1.一种压印装置(100),包括:
2.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述卡盘(500)包括用于测量从所述卡盘的表面到所述第一承载件的距离的一组位置传感器。
3.根据权利要求2所述的压印装置,其中,所述一组位置传感器包括三个位置传感器,每个位置传感器用于测量从所述卡盘到所述第一承载件的距离,每个位置传感器位于相应的第一致动器的近侧。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的压印装置,其中,所述第二承载件包括用于测量从所述印模降落设备到所述第一承载件的距离的一组位置传感器。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的压印装置,其中,所述压印装置还包括:
6.根据权利要求5所述的压印装置,其中,所述第二承载件还包括子框架(610),其中所述子框架被连接到所述主框架,所述卡盘被安装到所述子框架。
7.根据权利要求6所述的压印装置,其中,所述子框架通过弹簧布置结构被安装到所述主框架。
8.根据权利要求7所述的压印装置,其中,所述弹簧布置结构用于在压印期间通过运动耦合器将所述子框架偏压在所述第一承载件上。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的压印装置,其中,所述压印装置还包括印模降落设备适配器(1002),所述印模降落设备适配器用于定位在所述印模降落设备的上方以便根据所述衬底的厚度或尺寸调整所述印模降落设备。
10.根据权利要求9所述的压印装置,其中,所述印模降落设备用于装配在具有第一尺寸的衬底周围,所述印模降落设备适配器用于扩展所述印模降落设备的尺寸,以便装配在具有更小的第二尺寸的衬底周围。
11.根据权利要求9所述的压印装置,其中,所述印模降落设备用于装配在具有第一尺寸的柔性印模周围,所述印模降落设备适配器用于扩展所述印模降落设备的尺寸,以便装配在具有更小的第二尺寸的柔性印模周围。
12.根据权利要求9所述的压印装置,其中,所述卡盘用于支撑具有第一尺寸的衬底,而所述装置还包括用于在所述卡盘的上方装配在具有更小的第二尺寸的衬底周围的第二印模降落设备。
13.根据权利要求1至12中的任一项所述的压印装置,其中,每个卡盘致动器包括致动器输出端以及位于所述致动器输出端与卡盘驱动构件之间的杠杆布置结构。
14.根据权利要求1至13中的任一项所述的压印装置,其中,所述卡盘包括空心圆柱形体,所述空心圆柱形体具有顶面和底面、位于所述顶面和所述底面之间的格子布置结构,以及用于在一组进水口和一个出水口之间提供流动路径的内部水通道布置结构。
15.一种用于压印装置的印模降落系统,所述印模降落系统包括: