用于DMD数字光刻引擎的紫外照明光源的制作方法

本实用新型涉及dmd(数字微反射器，digitalmicromirrordevice)数字光刻领域，特别是涉及用于dmd数字光刻引擎的紫外照明光源。

背景技术：

dmd无掩模数字光刻机，通过dmd滚动显示图像，控制运动平台与图像的滚动显示同步来替代步进曝光。其投影曝光与移动相结合，实现dmd幅面均匀性照明，是面向工业化需求的高精度、高效率、大尺寸、任意图形的无掩模光刻机。

dmd数字光刻引擎是此类数字光刻机的核心元件，其照明光源为其提供持续稳定的照明。目前用于dmd数字光刻引擎的照明光源正在向高均匀度、高强度方向发展。现有的多为紫外照明光源，安装后位置固定，限制了光线的均匀度继续提升，所以亟需一种高均匀度的紫外照明光源来解决这一问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供用于dmd数字光刻引擎的紫外照明光源，解决了现有技术中存在的紫外光线均匀度不佳的问题。

为实现上述目的，本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

用于dmd数字光刻引擎的紫外照明光源，包括：

衬底层4，所述衬底层4为蓝宝石衬底层，并且其下设置有无缝贴合的金属膜5；

和位于所述衬底层4下方的动力层，动力层包括固定板8，固定板8上通过轴承座9连接有转轴3，转轴3上端安装有紫外灯珠1，紫外灯珠1上方设置有准直透镜2，转轴3与同步带6啮合连接，一个同步带6套置在相邻的两个转轴3上，固定板8的中心固定连接有转动轮13，转动轮13与电机转轴16固定连接。

作为本实用新型更优的技术方案：还包括位于动力层下方的散热层，所述的散热层的圆形边缘处为滑道15，所述的固定板的边缘位于滑道15内，电机7的底座固定在散热层的底板上，电机转轴16上安装有主动轮10，主动轮10与从动轮12啮合，与从动轮12同轴上有风扇11，从动轮12的轴通过轴承安装在散热层底板上。

作为本实用新型更有的技术方案：所述灯珠1的位置高度相等，排列成呈正六边形。

作为本实用新型更有的技术方案：所述主动轮10直径为所述从动轮12直径的5倍。

作为本实用新型更有的技术方案：所述风扇11的转轴上安装有上下两组所述风扇叶片。

作为本实用新型更有的技术方案：所述转动轮13与所述固定板8通过焊接方式固定连接。

本实用新型的有益效果如下：

1、具有动力机构，使光源整体能够旋转，每个单独的灯珠也能够同步旋转，旋转能够提升发出的光线的均匀度，减小单个灯珠对于整体光照的影响；

2、具有加强散热机构，减小温度对部件运行和衬底层的影响。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

图中：1、灯珠；2、准直透镜；3、转轴；4、衬底层；5、金属膜；6、同步带；7、电机；8、固定板；9、轴承座；10、主动轮；11、风扇；12、从动轮；13、转动轮；14、壳体；15、滑道；16、电机转轴。

具体实施方式

结合附图对本实用新型作进一步说明如下。

如图1所示，本实用新型提供一种用于dmd数字光刻引擎的紫外照明光源，衬底层4，所述衬底层4为蓝宝石衬底层，并且其下设置有无缝贴合的金属膜5，所述金属膜5与所述蓝宝石衬底层无缝贴合，所述衬底层4不会吸收光线，减小光照输出时的损耗；和位于所述衬底层4下方的动力层，动力层包括固定板8，固定板8上通过轴承座9连接有转轴3，转轴3上端安装有紫外灯珠1，所述灯珠1的位置高度相等，所述灯珠1排列成呈正六边形，紫外灯珠1上方设置有准直透镜2，用于对紫外灯珠1发出的光线进行配光，将光线进行初步的准直，使其收窄到预定的角度，转轴3与同步带6啮合连接，一个同步带6套置在相邻的两个转轴3上，相邻的两个所述转轴3通过所述同步带6实现同步转动，固定板8的中心固定连接有转动轮13，转动轮13与电机转轴16固定连接，所述固定板8的边缘设置有凹槽。所述转动轮13与所述固定板8通过焊接方式固定连接。

本实用新型还包括位于动力层下方的散热层，所述的散热层的圆形边缘处为滑道15，所述的固定板的边缘位于滑道15内，电机7的底座固定在散热层的底板上，电机转轴16上安装有主动轮10，主动轮10与从动轮12啮合，与从动轮12同轴上有风扇11，从动轮12的轴通过轴承安装在散热层底板上。所述主动轮10直径大于所述从动轮12直径，所述主动轮10直径为所述从动轮12直径的5倍。所述主动轮10与所述从动轮12啮合连接，风扇转轴安装于所述从动轮12中，并且所述风扇11转轴上安装有风扇叶片。所述风扇11转轴上安装有上下两组所述风扇叶片。

本实用新型的使用过程如下：

将散热层的壳体14固定安装于光刻机的光源位置，电源开启后，紫外灯珠1亮，发出紫外线。电机7启动，电机转轴16带动轴上的转动轮13、带轮和主动轮10转动，与转动轮13焊接的固定板8随之转动，动力层和衬底层4为一体结构，即动力层和衬底层4整体开始转动，动力层下部的凹槽与滑道15配合，保持整体稳定；与带轮通过同步带6连接的其他转轴3随之转动，并且由于转轴3两两相连，即所有的转轴3都会同步转动，转轴3上端的紫外灯珠1也发生转动；与主动轮10啮合的从动轮12随之转动，ω＝v/r，由于线速度v相等，主动轮10直径r1大于从动轮12直径r2，所以从动轮12的转速ω2高于主动轮10的转速ω1，从动轮12带动风扇转轴转动，上下两组风扇叶片11开始工作，为紫外照明光源散热。电机7的转速可调节。

本实用新型的光源整体能够旋转，每个单独的灯珠也能够同步旋转，旋转能够提升发出的光线的均匀度，减小单个灯珠对于整体光照的影响，两者效果叠加使紫外光源发出的高均匀度的紫外光束。本实用新型也减小温度对部件运行和衬底层的影响。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图。