长的照明光14引导至照明光束路径15，另一方面的任务是，从来自被照射的样品16(其设置在样本台17上)的多色且共线的探测光束18(虚线标出)中移除照明光15的在样品16处散射和/或反射的部分。
[0086]从声光主分束器13引导到照明光束路径15中的照明光14行进至光束偏转装置24，其包含第一电流计反射镜25和第二电流计反射镜26。主光2的其余部分不受该机械波或这些机械波的影响，并且抵达光束阱(未示出)。
[0087]在离开光束偏转装置24之后，照明光14行进至扫描透镜27，然后抵达镜筒透镜28，最后抵达物镜29，物镜29将照明光14聚焦到样品16上或样品16中。
[0088]光束偏转装置24优选地蜿蜒地在该样品16上或穿过该样品16引导照明光14的焦点。电流计反射镜25负责X方向上的偏转，而第二电流计反射镜26负责Y方向上的偏转。
[0089]声光主分束器13还加载至少一个电磁高频波，以便产生至少一个具有一个频率的机械波。通过改变电磁高频波的频率，可以改变机械波的频率。例如可以借助压电声波发生器来产生机械波。
[0090]该声光主分束器13的晶体(在此附图中未示出，机械波在该晶体中传播)和机械波的传播方向关于来自样品16的探测光束18定向，以使得声光主分束器13利用机械波偏转探测光束18的具有照明波长和第一线偏振方向的部分，以及探测光束18的具有照明波长和第二线偏振方向(其与第一偏振方向垂直)的部分，并因此将它们从探测光束18中移除。探测光束18的其余部分19共线地离开晶体，并且在经过声光陷波滤波器(A0NF)20、成像光学系统21和探测针孔22之后抵达探测器23，其优选地实现为多波段探测器。该探测器23的电信号被传输到PC 10，以便进一步处理和评价。
[0091]该显微镜这样构成，不仅具有一个波长的光能够作为照明光14引导到照明光束路径15，而且不仅具有一个波长的光能够从来自样品16的探测光束18移除，而是多个机械波可以被同时使用以从探测光中移除具有多个不同波长(和两个线偏振方向)的照明光，和/或将具有多个不同波长(和两个线偏振方向)的照明光引导到照明光束路径中，但有利地，在声光主分束器13的晶体中针对每个照明光波长只产生单个机械波。
[0092]针对用户期望的每个照明光波长，声光主分束器13被加载由高频源9产生的单独的电磁高频波。为了实现完整性，应该提到的是，高频源9为AONF 20、声光合束器11、AOTF 8和声光主分束器13提供的不同的高频波通常具有不同的频率。然而，还可以将声光组件实现为使得可以针对至少两个声光组件使用具有相同频率的两个高频波。
[0093]图2示意性地示出了声光主分束器13的示例性实施例。
[0094]声光主分束器13包含偏振分束器33，其接收具有多个波长的非偏振主光，尤其是(例如白光源的)非偏振的宽带主光2。偏振分束器33在空间上将主光2分割成第一主光束34和第二主光束35，其中这些主光束34、35的光具有相互垂直的线偏振方向。
[0095]声光主分束器13包含晶体30，该晶体30具有用于来自样品(在此未示出)的探测光束18(用虚线标出)的入射表面31，并且具有用于探测光束18的剩余部分19的出射表面32，该部分最终被引导至探测器(在此未标出)。用于剩余部分19的出射表面32同时是入射表面，用于将第一主光束34和第二主光束35耦合到晶体30中。
[0096]在该晶体30上设置有压电声波发生器36，其被具有一个频率的电磁高频波或具有多个频率的多个电磁高频波加载，以分别产生一个机械波或多个不同的机械波。借助该一个机械波或多个机械波，既能从第一主光束34，也能从第二主光束35中使具有一个期望的照明光波长的光部分或具有多个期望的照明光波长的光部分通过衍射偏转，并因此共线地引导到照明光束路径15中，其中照明光波长中的一个(同时针对两个线偏振方向)分别与相应机械波的一个频率相关联(特别地为了满足相应的布拉格条件)。
[0097]该照明光14通过用于探测光束18的入射表面31离开晶体30，该入射表面31同时也是用于照明光14的出射表面。
[0098]同时借助该机械波或这些机械波，从探测光束18(虚线示出)中移除具有照明光14的一个波长或多个波长的光部分，晶体30和该机械波的传播方向关于来自样品16的探测光束18定向，以使得每个机械波既使探测光束18的具有照明波长和第一线偏振方向的部分偏转，也使探测光束18的具有照明波长和第二线偏振方向(其与第一偏振方向垂直)的部分偏转，并因此将它们从探测光束18中移除。探测光束18的剩余部分19通过出射表面32共线地离开该晶体。在该附图中，通过晶轴的标识[001]和[110]示意性地示出了晶体结构的方向。
[0099]第一主光束34逆着寻常光的第一衍射级次的方向(相对于探测光的衍射部分)耦合到晶体30中，而第二主光束35逆着非寻常光的第一衍射级次的方向(相对于探测光的衍射部分)耦合到晶体30中。由此可得到全部的主光2，以便借助声光主分束器将具有一个特定波长或多个特定波长的照明光14从该主光2引导到显微镜的照明光束路径并因此引导到样品上，其中对于每个波长来说只需要具有单一频率的单个机械波。
[0100]为了实现由晶体30输出的照明光束14的共线性，该晶体30的前面设置有色散光学组件37，它在空间上光谱地分割第一主光束34和第二主光束35，空间分割的程度(特别地通过角度和/或光路长度的选择)被限定以使得其由晶体30再次还原。
[0101]色散光学组件37包括用于第一主光束34的耦合和脱耦窗口 38。第一主光束34首先通过该耦合和脱耦窗口38进入色散光学组件37中，并且在第一主光束34在空间上光谱分割地通过耦合和脱耦窗口 38再次离开色散光学组件37之前，该照明光束在经过该色散光学组件37之后由第一反射镜39反射，该第一反射镜39安装在与親合和脱親窗口 38相对而置的表面上。
[0102]类似地，该色散光学组件37包括用于由偏转镜42偏转的第二主光束35的另外的耦合和脱耦窗口 40。第二主光束35首先通过该另外的耦合和脱耦窗口 40进入色散光学组件37中，并且在第二主光束35在空间上光谱分割地通过该另外的耦合和脱耦窗口40再次离开色散光学组件37之前，该照明光束在经过该色散光学组件37之后由第二反射镜41反射，该第二反射镜41安装在与该另外的耦合和脱耦窗口 40相对而置的表面上。
[0103]色散光学组件37还包括用于探测光束18的剩余部分19的相互平行的耦合表面43和脱耦表面44。探测光束18的剩余部分19正交地通过耦合表面43和平行的脱耦表面44，并因此不会经历光谱分割。
[0104]图3示出了根据本发明的声光主分束器13的第二示例性实施例，其包括第一晶体45和第二晶体46。
[0?05]该所不的声光主分束器13接收光源(未不出)的第一主光束47，其包含具有多个波长的光。该主光束借助反射镜48朝向第一晶体45偏转，并且通过出射窗口 49进入该晶体中。为了使表述清楚，应当提到的是，术语“出射窗口”被随意地选择，因为来自样品的探测光通过该窗口从第一晶体45出射;下面还将详细描述这一点。
[0106]第一压电声波发生器57设置在第一晶体45上，该第一压电声波发生器57加载了高频源9的具有频率Π的电磁高频波，并且产生通过第一晶体45传播的、具有与频率Π相对应的声频的机械波(未示出)。
[0107]通过与机械波的相互作用，具有与该声频相关联的照明光波长的照明光被偏转到照明光束路径中以照射样品16。该偏转的照明光通过入射窗口 50离开第一晶体45，并且通过显微镜的扫描和光学结构51抵达待照射的样品16，该扫描和光学结构51特别地包含至少一个扫描装置和显微镜物镜。
[0108]来自样品16的探测光束18在相反的光路上回到第一晶体45，并且通过入射窗口 50进入该晶体。通过与机械波的相互作用，探测光中的具有照明光波长和第一线偏振方向的第一部分55被偏转并因此从探测光束18中移除。探测光束18的剩余部分通过出射窗口 49从第一晶体中输出，并且随后抵达第二晶体46的入射窗口52。
[0?09]第二压电声波发生器53设置在第二晶体46上，该第二压电声波发生器53同样加载了高频源9的具有频率Π的电磁高频波，并且产生通过第二晶体45传播的、具有与频率fl相对应的声频的第二机械波(未示出)。
[0110]通过与第二机械波(其在第二晶体46中传播)的相互作用，探测光中的第二部分56被偏转并因此从探测光束18中移除，该部分具有照明光波长和垂直于第一线偏振方向的第二线偏振方向。探测光束18的剩余部分通过出射窗口54从第二晶体46中输出，并且随后抵达未示出的探测器。
[0111]利用在两个晶体45、46中具有相同声频的声波，探测光的第一部分55(其具有照明光波长和第一线偏振方向)以及探测光的第二部分56(其具有照明光波长和垂直于第一线偏振方向的第二线偏振方向)都可以顺序地被偏转，该情况通过以下方式实现，即晶体45、46在至少一个参数(例如晶体截面和/或晶体定向和/或机械波和光的传播方向)方面是不同的且相互协调，以使得针对待偏转的光分别满足布拉格条件。
[0112]这些晶体这样构成和设置，即传输至探测器的探测光作为共线的光束离开该主分束器13。
[0113]图4示出了根据本发明的声光主分束器13的第三示例性实施例。
[0114]该声光主分束器13在构造上与图3所示的主分束器13基本上类似，但第一主光束33通过第一输入端58耦合，并且第二主光束35通过第二输入端59经由偏转镜61耦合。第一主光束34具有第一线偏振方向，而第二主光束35具有与第一线偏振方向垂直的第二线偏振方向。通过与在晶体45、46中传播的机械波的相互作用，具有与声频相关联的波长的部分从每个主光束34、35中引导至照明光束路径以用于照射样品16。
[0115]被传输至(未示出的)探测器的探测