技术特征：
1.一种显影喷嘴结构，其特征在于，包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，其外径10mm至40mm；其顶部设有小孔，所述小孔直径0.05mm至1mm，使显影液充满所述导流管后，从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出。2.根据权利要求1所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述导流管的截面形状为圆形或椭圆形。3.根据权利要求2所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述导流管的材料为亲水性矿物材料。4.根据权利要求3所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。5.根据权利要求1所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述小孔沿所述导流管的长度方向排列在所述导流管的顶部。6.根据权利要求5所述的显影喷嘴结构，其特征在于，相邻的所述小孔之间的中心距0.4mm至1.5mm。7.根据权利要求6所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述导流管两端开口，用以注入显影液。8.根据权利要求7所述的显影喷嘴结构，其特征在于，还包括相对设置于所述导流管两端的供液管。9.根据权利要求8所述的显影喷嘴结构，其特征在于，还包括设置于所述供液管的流量调节阀。10.根据权利要求9所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述供液管与所述导流管之间设有密封圈。11.根据权利要求1所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述喷嘴主体材料为亲水材质。12.根据权利要求1所述的显影喷嘴结构，其特征在于，所述喷嘴主体的材料经亲水处理。
技术总结
本实用新型提供了一种显影喷嘴结构，包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，其外径10mm至40mm；其顶部设有小孔，所述小孔直径0.05mm至1mm，使显影液充满所述导流管后，从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出，在导流管外壁上的流动过程中，减小了对基片的冲击力，有利于使从所述喷嘴主体开口处各个位置流出的显影液对基片的冲击力均匀，进而使得基片显影的反应程度均匀。基片显影的反应程度均匀。基片显影的反应程度均匀。
技术研发人员：程虎 邓岗
受保护的技术使用者：上海芯源微企业发展有限公司
技术研发日：2022.05.13
技术公布日：2022/9/22