升降承载装置及曝光机的制作方法

文档序号:19647625发布日期:2020-01-10 15:03阅读:141来源:国知局
升降承载装置及曝光机的制作方法

本实用新型属于曝光设备技术领域,尤其涉及一种升降承载装置及曝光机。



背景技术:

曝光设备的曝光原理是利用曝光件并通过光照对待曝光产品进行曝光成像。在曝光设备内,通常都安装有用于承托曝光件的架体和用于承托待曝光产品的架体。

待曝光产品在曝光成像过程中,其常常需要调整两架体的相对距离以实现待曝光产品和曝光件之间的准确对焦。然而,由于两架体是独立设置于曝光设备内,故在彼此相对运动过程中,容易出现位置偏差,进而会导致待曝光产品和曝光件之间无法实现准确对焦。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种升降承载装置及曝光机,旨在解决现有技术中的曝光设备的待曝光产品和曝光件之间无法准确对焦的技术问题。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种升降承载装置,包括第一架体、升降机构和第二架体,所述升降机构包括至少一个驱动组件,各所述驱动组件的驱动端均安装于所述第一架体上并用于驱动所述第一架体朝向所述第二架体运动,所述升降机构还包括至少一个导向柱和至少一个导向套筒,各所述导向柱的第一端均安装于所述第二架体,所述第一架体上开设有至少一个配合孔,各所述导向套筒均安装于所述第二架体上并分别正对各所述配合孔设置,所述导向柱的第二端依序穿过对应的所述导向套筒和对应的所述配合孔。

进一步地,各所述驱动组件均包括安装架、螺套、传动丝杆和用于安装于外界基面上的驱动电机,所述安装架安装于所述第一架体上,所述螺套安装于所述安装架内,且所述螺套套设于所述传动丝杆上,所述传动丝杆的轴线方向平行于各所述导向柱的轴线方向,所述驱动电机的驱动轴与所述传动丝杆连接。

进一步地,各所述驱动组件还均包括用于安装于外界基面上的固定架,所述驱动电机安装于所述固定架的一侧,所述传动丝杆可转动地安装于所述固定架的相对另一侧并与所述驱动电机的驱动轴连接。

进一步地,所述固定架包括第一安装板和第二安装板,所述第一安装板和所述第二安装板之间安装有两装配板,所述第一安装板、所述第二安装板和两所述装配板共同围设形成有容置空间,所述驱动电机安装于所述第一安装板上,且所述驱动电机的驱动轴穿过所述第一安装板并延伸于所述容置空间内,所述传动丝杆可转动地安装于所述第二安装板上并延伸于所述容置空间内,所述传动丝杆和所述驱动电机的驱动轴在所述容置空间内连接。

进一步地,所述驱动电机的驱动轴和所述传动丝杆通过联轴器连接。

进一步地,各所述驱动组件还均包括保护罩,所述安装架、所述螺套和所述传动丝杆均位于对应的所述保护罩内。

进一步地,所述驱动组件的数量为两个,两个所述驱动组件分别位于所述第一架体宽度方向的相对两侧。

进一步地,所述配合孔、所述导向柱和所述导向套筒的数量均为四个,且四个所述配合孔分别位于所述第一架体的四个角部,四个所述导向套筒分别安装于所述第一架体的四个角部并分别正对于四个所述配合孔设置。

进一步地,所述第一架体和所述第二架体均开设有用于安装外界物件的装配通腔。

本实用新型的有益效果:本实用新型的升降承载装置,工作时,驱动组件可驱动第一架体朝向第二架体运动,那么当待曝光产品和曝光件分别安装于第一架体和第二架体上时,便实现了曝光件和待曝光产品相对间距的调节。而由于第一架体和第二架体之间还存在有导向柱和导向套筒,这样第一架体在朝向第二架体运动的过程中便能够受到导向柱和导向套筒的导向作用,而使其运动轨迹更为精确,消除了第一架体相对于第二架体运动时产生的位置偏差,使得第一架体和第二架体形成了一体式架体的布局,进而保证了装设于第一架体上的待曝光产品和装设于第二架体上的曝光件的准确对焦。

本实用新型采用的另一技术方案是:一种曝光机,包括有上述的升降承载装置。

本实用新型的曝光机,由于包括有上述的升降承载装置,那么得益于上述的升降承载装置的第一架体相对于第二架体运动时不会产生位置偏差,有效提升了装设于第一架体上的待曝光产品和装设于第二架体上的曝光件对焦准确性,这样包括有上述的升降承载装置的曝光机也实现了其整体曝光成像质量的提升。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的升降承载装置的结构示意图;

图2为本实用新型实施例提供的升降承载装置的爆炸结构示意图;

图3为本实用新型实施例提供的升降承载装置的驱动组件的结构示意图;

图4为本实用新型实施例提供的升降承载装置的驱动组件的爆炸结构示意图。

其中,图中各附图标记:

10—第一架体11—配合孔12—装配通腔

20—升降机构21—驱动组件22—导向柱

23—导向套筒24—联轴器25—保护罩

26—拖链30—第二架体211—安装架

212—螺套213—传动丝杆214—驱动电机

215—固定架216—第一安装板217—第二安装板

218—装配板219—容置空间221—横向板

222—竖向板251—护板252—位移传感器。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1~4描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1~3所示,本实用新型实施例提供了一种升降承载装置,包括第一架体10、升降机构20和第二架体30。其中,升降机构20包括有至少一个驱动组件21,各驱动组件21的驱动端均安装于第一架体10上并用于驱动第一架体10朝向第二架体30运动。具体地,驱动组件21可为螺杆升降驱动组件21或支架升降驱动组件21等。驱动组件21的驱动源种类可为液压、气动或电机驱动等。驱动组件21可安装于外界基面上,以保证自身的稳固性。升降机构20还包括至少一个导向柱22和至少一个导向套筒23,各导向柱22的第一端均安装于第二架体30,第一架体10上开设有至少一个配合孔11,各导向套筒23均安装于第二架体30上并分别正对各配合孔11设置,导向柱22的第二端依序穿过对应的导向套筒23和对应的配合孔11。而第一架体10的四个角部均可安装有拖链26,这样可对第一架体10周围的电缆线进行收束整理。

以下对本实用新型实施例提供的升降承载装置作出进一步说明:本实用新型实施例提供的升降承载装置,工作时,驱动组件21可驱动第一架体10朝向第二架体30运动,那么当待曝光产品和曝光件分别安装于第一架体10和第二架体30上时,便实现了曝光件和待曝光产品相对间距的调节。而由于第一架体10和第二架体30之间还存在有导向柱22和导向套筒23,这样第一架体10在朝向第二架体30运动的过程中便能够受到导向柱22和导向套筒23的导向作用,而使其运动轨迹更为精确,消除了第一架体10相对于第二架体30运动时产生的位置偏差,使得第一架体10和第二架体30形成了一体式架体的布局,进而保证了装设于第一架体10上的待曝光产品和装设于第二架体30上的曝光件的准确对焦。

在本实用新型的另一个实施例中,如图1、图3和图4所示,各驱动组件21均包括安装架211、螺套212、传动丝杆213和用于安装于外界基面上的驱动电机214,安装架211安装于第一架体10上,螺套212安装于安装架211内,且螺套212套设于传动丝杆213上,传动丝杆213的轴线方向平行于各导向柱22的轴线方向,驱动电机214的驱动轴与传动丝杆213连接。具体地,各驱动组件21在工作时,驱动电机214的驱动轴驱动传动丝杆213旋转,传动丝杆213在旋转的过程中可带动套设于其上的螺套212沿传动丝杆213的轴线方向运动,由于传动丝杆213的轴线方向平行于各导向柱22的轴线方向,那么与螺套212相连接的安装架211即可带动第一架体10朝向第二架体30运动,实现第一架体10和第二架体30之间间距的调节。进一步地,安装架211包括横向板221和两个用于与外界基面相连接的竖向板222,两竖向板222安装于横向板221的相对两侧,螺套212穿设安装于横向板221上。

在本实用新型的另一个实施例中,如图3和图4所示,各驱动组件21还均包括用于安装于外界基面上的固定架215,驱动电机214安装于固定架215的一侧,传动丝杆213可转动地安装于固定架215的相对另一侧并与驱动电机214的驱动轴连接。具体地,由于固定架215的存在,这样便在驱动电机214和传动丝杆213之间起到了过渡连接的作用,保证了驱动电机214的驱动轴和传动丝杆213的连接稳定性。

在本实用新型的另一个实施例中,如图4所示,固定架215包括第一安装板216和第二安装板217,第一安装板216和第二安装板217之间安装有两装配板218,第一安装板216、第二安装板217和两装配板218共同围设形成有容置空间219,驱动电机214安装于第一安装板216上,且驱动电机214的驱动轴穿过第一安装板216并延伸于容置空间219内,传动丝杆213可转动地安装于第二安装板217上并延伸于容置空间219内,传动丝杆213和驱动电机214的驱动轴在容置空间219内连接。具体地,通过使得第一安装板216、第二安装板217和两装配板218共同围设形成有容置空间219,并使得传动丝杆213和驱动电机214的驱动轴在容置空间219内连接。这样便使得固定架215同时兼顾了固定驱动电机214和为传动丝杆213和驱动电机214的驱动轴的连接提供空间的功能。

在本实用新型的另一个实施例中,如图3所示,驱动电机214的驱动轴和传动丝杆213通过联轴器24连接。具体地,通过使得驱动电机214的驱动轴通过联轴器24与传动丝杆213相连接,这样便在保证驱动轴与传动丝杆213的连接强度的同时,也显著提升了驱动轴与传动丝杆213的快装快拆性能。

在本实用新型的另一个实施例中,如图3和图4所示,各驱动组件21还均包括保护罩25,安装架211、螺套212和传动丝杆213均位于对应的保护罩25内。具体地通过使得安装架211、螺套212和传动丝杆213均位于对应的保护罩25内,这样安装架211、螺套212和传动丝杆213便能够受到保护罩25的保护作用以免受外界飞溅杂质的影响。进一步地,保护罩25安装架211背离保护罩25的一侧还安装有护板251,那么护板251的存在便弥补的保护罩25的掩盖死角,进一步地保证了传动丝杠运转时免受外界因素影响。优选地,保护罩25上还可安转有位移传感器252。

在本实用新型的另一个实施例中,如图1和图2所示,驱动组件21的数量为两个,两个驱动组件21分别位于第一架体10宽度方向的相对两侧。具体地,通过在第一架体10的宽度方向的相对两侧设置驱动组件21,这样驱动组件21所施加的驱动力便能够平均作用于第一架体10上,进而使得第一架体10相对于第二架体30的运动更为精确和稳定。

在本实用新型的另一个实施例中,如图1所示,配合孔11、导向柱22和导向套筒23的数量均为四个,且四个配合孔11分别位于第一架体10的四个角部,四个导向套筒23分别安装于第一架体10的四个角部并分别正对于四个配合孔11设置,导向柱22的第二端依序穿过对应的导向套筒23和对应的配合孔11。具体地,通过使得导向柱22和导向套筒23对应第一架体10的四个角部设置,这样便提升了第一架体10整体相对于第二架体30运动的稳定性。

在本实用新型的另一个实施例中,如图1所示,第一架体10和第二架体30均开设有用于安装外界物件的装配通腔12。具体地,由于第一架体10和第二架体30均开设有装配通腔12,这样就便于曝光件和待曝光产品及其相关适配零件在第一架体10和第二架体30上的安装,同时也保证了曝光光路通畅。

本实用新型实施例还提供了一种曝光机,包括上述的升降承载装置。

本实用新型实施例提供的曝光机,由于包括有上述的升降承载装置,那么得益于上述的升降承载装置的第一架体10相对于第二架体30运动时不会产生位置偏差,有效提升了装设于第一架体10上的待曝光产品和装设于第二架体30上的曝光件对焦准确性,这样包括有上述的升降承载装置的曝光机也实现了其整体曝光成像质量的提升。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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