技术特征：
1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：含环氧基化合物(a)、光阳离子聚合引发剂(i)、具有以下述通式(ahs1)表示的结构单元的树脂，所述含环氧基化合物(a)包含酚醛清漆型环氧树脂，所述光阳离子聚合引发剂(i)包含鎓硼酸盐，[化1]式中，r为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基，ya
x1
为单键或者2价的连接基团，wa
x1
为可具有取代基的芳香族烃基，n
ax1
为1以上的整数。2.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述鎓硼酸盐是以下述通式(i1)表示的化合物，[化2]式中，r
b01
～r
b04
分别独立地为可具有取代基的芳基或者氟原子，q为1以上的整数，且q
q+
为q价的有机阳离子。3.如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述酚醛清漆型环氧树脂是以下述通式(anv0)表示的环氧树脂，[化3]
式中，r
p1
以及r
p2
分别独立地为氢原子或者碳原子数为1～5的烷基，多个r
p1
可以彼此相同也可以不同，多个r
p2
可以彼此相同也可以不同，n1为1～5的整数，r
ep
是含环氧基的基团，多个r
ep
可以彼此相同也可以不同。4.如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述含环氧基化合物(a)进一步包含固体双酚型环氧树脂。5.如权利要求4所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述固体双酚型环氧树脂是以下述通式(abp1)表示的环氧树脂，[化4]式中，r
ep
是含环氧基的基团，多个r
ep
可以彼此相同也可以不同，r
a31
以及r
a32
分别独立地为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的氟代烷基，na
31
为1～50的整数。6.如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，在将所述含环氧基化合物(a)与具有以所述通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的合计设为100质量份时，具有以所述通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的含量为0.5～10质量份。7.如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述含环氧基化合物(a)进一步包含以下述通式(ta1)表示的化合物，[化5]
式中，r
ep
是含环氧基的基团，多个r
ep
可以彼此相同也可以不同。8.如权利要求7所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，在将所述含环氧基化合物(a)的总质量份设为100质量份时，以所述通式(ta1)表示的化合物的含量为0.1～10质量份。9.一种图案形成方法，其特征在于，具有：使用权利要求1～8的任一项所述的负型感光性树脂组合物在支承体上形成感光性树脂膜的工序；对所述感光性树脂膜进行曝光的工序；利用含有有机溶剂的显影液对曝光后的所述感光性树脂膜进行显影从而形成负型图案的工序。
技术总结
本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中，R为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基。Ya
技术研发人员：武内弘明 近藤崇弘 山形宪一 增岛正宏
受保护的技术使用者：东京应化工业株式会社
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2022/6/28