路上设有第二阀门；

所述步骤s3中，所述控制单元控制所述第一阀门和第二阀门的打开或关闭来控制喷头喷洒显影液或去离子水。

所述显影液供给单元还包括驱动单元以及连接所述驱动单元与每一显影液循环罐中的喷头的伸缩杆；

所述步骤s3中，所述驱动单元在喷头喷洒过程中驱动伸缩杆上下移动从而带动喷头在显影液循环罐中上下移动。

所述控制单元控制多个显影液循环罐中的一部分进入工作模式，另一部分进入自清洗模式。

本发明的有益效果：本发明的显影装置包括显影液供给单元、与所述显影液供给单元连接的显影液喷淋单元以及与所述显影液供给单元连接的控制单元；所述显影液供给单元包括显影液储存罐、多个显影液循环罐以及分别设于多个显影液循环罐中并与显影液储存罐连接的喷头，显影液循环罐在工作模式中收集显影液喷淋单元喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元，实现显影液的循环使用，但显影液的循环使用会使显影液循环罐内有较多的光阻残留，显影液循环罐在自清洗模式中通过喷头将显影液喷洒至显影液循环罐的内壁上，有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，该喷头喷出的显影液的清洗效果要优于现有技术中显影液浸泡方式的清洗效果，且喷头喷出的显影液到达一定量后，液面升高也可达到浸泡方式的清洗效果，此外还能节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。本发明的显影装置的清洗方法，可以有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，并节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的显影装置的示意图；

图2为图1的a处的放大示意图；

图3为本发明的显影装置的清洗方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1及图2，本发明提供一种显影装置，包括：显影液供给单元10、与所述显影液供给单元10连接的显影液喷淋单元20以及与所述显影液供给单元10连接的控制单元30；

所述显影液供给单元10包括显影液储存罐11、多个显影液循环罐12以及分别设于多个显影液循环罐12中并与显影液储存罐11连接的喷头13；

所述控制单元30用于控制显影液循环罐12进入工作模式或自清洗模式；

所述显影液储存罐11用于将显影液供给至显影液喷淋单元20，并在显影液循环罐12进入自清洗模式时将显影液供给至喷头13；

所述显影液循环罐12用于在工作模式中收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20；在自清洗模式中停止收集喷淋过后的显影液并通过喷头13将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上以去除内壁上残留的光阻。

需要说明的是，本发明的显影液循环罐12在工作模式中收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20，实现显影液的循环使用，但显影液的循环使用会使显影液循环罐12内有较多的光阻残留，进而本发明在显影液循环罐12内设置喷头13，在显影液循环罐12进入自清洗模式时将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上，有效地去除显影液循环罐12的内壁上的死角位置的顽固光阻，该喷头13喷出的显影液的清洗效果要优于现有技术中显影液浸泡方式的清洗效果，且喷头13喷出的显影液到达一定量后，液面升高也可达到浸泡方式的清洗效果。此外，本发明也不需要如现有技术一样重复多次供液及排液，节省显影液的用量以降低成本。

具体的，所述控制单元30控制多个显影液循环罐12中的一部分进入工作模式，另一部分进入自清洗模式，以使显影装置不间断工作。

具体的，所述喷头13能够旋转以增强喷洒效果。

具体的，所述显影液储存罐11通过第一管路101与每一显影液循环罐12中的喷头13连接；所述显影液供给单元10还包括去离子水储存罐14以及连接所述去离子水储存罐14与每一显影液循环罐12中的喷头13的第二管路102，所述显影液循环罐12在自清洗模式时还通过喷头13将去离子水喷洒至显影液循环罐12的内壁上，冲洗剩余光阻及显影液，进一步提高显影液循环罐12的清洗效果。

进一步的，所述显影液供给单元10还包括连接每个显影液循环罐12与厂务单元40的厂务管道121，以收集去离子水、光阻及显影液等工业原材料，实现资源回收。

进一步的，所述第一管路101上设有第一阀门141；所述第二管路102上设有第二阀门142；所述控制单元30还用于控制所述第一阀门141和第二阀门142的打开或关闭来控制喷头13喷洒显影液或去离子水，而不能同时喷洒显影液及去离子水。

本发明在此进一步说明，当本发明通过喷头13将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上，持续10-15min即可将显影液排出，再通过喷头13将去离子水喷洒至显影液循环罐12的内壁上，持续5-10min即可将去离子水排出，从而完成显影液储存罐11的自清洗，相比于现有技术中可以大幅节省清洗时间。

具体的，所述显影液供给单元10还包括驱动单元15以及连接所述驱动单元15与每一显影液循环罐12中的喷头13的伸缩杆16；所述驱动单元15用于在喷头13喷洒过程中驱动伸缩杆16上下移动从而带动喷头13在显影液循环罐12中上下移动，进而喷头13的喷洒效果。此外，第一管路101和第二管路102均为软性材料。

具体的，所述显影液喷淋单元20包括多个相邻的喷淋腔室21、设于每个喷淋腔室中的多个喷淋管22以及设于每个喷淋管22上的多个喷淋头23；所述喷淋头23用于将显影液喷淋至基板上。

进一步的，所述多个显影液循环罐12均通过第三管路103连接每个喷淋腔室21，以收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液；所述多个显影液循环罐12均通过第四管路104连接每个喷淋腔室21中的多个喷淋管22，以将喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20。

请参阅图3，基于上述显影装置，本发明还提供一种显影装置的清洗方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供显影装置；该显影装置包括显影液供给单元10、与所述显影液供给单元10连接的显影液喷淋单元20以及与所述显影液供给单元10连接的控制单元30；

所述显影液供给单元10包括显影液储存罐11、多个显影液循环罐12以及分别设于多个显影液循环罐12中并与显影液储存罐11连接的喷头13；

所述显影液储存罐11将显影液供给至显影液喷淋单元20；

步骤s2、所述控制单元30控制显影液循环罐12进入工作模式，所述显影液循环罐12在工作模式中收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20；

步骤s3、所述控制单元30控制显影液循环罐12进入自清洗模式，所述显影液储存罐11将显影液供给至喷头13，所述显影液循环罐12在自清洗模式中停止收集喷淋过后的显影液并通过喷头13将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上以去除内壁上残留的光阻。

需要说明的是，本发明的显影液循环罐12在工作模式中收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20，实现显影液的循环使用，但显影液的循环使用会使显影液循环罐12内有较多的光阻残留，进而本发明在显影液循环罐12内设置喷头13，在显影液循环罐12进入自清洗模式时将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上，有效地去除显影液循环罐12的内壁上的死角位置的顽固光阻，该喷头13喷出的显影液的清洗效果要优于现有技术中显影液浸泡方式的清洗效果，且喷头13喷出的显影液到达一定量后，液面升高也可达到浸泡方式的清洗效果。此外，本发明也不需要如现有技术一样重复多次供液及排液，节省显影液的用量以降低成本。

具体的，所述控制单元30控制多个显影液循环罐12中的一部分进入工作模式，另一部分进入自清洗模式，以使显影装置不间断工作。

具体的，所述喷头13能够旋转以增强喷洒效果。

具体的，所述显影液储存罐11通过第一管路101与每一显影液循环罐12中的喷头13连接；所述显影液供给单元10还包括去离子水储存罐14以及连接所述去离子水储存罐14与每一显影液循环罐12中的喷头13的第二管路102，所述步骤s3中，所述显影液循环罐12在自清洗模式时还通过喷头13将去离子水喷洒至显影液循环罐12的内壁上，冲洗剩余光阻及显影液，进一步提高显影液循环罐12的清洗效果。

进一步的，所述显影液供给单元10还包括连接每个显影液循环罐12与厂务单元40的厂务管道121，以收集去离子水、光阻及显影液等工业原材料，实现资源回收。

进一步的，所述第一管路101上设有第一阀门141；所述第二管路102上设有第二阀门142；所述步骤s3中，所述控制单元30控制所述第一阀门141和第二阀门142的打开或关闭来控制喷头13喷洒显影液或去离子水，而不能同时喷洒显影液及去离子水。

本发明在此进一步说明，当本发明通过喷头13将显影液喷洒至显影液循环罐12的内壁上，持续10-15min即可将显影液排出，再通过喷头13将去离子水喷洒至显影液循环罐12的内壁上，持续5-10min即可将去离子水排出，从而完成显影液储存罐11的自清洗，相比于现有技术中可以大幅节省清洗时间。

具体的，所述显影液供给单元10还包括驱动单元15以及连接所述驱动单元15与每一显影液循环罐12中的喷头13的伸缩杆16；所述步骤s3中，所述驱动单元15在喷头13喷洒过程中驱动伸缩杆16上下移动从而带动喷头13在显影液循环罐12中上下移动，进而喷头13的喷洒效果。此外，第一管路101和第二管路102均为软性材料。

具体的，所述显影液喷淋单元20包括多个相邻的喷淋腔室21、设于每个喷淋腔室中的多个喷淋管22以及设于每个喷淋管22上的多个喷淋头23；所述喷淋头23用于将显影液喷淋至基板上。

进一步的，所述多个显影液循环罐12均通过第三管路103连接每个喷淋腔室21，以收集显影液喷淋单元20喷淋过后的显影液；所述多个显影液循环罐12均通过第四管路104连接每个喷淋腔室21中的多个喷淋管22，以将喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元20。

综上所述，本发明的显影装置包括显影液供给单元、与所述显影液供给单元连接的显影液喷淋单元以及与所述显影液供给单元连接的控制单元；所述显影液供给单元包括显影液储存罐、多个显影液循环罐以及分别设于多个显影液循环罐中并与显影液储存罐连接的喷头，显影液循环罐在工作模式中收集显影液喷淋单元喷淋过后的显影液，将该喷淋过后的显影液再供给至显影液喷淋单元，实现显影液的循环使用，但显影液的循环使用会使显影液循环罐内有较多的光阻残留，显影液循环罐在自清洗模式中通过喷头将显影液喷洒至显影液循环罐的内壁上，有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，该喷头喷出的显影液的清洗效果要优于现有技术中显影液浸泡方式的清洗效果，且喷头喷出的显影液到达一定量后，液面升高也可达到浸泡方式的清洗效果，此外还能节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。本发明的显影装置的清洗方法，可以有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，并节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。