一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法与流程

本发明涉及激光直写曝光技术领域，特别涉及一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法。

背景技术：

pcb板材的直写曝光工艺对环境要求很高，特别是曝光时不能让pcb表面粘染灰尘颗粒，否则这些颗粒会阻挡激光的照射，造成曝光不良。因此，pcb板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将pcb板表面除尘。

目前，几乎所有的激光直写曝光机外壳都带门，一方面可以直接阻挡外部掉落的灰尘，另一方面门关闭时可保持机台内部正压，机台后部有空气过滤单元，该单元将外部空气抽取到机台内部，当门关闭时内部形成封闭空间并形成正压，当门打开后内部空气会通过门往外出，这时外部灰尘无法进入机台内部。门包括电动门和气动门，传统的气动门使用气缸与滑轨分离的结构，门板的两端分别固定在气缸和滑轨上，这对气缸与滑轨的平行性要求非常之高，现阶段装配工艺很难达到要求，再考虑到机械形变等因素，气动门往往运行一段时间后，气缸与滑轨平行性变差，导致气动门运行阻力增加，出现故障，甚至出现门板振动的情况，导致除尘无法实现。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法，以提高激光直写曝光机气动门控制的准确性。

为实现以上目的，本发明采用一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置，包括：a气动门主体、b气动门主体、a控制阀门、b控制阀门、控制装置和供气调节管路；

所述a气动门主体的气路接口与a控制阀门连接，a气动门主体的磁性开关接口与控制装置的di接口连接；a控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，a控制阀门的控制接口与控制装置的do接口连接；

所述b气动门主体的气路接口与b控制阀门连接，b气动门主体的磁性开关接口与控制装置的di接口连接；b控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，b控制阀门的控制接口与控制装置的do接口连接。

优选地，所述供气调节管路上设置调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，压缩空气通过管道流入调节阀a_tjf的a_in接口，调节阀a_tjf的a_out接口与所述a控制阀门气路接口连接；

压缩空气通过管道流入调节阀b_tjf的b_in接口，调节阀b_tjf的b_out接口与所述b控制阀门气路接口连接。

优选地，所述a气动门主体包括a门板、a气缸、a缓冲垫以及a导轨，a气缸设有气动接口a_po_1、气动接口a_po_2、磁性开关a_cx_1、磁性开关a_cx_2、磁性开关a_cx_3和磁性开关a_cx_4，所述控制装置的di接口包括di_1接口、di_2接口、di_3接口和di_4接口；

a导轨集成在a气缸上，a门板的一端安装在a导轨上、另一端悬空，a缓冲垫安装在a气缸左右缓冲位置，气动接口a_po_1和气动接口a_po_2分别与a控制阀门的输出接口连接，磁性开关a_cx_1与控制装置的di_1接口连接，磁性开关a_cx_2与控制装置的di_2接口连接，磁性开关a_cx_3与控制装置的di_3接口连接，磁性开关a_cx_4与控制装置的di_4接口连接。

优选地，所述所述b气动门主体包括b门板、b气缸、b缓冲垫以及b导轨，b气缸设有气动接口b_po_1、气动接口b_po_2、磁性开关b_cx_1、磁性开关b_cx_2、磁性开关b_cx_3和磁性开关b_cx_4，所述控制装置的di接口包括di_5接口、di_6接口、di_7接口和di_8接口；

b导轨集成在b气缸上，b门板的一端安装在导轨上、另一端悬空，b缓冲垫安装在b气缸左右缓冲位置，气动接口b_po_1气动接口b_po_2分别与所述b控制阀门的输出接口连接，磁性开关b_cx_1与控制装置的di_5接口连接，磁性开关b_cx_2与所述控制装置的di_6接口连接，磁性开关b_cx_3与控制装置的di_7接口连接，磁性开关b_cx_4与控制装置的di_8接口连接。

优选地，所述a控制阀门包括a二位五通电磁阀、消音器a_xyq_1和消音器a_xyq_2，a二位五通电磁阀设有控制接口a_ct_1、控制接口a_ct_2、输入接口1、输出接口2、输出接口3、输出接口4和输出接口5，所述控制装置的do接口包括do_1接口和do_2接口；

控制接口a_ct_1与所述控制装置的do_2接口连接，控制接口a_ct_2与所述控制装置的do_1接口连接，输出接口5与消音器a_xyq_1连接，输出接口3与消音器a_xyq_2连接，气动接口a_po_1与输出接口4连接，气动接口a_po_2与输出接口2连接，输入接口1与所述供气调节管路的a_out输出端连接。

优选地，所述b控制阀门包括b二位五通电磁阀、消音器b_xyq_1和消音器b_xyq_2，b二位五通电磁阀设有控制接口b_ct_1、控制接口、输入接口1、输出接口2、输出接口3、输出接口4和输出接口5，所述控制装置的do接口包括do_3接口和do_4接口；

控制接口b_ct_1与所述控制装置的do_4接口连接，控制接口b_ct_2与所述控制装置的do_3接口连接，输出接口5与消音器b_xyq_1连接，输出接口3与消音器b_xyq_2连接，气动接口b_po_1与输出接口4连接，气动接口b_po_2与输出接口2连接输入接口1与所述供气调节管道的b_out输出端连接。

优选地，所述控制装置包括plc模块、按键key1和按键key2，plc模块设有di_9接口、di_10接口和com接口，di_9接口与按键key1一端连接，di_10接口与按键key2的一端连接，com接口与按键key1和key2之间的节点连接。

另一方面，提供一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置的控制方法，包括：

压缩空气通过所述供气调节管路分别进入所述a控制阀门和所述b控制阀门；

所述控制装置通过控制所述a控制阀门的通/断和b气动门主体的通/断，实现控制a气动门主体和b气动门主体同向或反向的运动。

优选地，还包括：

所述消音器a_xyq_1和消音器a_xyq_2对所述a控制阀门进出气产生的噪音进行消除；

所述所述消音器b_xyq_1和消音器b_xyq_2对所述b控制阀门进出气产生的噪音进行消除。

优选地，还包括：

通过调节所述调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，控制所述供气调节管路内的压缩空气的压力；

所述供气调节管路内的压缩空气的压力用于为所述a气动门主体和所述b气动门主体提供驱动力。

与现有技术相比，本发明存在以下技术效果：本发明公开的气动门控制装置通过调节供气管道内压缩空气的压力，保证压缩空气均匀的通过管道流入a控制阀门和b控制阀门以作为驱动a气动门和b气动门运动的驱动力，使得气动门的运动更加平滑、稳定，从而提高激光直写曝光机的曝光良率。

附图说明

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述：

图1是一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置的结构示意图；

图2是一种用于激光直写曝光机气动门控制装置的控制过程示意图。

具体实施方式

为了更进一步说明本发明的特征，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图。所附图仅供参考与说明之用，并非用来对本发明的保护范围加以限制。

如图1所示，本实施例公开了一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置，包括：a气动门主体1、b气动门主体2、a控制阀门3、b控制阀门4、控制装置5和供气调节管路6；

所述a气动门主体1的气路接口与a控制阀门3连接，a气动门主体1的磁性开关接口与控制装置5的di接口连接；a控制阀门3气路接口与供气调节管路6输出连接，a控制阀门3的控制接口与控制装置5的do接口连接；

所述b气动门主体2的气路接口与b控制阀门4连接，b气动门主体2的磁性开关接口与控制装置5的di接口连接；b控制阀门4气路接口与供气调节管路6输出连接，b控制阀门4的控制接口与控制装置5的do接口连接。

优选地，所述供气调节管路6上设置调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，压缩空气通过管道流入调节阀a_tjf的a_in接口，调节阀a_tjf的a_out接口与所述a控制阀门3气路接口连接；

压缩空气通过管道流入调节阀b_tjf的b_in接口，调节阀b_tjf的b_out接口与所述b控制阀门4气路接口连接。

本实施例中通过设置在供气调节管路6上的调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，调节供气调节管路6内压缩空气的压力，保证压缩空气均匀的通过管道流入a控制阀门和b控制阀门以作为驱动a气动门和b气动门运动的驱动力，使得气动门的运动更加平滑、稳定。

优选地，a气动门主体1包括a门板、a气缸、a缓冲垫以及a导轨，a气缸设有气动接口a_po_1、气动接口a_po_2、磁性开关a_cx_1、磁性开关a_cx_2、磁性开关a_cx_3和磁性开关a_cx_4，所述控制装置5的di接口包括di_1接口、di_2接口、di_3接口和di_4接口；

a导轨集成在a气缸上，a门板的一端安装在a导轨上、另一端悬空，a缓冲垫安装在a气缸左右缓冲位置，气动接口a_po_1和气动接口a_po_2分别与a控制阀门3的输出接口连接，磁性开关a_cx_1与控制装置5的di_1接口连接，磁性开关a_cx_2与控制装置5的di_2接口连接，磁性开关a_cx_3与控制装置5的di_3接口连接，磁性开关a_cx_4与控制装置5的di_4接口连接。

优选地，b气动门主体2包括b门板、b气缸、b缓冲垫以及b导轨，b气缸设有气动接口b_po_1、气动接口b_po_2、磁性开关b_cx_1、磁性开关b_cx_2、磁性开关b_cx_3和磁性开关b_cx_4，所述控制装置5的di接口包括di_5接口、di_6接口、di_7接口和di_8接口；

b导轨集成在b气缸上，b门板的一端安装在导轨上、另一端悬空，b缓冲垫安装在b气缸左右缓冲位置，气动接口b_po_1气动接口b_po_2分别与所述b控制阀门4的输出接口连接，磁性开关b_cx_1与控制装置5的di_5接口连接，磁性开关b_cx_2与所述控制装置5的di_6接口连接，磁性开关b_cx_3与控制装置5的di_7接口连接，磁性开关b_cx_4与控制装置5的di_8接口连接。

本实施例中磁性开关的品牌为smc，型号为3c-d-a93，其作用是定位门板的位置。a气缸和b气缸均采用机械式无杆气缸，型号为osp-25-400，该气缸和导轨为一体集成，在装配过程中减少了装配工序。同时本方案中a气动门和b气动门均采用质量较轻的铝制备，减轻了气动门对导轨的压力，避免了导轨在使用过程中出现变形。同时由于气动门的质量较轻，可以将气动门的一端安装在导轨上，另一端悬空设置，如此，在使用过程中可方便拆卸清理。

优选地，a控制阀门3包括a二位五通电磁阀、消音器a_xyq_1和消音器a_xyq_2，a二位五通电磁阀设有控制接口a_ct_1、控制接口a_ct_2、输入接口1、输出接口2、输出接口3、输出接口4和输出接口5，所述控制装置5的do接口包括do_1接口和do_2接口；

控制接口a_ct_1与所述控制装置5的do_2接口连接，控制接口a_ct_2与所述控制装置5的do_1接口连接，输出接口5与消音器a_xyq_1连接，输出接口3与消音器a_xyq_2连接，气动接口a_po_1与输出接口4连接，气动接口a_po_2与输出接口2连接，输入接口1与所述供气调节管路6的a_out输出端连接。

b控制阀门4包括b二位五通电磁阀、消音器b_xyq_1和消音器b_xyq_2，b二位五通电磁阀设有控制接口b_ct_1、控制接口、输入接口1、输出接口2、输出接口3、输出接口4和输出接口5，所述控制装置5的do接口包括do_3接口和do_4接口；

控制接口b_ct_1与所述控制装置5的do_4接口连接，控制接口b_ct_2与所述控制装置5的do_3接口连接，输出接口5与消音器b_xyq_1连接，输出接口3与消音器b_xyq_2连接，气动接口b_po_1与输出接口4连接，气动接口b_po_2与输出接口2连接输入接口1与所述供气调节管道6的b_out输出端连接。

本实施例中通过增设消音器，对二位五通电磁阀进出气产生的噪音进行消除。同时，控制装置55通过do_1接口与控制接口a_ct_1连接，通过do_2接口和控制接口a_ct_2连接，实现对a气缸左右运动的控制。控制装置55通过do_3接口与控制接口b_ct_1连接，通过do_4接口和控制接口b_ct_2连接，实现对b气缸左右运动的控制。

优选地，控制装置5包括plc模块、按键key1和按键key2，plc模块设有di_9接口、di_10接口和com接口，di_9接口与按键key1一端连接，di_10接口与按键key2的一端连接，com接口与按键key1和key2之间的节点连接。

其中，plc模块的品牌是wago，型号为750系列。在实际使用中同时按下按键kye1和key2，气动门执行关闭操作，即a门板向右运动，b门板向左运动；单独按下按键key2超过1秒钟，气动门执行打开操作，即a门板向左移动，b门板向右移动。

如图2所示，本实施例公开了一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置5的控制方法，包括如下步骤s1至s2：

s1、压缩空气通过所述供气调节管路6分别进入所述a控制阀门3和所述b控制阀门4；

s2、控制装置5通过控制所述a控制阀门3的通/断和b气动门主体2的通/断，实现控制a气动门主体1和b气动门主体2同向或反向的运动。

优选地，还包括：

所述消音器a_xyq_1和消音器a_xyq_2对所述a控制阀门3进出气产生的噪音进行消除；

所述所述消音器b_xyq_1和消音器b_xyq_2对所述b控制阀门4进出气产生的噪音进行消除。

优选地，还包括：

通过调节所述调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，控制所述供气调节管路6内的压缩空气的压力；

所述供气调节管路6内的压缩空气的压力用于为所述a气动门主体1和所述b气动门主体2提供驱动力。

本实施例中提供的气动门控制装置5一方面通过调节所述调节阀a_tjf和调节阀b_tjf，控制所述供气调节管路6内的压缩空气的压力，保证压缩空气均匀平滑的通过控制阀门以为气缸提供稳定的驱动力，实现气动门平滑稳定的运动。另一方面，通过增设消音器，对控制阀门进出气产生的噪音进行消除，提高了用户体验满意度。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。