一种耐高温正性光刻胶的制作方法

文档序号:24637536发布日期:2021-04-09 20:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种耐高温正性光刻胶,其特征在于,其原料按重量份包括:线性酚醛树脂6-8份、改性酚醛树脂8-10份、光敏剂4-6份、溶剂80-90份;

其中,在改性酚醛树脂中的制备过程中,调节全氟辛基三乙氧基硅烷的乙醇水溶液的ph=5-6,水解,干燥得到低聚物;将低聚物与酚醛树脂溶液混匀,进行反应,脱除溶剂得到改性酚醛树脂。

2.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,水解温度为室温,水解时间为9-11h。

3.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,反应温度为80-100℃,反应时间为4-5h。

4.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,低聚物与酚醛树脂的重量比为0.5-0.7:10。

5.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂为线性酚醛树脂,其合成单体为α-萘酚、苯酚和甲醛。

6.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂溶液的溶剂为n-甲基吡咯烷酮。

7.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂的重均分子量为5000-7000。

8.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,线性酚醛树脂的重均分子量为60000-80000。

9.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,光敏剂为四羟基二苯甲酮-215重氮萘醌磺酸酯和4-羟基二苯甲酮;优选地,四羟基二苯甲酮-215重氮萘醌磺酸酯和4-羟基二苯甲酮的重量比为1:0.2-0.25。

10.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,所述光刻胶的原料还包括助剂,所述助剂包括流平剂、增韧剂、增粘剂、稳定剂。


技术总结
本发明公开了一种耐高温正性光刻胶,其原料按重量份包括:线性酚醛树脂6‑8份、改性酚醛树脂8‑10份、光敏剂4‑6份、溶剂80‑90份;其中,在改性酚醛树脂中的制备过程中,调节全氟辛基三乙氧基硅烷的乙醇水溶液的pH=5‑6,水解,干燥得到低聚物;将低聚物与酚醛树脂溶液混匀,进行反应,脱除溶剂得到改性酚醛树脂。本发明通过各物质相互配合,在保持较好分辨率同时提高本发明的耐高温性能。

技术研发人员:徐娟;周建;王猛
受保护的技术使用者:阜阳申邦新材料技术有限公司
技术研发日:2020.12.23
技术公布日:2021.04.09
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