一种黄光对准系统以及采用该黄光对准系统的光刻机的制作方法

文档序号:18507530发布日期:2019-08-23 23:36阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种黄光对准系统,在黄光对准系统的使用下,对位点在对位相机抓取的图像中显示清晰,能够准确得到的对位点的位置,对准系统设置在可移动的基板台面上方,基板台面用于承载PCB板,对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件,固定对准组件包括固定在龙门上的固定对准相机,固定对准相机的镜头朝下设置,固定对准组件还包括固定在龙门上的照明光源,照明光源为黄光光源,移动对准组件包括沿龙门设置的滑轨,滑轨上设置有能够沿滑轨移动的移动对准相机,移动对准相机的镜头朝下设置,固定对准相机与移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点,同时本实用新型还提供了使用该黄光对准系统的光刻机。

技术研发人员:蔡瑞;张雷;李伟成
受保护的技术使用者:苏州源卓光电科技有限公司
技术研发日:2018.12.13
技术公布日:2019.08.23

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