一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法与流程

本发明涉及膜版技术领域，具体为一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法。

背景技术：

光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。掩膜版在加工时需要进行打孔，常见的加工工艺均会在孔的顶部留有毛刺凸起，而毛刺会直接影响后续掩膜版的使用，会使得机器造成更大的误差，因此一般都需要对其进行研磨去毛刺处理，来使得其本身保持光洁，不会受到毛刺等瑕疵的影响。

传统的研磨工艺会在掩模版表面直接研磨，将毛刺去除，但此种方式会出现一部分毛刺被打磨掉，还会出现部分毛刺会因为研磨而翻入孔内部，给接下来的工序造成麻烦。

基于此，本发明设计了一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，以解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤s1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔；

步骤s2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡；

步骤s3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺；

步骤s4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗。

优选的，在步骤s1中，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑。

优选的，在步骤s2中，蜡采用熔点在102℃-115℃的聚乙烯蜡。

优选的，在步骤s2中，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1-2mm的余量。

优选的，在步骤s3中，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在5℃-15℃之间。

优选的，在步骤s4中，掩膜版放入注入甲苯或二甲苯溶剂的加热皿中，加热皿放入水浴锅中进行加热，保持水浴温度在80℃-90℃，将蜡进行溶解。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过在掩膜版上开盲孔，再向盲孔中注蜡的方式，对盲孔进行填塞，保证掩模版在研磨前毛刺不翻入到盲孔中，克服现有加工盲孔中容易进入杂物的困难，通过加热以及溶剂冲洗的方式，可在外部研磨结束后，对盲孔内部的蜡进行溶解冲洗，实现盲孔内部以及周边的清洁，相比于传统的直接研磨技术来说，加工的孔具有更好的质量，直接从源头杜绝了毛刺内翻进入孔洞的缺陷。

附图说明

图1为本发明一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法的制作流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，

包括如下步骤：

步骤s1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑；

步骤s2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，蜡采用熔点在102℃-115℃的聚乙烯蜡，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1-2mm的余量；

步骤s3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在5℃之间；

步骤s4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗，掩膜版放入注入甲苯或二甲苯溶剂的加热皿中，加热皿放入水浴锅中进行加热，保持水浴温度在80℃-90℃，将蜡进行溶解。

实施例2

一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，

包括如下步骤：

步骤s1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑；

步骤s2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，蜡采用熔点在102℃-115℃的聚乙烯蜡，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1-2mm的余量；

步骤s3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在10℃之间；

步骤s4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗，掩膜版放入注入甲苯或二甲苯溶剂的加热皿中，加热皿放入水浴锅中进行加热，保持水浴温度在80℃-90℃，将蜡进行溶解。

实施例3

一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，

包括如下步骤：

步骤s1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑；

步骤s2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，蜡采用熔点在102℃-115℃的聚乙烯蜡，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1-2mm的余量；

步骤s3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在10℃之间；

步骤s4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗，掩膜版放入注入甲苯或二甲苯溶剂的加热皿中，加热皿放入水浴锅中进行加热，保持水浴温度在80℃-90℃，将蜡进行溶解。

表一：打磨环境温度对研磨效果的统计

通过表一可知，在打磨环境温度控制在10℃时，对掩膜版孔洞边缘毛刺的去除效果较佳，加工的打磨时间也可以控制较短。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。