1.一种光学滤波器件,其特征在于包含了由衬底(1)、过渡金属氮化物(2)和光学匹配层(3),其中过渡金属氮化物(2)制备在衬底(1)上面并且中间有宽度为W凹槽,光学匹配层(3)覆盖在过渡金属氮化物(2)上并将凹槽填充,整体结构沿垂直凹槽的方向以周期p排列。
2.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于过渡金属氮化物(2)的为TiN、ZrN中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于过渡金属氮化物(2)的厚度T2在10nm~500nm之间。
4.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于衬底(1)为禁带宽度大于4eV的介质材料。
5.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于光学匹配层(3)的厚度T1在5nm~300nm之间。
6.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于光学匹配层(3)折射率在1.2~2.5之间。
7.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于凹槽宽度W在5nm~300nm之间。
8.根据权利要求1所述的一种光学滤波器件,其特征在于周期p在10nm~300nm之间。