1.一种耐高温正性光刻胶,其特征在于,其原料按重量份包括:线性酚醛树脂6-8份、改性酚醛树脂8-10份、光敏剂4-6份、溶剂80-90份;
其中,在改性酚醛树脂中的制备过程中,调节全氟辛基三乙氧基硅烷的乙醇水溶液的ph=5-6,水解,干燥得到低聚物;将低聚物与酚醛树脂溶液混匀,进行反应,脱除溶剂得到改性酚醛树脂。
2.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,水解温度为室温,水解时间为9-11h。
3.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,反应温度为80-100℃,反应时间为4-5h。
4.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,低聚物与酚醛树脂的重量比为0.5-0.7:10。
5.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂为线性酚醛树脂,其合成单体为α-萘酚、苯酚和甲醛。
6.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂溶液的溶剂为n-甲基吡咯烷酮。
7.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,在改性酚醛树脂中的制备过程中,酚醛树脂的重均分子量为5000-7000。
8.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,线性酚醛树脂的重均分子量为60000-80000。
9.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,光敏剂为四羟基二苯甲酮-215重氮萘醌磺酸酯和4-羟基二苯甲酮;优选地,四羟基二苯甲酮-215重氮萘醌磺酸酯和4-羟基二苯甲酮的重量比为1:0.2-0.25。
10.根据权利要求1所示耐高温正性光刻胶,其特征在于,所述光刻胶的原料还包括助剂,所述助剂包括流平剂、增韧剂、增粘剂、稳定剂。