1.一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体（1）、水冷装置（2）、水循环装置（3）和导热装置（5），其特征在于：所述光源主体（1）一侧与水冷装置（2）固定连接，所述水冷装置（2）另一侧与水循环装置（3）固定连接，所述水循环装置（3）一侧固定连接有散热主体（4），所述导热装置（5）在水循环装置（3）内呈均匀分布，所述水冷装置（2）包括第一盖板（21）、第一挡水主体（24）和第二挡水主体（25），所述第一盖板（21）一侧固定连接有第二盖板（22），所述第二盖板（22）与光源主体（1）固定连接，所述第一盖板（21）内固定连接有导热板（23），所述导热板（23）远离第二盖板（22）的一侧与水循环装置（3）固定连接，所述第一挡水主体（24）设置在第一盖板（21）内，所述第二挡水主体（25）与第二盖板（22）固定连接，所述第一挡水主体（24）一侧与导热板（23）固定连接，所述第一挡水主体（24）包括第一挡水架（241）和第二挡水架（242），所述第一挡水架（241）内设置有第一密封条（243），所述第一密封条（243）一侧与第二挡水架（242）紧密贴合，所述第二挡水架（242）设置在第一挡水架（241）内，所述第一挡水架（241）一侧与导热板（23）固定连接，所述第二挡水架（242）一侧与第二盖板（22）固定连接，所述第二挡水主体（25）包括第一挡水杆（251）、第二挡水杆（252）和密封主体（254），所述第一挡水杆（251）内设有第二密封条（253），所述第一挡水杆（251）内设有第二挡水杆（252），所述第二密封条（253）一侧与第二挡水杆（252）紧密贴合，所述第一挡水杆（251）一侧与导热板（23）固定连接，所述第二挡水杆（252）一侧与第二盖板（22）固定连接，所述第二挡水杆（252）一端与密封主体（254）固定连接，所述第二盖板（22）一侧开设有出水孔（26）。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述密封主体（254）包括密封块（2541），所述密封块（2541）内与第二挡水杆（252）紧密贴合，所述第二挡水杆（252）两侧均设置有限位条（2543），所述限位条（2543）与密封块（2541）紧密贴合，所述密封块（2541）内与第一挡水杆（251）紧密贴合，所述密封块（2541）两侧均设有限位座（2545），所述限位座（2545）呈l形设置，所述限位座（2545）一侧与第一挡水杆（251）固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述密封块（2541）内设置有u形板（2542），所述密封块（2541）内设置有加固板（2544），所述加固板（2544）两个为一组分别设置在第一挡水杆（251）的两侧，所述限位条（2543）两个为一组设置在u形板（2542）内。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述水循环装置（3）包括上固定壳（31）、下固定壳（32）、固定装置（35）、夹持装置（36）和定位主体（38），所述上固定壳（31）与下固定壳（32）相互紧密贴合，所述上固定壳（31）与下固定壳（32）内设有导热管（37），所述导热管（37）一端固定连接有水循环主体（33），所述导热管（37）另一端设置在定位主体（38）内，所述定位主体（38）另一侧固定连接有连接主体（34），所述连接主体（34）另一侧与第二盖板（22）固定连接，所述固定装置（35）设置在上固定壳（31）与下固定壳（32）外侧，所述固定装置（35）包括限位框（351），所述限位框（351）两端均固定连接有固定板（352），所述固定板（352）内设置有固定螺栓主体（353），所述固定螺栓主体（353）由螺栓和螺母组成，所述限位框（351）两侧均设有限位块（354），所述限位块（354）四个为一组分别固定在上固定壳（31）和下固定壳（32）的外侧，所述水循环主体（33）两侧均设有夹持装置（36），所述夹持装置（36）的个数共有两个，两个所述夹持装置（36）分别与上固定壳（31）和下固定壳（32）固定连接，所述夹持装置（36）包括夹持板（361），所述夹持板（361）一侧固定连接有缓冲橡胶板（364），所述夹持板（361）另一侧一端固定连接有安装板（362），所述安装板（362）内设有安装螺栓主体（363），所述安装螺栓主体（363）由螺栓和螺母构成，所述定位主体（38）两侧均设有推杆（39），所述推杆（39）两个为一组分别固定在上固定壳（31）和下固定壳（32）内，所述上固定壳（31）与下固定壳（32）内均固定连接有固定杆（310），且固定杆（310）另一端设置在连接主体（34）内。
5.根据权利要求4所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述定位主体（38）包括固定环（381），所述固定环（381）内开设有限位槽（382），固定环（381）所开设限位槽（382）内设有密封环（388），所述密封环（388）内设置有弹力环（389），所述导热管（37）设置在密封环（388）内，所述导热管（37）外侧固定连接有限位环（383），所述限位环（383）一侧与密封环（388）紧密贴合，所述限位环（383）另一侧固定连接有定位杆（386），所述限位环（383）一侧设有推环（384），所述推环（384）另一侧固定连接有推块（385），所述推环（384）一侧内开设有定位孔（387），所述定位杆（386）设置在推环（384）所开设定位孔（387）内，所述推块（385）一侧与推杆（39）紧密贴合。
6.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述导热装置（5）包括散热鳍片（51）和导热套（56），所述散热鳍片（51）内一侧与导热套（56）固定连接，所述导热套（56）另一侧与导热管（37）紧密贴合，所述散热鳍片（51）另一侧紧密贴合有涨紧套（54），所述散热鳍片（51）一端外侧设有底座（52），所述底座（52）内开设有收纳槽（53），所述底座（52）通过所开设收纳槽（53）与涨紧套（54）紧密贴合，所述导热套（56）一侧固定连接有支撑杆（55），所述支撑杆（55）另一端固定连接有卡板（57），所述卡板（57）呈l形设置，所述卡板（57）设置在底座（52）的一侧。
7.根据权利要求6所述的一种光刻机光源头水冷组件，其特征在于：所述导热套（56）包括导热环（561），所述导热管（37）呈弧形设置，所述导热环（561）一侧固定连接有导热杆（563），所述导热环（561）一侧设有导热硅胶板（562），所述导热硅胶板（562）一侧与导热管（37）紧密贴合，所述导热硅胶板（562）另一侧开设有呈均匀分布的限位孔（564），所述导热杆（563）设置在导热硅胶板（562）所开设限位孔（564）内。