一种光刻机快门的漏光检测系统的制作方法

本技术涉及光刻机，尤其涉及一种光刻机快门的漏光检测系统。

背景技术：

1、光刻机设备中一项重要的部件是光刻机的快门，光刻机需要通过该快门控制进入投影系统的曝光量的多少，因此该部件对于最终的成像效果影响非常大。fab中经常会出现由于光刻机快门的工作失效或者损坏，使得快门在应该关闭的时候却通过了部分光通量从而造成光刻胶产生了不该需要的图形效果，而这种效果往往在后续的产品检测中并不会马上被发现，往往在数月后的流片检测中才会发现，造成数百片甚至上千片晶圆报废，直接经济损失数百万美金。

2、传统针对光刻机快门的改造方案都是针对快门本身，以减少快门的工作失效或者损坏为直接目的，例如将快门头部的挡光片变成更坚硬耐热的材料，或者将有刷马达变成寿命更长的无刷马达等，这些方案虽然有效，但是依然不能有效的杜绝快门失效的现象对产品的影响。

3、现有技术中，会出现快门失效的现象，这种失效效果往往在后续的产品检测中并不会马上被发现，等几个月后的流片功能检测时才会发现，这直接造成数百片甚至上千片晶圆的报废。

4、因此有必要设计一种光刻机快门的漏光检测系统来解决以上问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是，提供一种光刻机快门的漏光检测系统，以克服目前现有技术存在的上述不足。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种光刻机快门的漏光检测系统，其包括外接于后续光路上且能够通过光通量控制线性变化及阻值的光通量传感器、用来采集光刻机快门处理信号的采集模块、以及与所述光通量传感器和采集模块相连接的plc，所述plc还外接有供电电源。

4、优选的，所述光通量传感器为光敏电阻器，且还串联有一组150k阻值的固定电阻。

5、优选的，所述采集模块包括设置在所述光刻机电路控制盒上的接头采集器以及处理该接头采集器采集到的信息的调制解调电模块。

6、优选的，在所述plc和所述采集模块之间还设置有光刻机安全信号交互装置。

7、优选的，所述plc还连接有显示屏。

8、本实用新型的有益效果是：本技术方案通过在后续光路上外接一只光敏电阻器，通过plc采集该光敏电阻器的电压并与从光刻机端的快门开合电信号进行对比，从而可以在问题发生第一时间就侦测出光刻机快门的失效现象，因此仅需要重新洗片曝光即可解决问题，避免了产品的后续危害，若短期内发生两三次该失效现象，即能判断出光刻机快门发生硬件问题，从而可以立即解决，彻底的杜绝了fab中数月后才能发现漏光问题所带来的影响；并且通过光通量检测不仅能够有效检查出日常生产过程中快门损坏的问题，也能有效检测出光刻机快门马达由于寿命到头所造成的马达开始偏差所产生的光通量的变化，可以在马达最开始有问题的时候就及时通知，并进行马达的更换。

技术特征：

1.一种光刻机快门的漏光检测系统，其特征在于：其包括外接于后续光路上且能够通过光通量控制线性变化及阻值的光通量传感器、用来采集光刻机快门处理信号的采集模块、以及与所述光通量传感器和采集模块相连接的plc，所述plc还外接有供电电源。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机快门的漏光检测系统，其特征在于：所述光通量传感器为光敏电阻器，且还串联有一组150k阻值的固定电阻。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机快门的漏光检测系统，其特征在于：所述采集模块包括设置在所述光刻机电路控制盒上的接头采集器以及处理该接头采集器采集到的信息的调制解调电模块。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机快门的漏光检测系统，其特征在于：在所述plc和所述采集模块之间还设置有光刻机安全信号交互装置。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机快门的漏光检测系统，其特征在于：所述plc还连接有显示屏。

技术总结
本技术涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机快门的漏光检测系统。其包括外接于后续光路上且能够通过光通量控制线性变化及阻值的光通量传感器、用来采集光刻机快门处理信号的采集模块、以及与所述光通量传感器和采集模块相连接的PLC，所述PLC还外接有供电电源。本技术的有益之处：本技术方案通过在后续光路上外接一只光敏电阻器，通过PLC采集该光敏电阻器的电压并与从光刻机端的快门开合电信号进行对比，从而可以在问题发生第一时间就侦测出光刻机快门的失效现象，因此仅需要重新洗片曝光即可解决问题，避免了产品的后续危害，彻底的杜绝了FAB中数月后才能发现漏光问题所带来的影响。

技术研发人员：刘宏伟,金锋
受保护的技术使用者：苏州励索精密装备科技有限公司
技术研发日：20230601
技术公布日：2024/1/15