一种显影喷嘴结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种显影喷嘴结构。


背景技术：

2.显影是用显影液将印版上经过曝光形成的潜影显出来的过程，显影工艺过程包括喷淋显影液、冲洗、烘干等过程。在显影过程中，经过显影液均匀、连续的喷洒，将印版的感光层迅速溶解。
3.公告号为cn101697065b中国专利公开了一种显影装置，其喷嘴开口为狭缝状的喷出口，喷嘴喷淋时靠近显影液注入口位置的冲击力大，远离注入口位置的冲击力小，难以保证长度方向上喷洒的冲击力的一致性，进而导致基片显影的反应程度不均匀。
4.因此，有必要开发一种新型喷嘴结构，以避免现有技术中存在的上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种显影喷嘴结构，能够均衡显影液喷淋在基片上各个位置的冲击力，使得基片显影的反应程度均匀。
6.为实现上述目的，本实用新型提供的显影喷嘴结构包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，其外径10mm至40mm；其顶部设有小孔，所述小孔直径0.05mm至1mm，使显影液充满所述导流管后，从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出。
7.本实用新型提供的显影喷嘴结构的有益效果在于：0.05mm至1mm的小孔有利于显影液的从导流管中均匀溢出，在外径10mm至40mm的导流管外壁上的流动过程中，减小了对基片的冲击力，有利于使从所述喷嘴主体开口处各个位置流出的显影液对基片的冲击力均匀，进而使得基片显影的反应程度均匀。
8.可选的，所述导流管的截面形状为圆形或椭圆形。其有益效果在于：有利于显影液沿导流管外壁流下。
9.可选的，所述导流管的材料为亲水性矿物材料。其有益效果在于：亲水性矿物对水有较大的亲和能力，可以吸引水分子，有利于在显影液流动的过程中降低流速。
10.可选的，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。
11.可选的，所述小孔沿所述导流管的长度方向排列在所述导流管的顶部。其有益效果在于：有利于增加显影液的流动距离，减小对基片的冲击力。
12.可选的，相邻的所述小孔之间的中心距0.4mm至1.5mm。其有益效果在于：有利于显影液在导流管长度方向上均匀溢出。
13.可选的，所述导流管两端开口，用以注入显影液。
14.可选的，所述显影喷嘴结构还包括相对设置于所述导流管两端的供液管。其有益效果在于：有利于平衡导流管两端的压力。
15.可选的，还包括设置于所述供液管的流量调节阀。其有益效果在于：调节显影液喷
淋的流量。
16.可选的，所述供液管与所述导流管之间设有密封圈。其有益效果在于：有利于防止显影液从导流管两端溢出。
17.可选的，所述喷嘴主体材料为亲水材质。其有益效果在于：亲水性材料可以吸引水分子，当停止喷淋时，有利于减小喷淋压力。
18.可选的，所述喷嘴主体的材料经亲水处理。其有益效果在于：材料经亲水处理后可以吸引水分子，当停止喷淋时，有利于减小喷淋压力。
附图说明
19.图1为本实用新型显影喷嘴结构实施例的结构示意图；
20.图2为图1所示的导流管的结构示意图；
21.图3为图1所示的显影喷嘴结构的工作示意图。
具体实施方式
22.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
23.本实用新型实施例提供了一种显影喷嘴结构。
24.图1为本实用新型显影喷嘴结构实施例的结构示意图；图2为图1所示的导流管的结构示意图；图3为图1所示的显影喷嘴结构的工作示意图。
25.本实用新型一些实施例中，参照图1、图2和图3，包括：喷嘴主体1，所述喷嘴主体1设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管2，所述导流管2固定设置于所述喷嘴主体1内，其外径10mm至40mm；其顶部设有小孔201，所述小孔201直径0.05mm至1mm，使显影液充满所述导流管2后，从所述小孔201中溢出，经所述导流管2外壁从所述底部开口流出。
26.具体的，参照图1，所述喷嘴主体1为具有两侧开口和底部开口的空腔结构，底部开口形状为狭长的长方形，用以流出显影液。
27.具体的，参照图1和图2，所述导流管2两端开口，其顶部开设有一排小孔201。
28.本实用新型一些具体实施例中，所述小孔201直径为0.05mm、0.4mm或1mm。
29.本实用新型一些具体实施例中，所述导流管2外径为10mm、25mm或40mm。
30.具体的，参照图1，所述导流管2固定设置于所述喷嘴主体1的空腔结构内，所述导流管2以小孔201朝向竖直向上的方式布置，所述喷嘴主体1底部开口朝向竖直向下的方式布置。
31.具体的，参照图1、图2和图3，显影液充满所述导流管2后，从所述小孔201中溢出后，在重力作用下沿所述导流管2的外壁向下流动并从所述底部开口流出，这一过程实际上
降低了流速，减小了喷淋时对基片的冲击力。
32.本实用新型一些实施例中，所述导流管2的截面形状为圆形或椭圆形。
33.具体的，参照图2，所述导流管2的截面形状为圆形。
34.本实用新型一些实施例中，所述导流管2的材料为亲水性矿物材料。
35.本实用新型一些实施例中，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。
36.具体的，所述导流管2的材料为石英。
37.本实用新型一些实施例中，参照图2，所述小孔201沿所述导流管2的长度方向排列在所述导流管2的顶部。
38.本实用新型一些实施例中，参照图2，相邻的所述小孔201之间的中心距0.4mm至1.5mm。
39.本实用新型一些具体实施例中，相邻的所述小孔201之间的中心距为0.4mm、1mm或1.5mm。
40.本实用新型一些实施例中，参照图1，所述导流管2两端开口，用以注入显影液。
41.本实用新型一些实施例中，参照图2，所述显影喷嘴结构还包括相对设置于所述导流管2两端的供液管3。
42.具体的，参照图1，两根供液管3穿过所述喷嘴主体1的两侧开口，与所述导流管2的两端相连接，从两端同时向所述导流管2注入显影液。
43.本实用新型一些实施例中，所述显影喷嘴结构还包括设置于所述供液管3的流量调节阀，以控制喷淋的启闭和改变喷淋的流量。
44.本实用新型一些实施例中，所述供液管3与所述导流管2之间设有防止显影液从所述导流管2两端泄露的密封圈。
45.本实用新型一些实施例中，所述喷嘴主体1材料为亲水材质。
46.具体的，所述喷嘴主体1的材料为石英。
47.本实用新型一些实施例中，所述喷嘴主体1的材料经亲水处理。
48.虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。