1.一种抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
2.如权利要求1所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
3.如权利要求1或2所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
4.如权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
5.如权利要求1～4中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
6.如权利要求5所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
7.如权利要求5所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
8.如权利要求5～7中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
9.如权利要求8所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
10.如权利要求5～9中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
11.如权利要求1～10中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
12.如权利要求1～10中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
13.如权利要求1～10中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
14.如权利要求1～10中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
15.如权利要求1～14中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
16.如权利要求1～14中任一项所述的抗蚀剂辅助膜组合物，其特征在于：
17.一种图案形成方法，其特征在于，包括：
18.一种图案形成方法，其特征在于，包括：
19.一种图案形成方法，其特征在于，包括：