一种用于附有湿膜的产品的曝光装置的制作方法

文档序号:33521913发布日期:2023-03-22 06:42阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:包括,曝光工位(1),所述曝光工位(1)包括平行光光源(11)以及掩模版(12),所述平行光光源(11)设置在掩模版(12)上方;氧气隔离机构(2),所述氧气隔离机构(2)设置在掩模版(12)的下方,所述氧气隔离机构(2)包括气管(21)以及喷嘴(22),所述气管(21)固定连接喷嘴(22),所述喷嘴(22)能够喷出惰性气体,所述喷嘴的出气口长度大于待加工产品中与喷嘴最接近的边的长度。2.根据权利要求1所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述喷嘴(22)包括气腔(221)以及喷头(222),所述气腔(221)一端连接气管(21),所述气腔(221)另一侧固定连接喷头(222),所述喷头(222)从靠近气腔(221)的一端到远离气腔(221)的一端体积逐渐减小。3.根据权利要求1所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述曝光工位(1)还包括升降件(13),所述掩模版(12)两侧固定连接升降件(13)。4.根据权利要求1~3任一所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述曝光工位(1)还包括掩模版横向移动件(14),所述掩模版横向移动件(14)与所述掩模版(12)连接,所述掩模版横向移动件(14)能够带动掩模版(12)沿水平方向移动。5.根据权利要求1所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:还包括传输机构(4),所述传输机构(4)设置在掩模版(12)的下方,所述传输机构(4)上设有氧气隔离机构(2),所述氧气隔离机构(2)设置在传输机构(4)的一侧。6.根据权利要求5所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:还包括承载台(3),所述承载台(3)设置在掩模版(12)的下方,所述承载台(3)设置在平行光光源(11)的正下方。7.根据权利要求6所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:还包括传输机构(4),所述传输机构(4)与所述承载台(3)相平齐。8.根据权利要求7所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述传输机构(4)的一侧设有转移件(41),所述转移件(41)包括旋转电机(411)、旋转支架(412)以及吸盘(413),所述旋转电机(411)输出轴固定连接旋转支架(412),所述旋转支架(412)两端固定设有吸盘(413)。9.根据权利要求8所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述转移件(41)上设有氧气隔离机构(2),所述氧气隔离机构(2)设置在转移件(41)的一侧。10.根据权利要求5~9任一所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述传输机构(4)上设有定位相机,所述定位相机固定在所述传输机构(4)的正上方,所述定位相机的镜头正对于传输机构(4)。11.根据权利要求1或2所述的用于附有湿膜的产品的曝光装置,其特征在于:所述喷嘴(22)中设有流量计,且所述喷嘴(22)出气口与所述掩模版(12)底面之间的距离小于0.2mm。

技术总结
本实用新型的一种用于附有湿膜的产品的曝光装置,属于光伏曝光技术领域。该装置包括曝光工位以及氧气隔离机构,所述曝光工位包括平行光光源以及掩模版,所述平行光光源设置在掩模版上方;所述氧气隔离机构设置在掩模版的下方,所述氧气隔离机构包括气管以及喷嘴,所述气管固定连接喷嘴,所述喷嘴能够喷出惰性气体。采用了曝光面积更大的平行光光源对附有湿膜的产品进行曝光,减少了曝光时间,提高了产能。同时,在产品曝光的过程中通以惰性气体对湿膜进行保护,尽量达到氧气隔绝,确保了附有湿膜的产品不会受到氧阻聚的影响,提高了附有湿膜的产品的成品率。湿膜的产品的成品率。湿膜的产品的成品率。


技术研发人员:胡广豹 王伟 姚青松 郁操 洪飞 龚志清
受保护的技术使用者:苏州迈为科技股份有限公司
技术研发日:2022.11.21
技术公布日:2023/3/21
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