技术特征:1.一种微镜器件,其具备:
2.根据权利要求1所述的微镜器件,其中,
3.根据权利要求1所述的微镜器件,其中,
4.根据权利要求1所述的微镜器件,其中,
5.根据权利要求1所述的微镜器件,其中,
6.根据权利要求2或3所述的微镜器件,其中,
7.根据权利要求1至4中任一项所述的微镜器件,其中,
8.根据权利要求1至7中任一项所述的微镜器件,其中,
9.根据权利要求1至8中任一项所述的微镜器件,其中,
10.一种光扫描装置,其具备:
技术总结微镜器件具备:反射镜部;第1支承部,将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动;可动框,与第1支承部连接;第2支承部,将反射镜部、第1支承部及可动框支承为能够围绕第2轴摆动;一对第1致动器,与第2支承部连接,并且隔着第2轴对置;第2致动器,配置成包围第1致动器;第1连接部,连接第1致动器与第2致动器;固定框,配置成包围第2致动器;及第2连接部,连接第2致动器与固定框。第2致动器使围绕第1轴的转矩作用于反射镜部。第1致动器使围绕第2轴的转矩作用于可动框。
技术研发人员:直野崇幸,青岛圭佑
受保护的技术使用者:富士胶片株式会社
技术研发日:技术公布日:2024/1/11