一种用于显微光刻的微缩投影装置的制作方法

本实用新型涉及微缩投影装置技术领域，具体为一种用于显微光刻的微缩投影装置。

背景技术：

投影装置是将来自光源的光在液晶面板等显示元件中根据影像信号进行调制后使其形成光学像，通过投射透镜或投射镜将形成的光学像向外部的屏幕、壁面等被照射面投影的装置。

现今市场上的此类微缩投影装置种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的不足之处，具体问题有以下几点。

(1)传统的此类微缩投影装置不便于对正透镜组进行防护，导致外界灰尘易对其进行侵蚀，影响其投影效果；

(2)传统的此类微缩投影装置散热性能一般，难以对激光器进行高效散热，导致其易因高温出现损坏的现象，使用寿命较短；

(3)传统的此类微缩投影装置不便于调节激光器与凹面镜组之间的间距，难以根据具体需求进行相应的调节，具有一定的局限性。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于显微光刻的微缩投影装置，以解决上述背景技术中提出微缩投影装置不便于对正透镜组进行防护、散热性能一般以及不便于调节激光器与凹面镜组之间间距的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于显微光刻的微缩投影装置，包括投射腔体、曲面镜组、激光器、动力腔体和凹面镜组，所述投射腔体内部的中心位置处设有凹面镜组，且凹面镜组一侧的投射腔体内部设有曲面镜组，并且曲面镜组远离凹面镜组一侧的投射腔体内部设有正透镜组，所述投射腔体一侧的外壁上固定有连接筒体，连接筒体的一端延伸至投射腔体的内部，且连接筒体远离投射腔体一侧的外壁上固定有动力腔体，动力腔体的一端与连接筒体的一端相连通，并且动力腔体内部的一侧设有激光器，所述激光器一侧的外壁上设有螺旋结构，且螺旋结构两侧的动力腔体外壁上皆设有接口。

优选的，所述螺旋结构的内部依次设有定位螺帽、螺旋柄以及螺旋杆，所述激光器一侧的外壁上铰接有螺旋杆，螺旋杆的一端延伸至动力腔体的外部，且螺旋杆远离激光器的一端安装有螺旋柄，并且螺旋杆表面的动力腔体内壁上螺纹连接有定位螺帽，定位螺帽的一端与动力腔体的内壁固定连接。

优选的，所述螺旋结构两端的动力腔体内壁上皆固定有集热板，且集热板一侧的外壁上固定有散热翅柱，散热翅柱远离集热板的一端延伸至动力腔体的外部，并且散热翅柱表面的动力腔体内部缠绕有两组散热翅环。

优选的，所述激光器两端的动力腔体内壁上皆设有限位槽，且限位槽内部的一侧设有限位块，限位块的一端延伸至限位槽的外部并与激光器的外壁固定连接。

优选的，所述动力腔体靠近连接筒体一侧的外壁上设有两组散热通孔，且散热通孔内部的中心位置处皆设有防尘网。

优选的，所述正透镜组远离曲面镜组一侧的投射腔体内壁上设有两组限位环，且限位环远离正透镜组一侧的投射腔体内壁上皆固定有定位框，并且相邻定位框之间的投射腔体内部安装有防尘晶片，防尘晶片的两侧皆设有契合槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于显微光刻的微缩投影装置不仅确保了微缩投影装置使用时的投影效果，延长了微缩投影装置的使用寿命，而且提高了微缩投影装置的适用范围；

(1)通过设置有定位框、防尘晶片、限位环以及契合槽，通过将契合槽对准定位框，按压防尘晶片并对其进行旋转，经限位环对防尘晶片进行限位后，将防尘晶片安装至投射腔体的一端，以便于对正透镜组进行防护，避免外界灰尘对正透镜组造成侵蚀，从而确保了微缩投影装置使用时的投影效果；

(2)通过设置有集热板、散热翅环以及散热翅柱，通过集热板将激光器产生的热能进行集合，由散热翅柱将此部分热能导入动力腔体的外部，同时散热翅环进一步增强了散热翅柱的导热效率，以便于对激光器进行高效散热处理，避免其因高温出现损坏的现象，从而延长了微缩投影装置的使用寿命；

(3)通过设置有定位螺帽、螺旋柄以及螺旋杆，通过旋转螺旋柄，使其带动螺旋杆旋转并在定位螺帽的内部平移，限位块则会在限位槽的内部同步移动对激光器进行限位，使激光器随螺旋杆同步移动，以便根据具体需求调节激光器与凹面镜组之间的间距，从而提高了微缩投影装置的适用范围。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的图1中a处放大结构示意图；

图3为本实用新型的螺旋结构剖视放大结构示意图；

图4为本实用新型的防尘晶片侧视放大结构示意图；

图5为本实用新型的动力腔体侧视放大结构示意图。

图中：1、投射腔体；2、曲面镜组；3、连接筒体；4、防尘网；5、限位块；6、限位槽；7、螺旋结构；701、定位螺帽；702、螺旋柄；703、螺旋杆；8、激光器；9、散热通孔；10、动力腔体；11、凹面镜组；12、正透镜组；13、定位框；14、防尘晶片；15、限位环；16、集热板；17、散热翅环；18、散热翅柱；19、契合槽；20、接口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种用于显微光刻的微缩投影装置，包括投射腔体1、曲面镜组2、激光器8、动力腔体10和凹面镜组11，投射腔体1内部的中心位置处设有凹面镜组11，且凹面镜组11一侧的投射腔体1内部设有曲面镜组2，并且曲面镜组2远离凹面镜组11一侧的投射腔体1内部设有正透镜组12，正透镜组12远离曲面镜组2一侧的投射腔体1内壁上设有两组限位环15，且限位环15远离正透镜组12一侧的投射腔体1内壁上皆固定有定位框13，并且相邻定位框13之间的投射腔体1内部安装有防尘晶片14，防尘晶片14的两侧皆设有契合槽19，以便对正透镜组12进行防护；

投射腔体1一侧的外壁上固定有连接筒体3，连接筒体3的一端延伸至投射腔体1的内部，且连接筒体3远离投射腔体1一侧的外壁上固定有动力腔体10，动力腔体10的一端与连接筒体3的一端相连通，动力腔体10靠近连接筒体3一侧的外壁上设有两组散热通孔9，且散热通孔9内部的中心位置处皆设有防尘网4，以便对动力腔体10内部的热能进行散发；

并且动力腔体10内部的一侧设有激光器8，该激光器8的型号可为fu650ad50-gd16，激光器8两端的动力腔体10内壁上皆设有限位槽6，且限位槽6内部的一侧设有限位块5，限位块5的一端延伸至限位槽6的外部并与激光器8的外壁固定连接，以便对激光器8的移动幅度进行限位；

激光器8一侧的外壁上设有螺旋结构7，螺旋结构7的内部依次设有定位螺帽701、螺旋柄702以及螺旋杆703，激光器8一侧的外壁上铰接有螺旋杆703，螺旋杆703的一端延伸至动力腔体10的外部，且螺旋杆703远离激光器8的一端安装有螺旋柄702，并且螺旋杆703表面的动力腔体10内壁上螺纹连接有定位螺帽701，定位螺帽701的一端与动力腔体10的内壁固定连接；

通过旋转螺旋柄702，使其带动螺旋杆703旋转并在定位螺帽701的内部平移，限位块5则会在限位槽6的内部同步移动对激光器8进行限位，使激光器8随螺旋杆703同步移动，以便根据具体需求调节激光器8与凹面镜组11之间的间距，提高微缩投影装置的适用范围；

螺旋结构7两端的动力腔体10内壁上皆固定有集热板16，且集热板16一侧的外壁上固定有散热翅柱18，散热翅柱18远离集热板16的一端延伸至动力腔体10的外部，并且散热翅柱18表面的动力腔体10内部缠绕有两组散热翅环17，以便对激光器8进行高效散热；且螺旋结构7两侧的动力腔体10外壁上皆设有接口20。

工作原理：当微缩投影装置使用时，首先由接口20外接外部电源电缆，使激光器8通电后发出激光光束，并依次经凹面镜组11、曲面镜组2以及正透镜组12处理后进行投影处理，通过旋转螺旋柄702，使其带动螺旋杆703旋转并在定位螺帽701的内部平移，限位块5则会在限位槽6的内部同步移动对激光器8进行限位，使激光器8随螺旋杆703同步移动，以便根据具体需求调节激光器8与凹面镜组11之间的间距，提高微缩投影装置的适用范围，之后通过集热板16将激光器8产生的热能进行集合，由散热翅柱18将此部分热能导入动力腔体10的外部，同时散热翅环17进一步增强了散热翅柱18的导热效率，以便于对激光器8进行高效散热处理，避免其因高温出现损坏的现象，延长微缩投影装置的使用寿命，最后通过将契合槽19对准定位框13，按压防尘晶片14并对其进行旋转，经限位环15对防尘晶片14进行限位后，将防尘晶片14安装至投射腔体1的一端，以便于对正透镜组12进行防护，避免外界灰尘对正透镜组12造成侵蚀，确保微缩投影装置使用时的投影效果，从而完成微缩投影装置的使用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。