技术总结
一种光学滤波器件，该器件由衬底(1)、含有光学狭缝的过渡金属氮化物(2)和光学匹配层(3)构成。通过设计各层的厚度、狭缝的宽度以及整体结构的周期性，可以实现不同波长的选择性透过特性，并且透过光谱具有较窄的半峰宽，具有较高的波长选择性。该器件通过低成本的过渡金属氮化物材料实现波长选择功能，能够替代基于贵金属的传统滤波器件，有利于滤波器件的推广应用。
技术研发人员：孟彦龙;李裔;裘燕青
受保护的技术使用者：杭州菲柏斯科技有限公司
技术研发日：2018.12.21
技术公布日：2019.10.18