技术特征：
技术总结
本发明提供光学元件和制造该元件的方法、以及光学仪器。使用具有带有凹凸结构的层或多孔层的减反射膜的相关技术光学元件存在减反射膜性能因废气中的SO2而降低的问题。鉴于该问题，提供了一种光学元件，在该光学元件中，通过TOF‑SIMS测量的减反射膜表面的正离子谱具有CmHnN+的峰，其中m表示1以上至8以下的整数，并且n表示2以上至16以下的整数，且提供了制造该元件的方法。
技术研发人员：阿部庆子
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2018.12.19
技术公布日：2019.06.25