光罩承座滑轨及光罩机台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制程中的曝光显影的技术领域，特别是关于一种光罩承座滑轨及光罩机台。
【背景技术】
[0002]光罩，又称光掩模版、掩膜版(Mask或Photomask)，其上形成有与半导体芯片对应的电路布线图。半导体芯片在进行曝光显影制程时，先在被加工物表面上涂上一层光阻，再借由光源的照射将光罩上的电路布线图案映像至被加工物表面的光阻层上，以使光阻层的化学性质因光源的照射而产生变化，然后再利用去光阻剂来将被光源照射过的光阻或未经曝光的光阻自被加工物的表面去除，以形成与光罩对应的线路布局。光罩除了应用于芯片制造外，还广泛应用于液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)及印制电路板(PrintedCircuit Board, PCB)等领域。
[0003]图1为现有技术中的一种光罩机台的结构示意图，请参图1，该光罩机台包括相互平行间隔设置的两个光罩承座滑轨80和一个光罩承座90，光罩(图未示)放置于光罩承座90上形成一个光罩盒，该光罩承座90通过这两个滑轨80进出曝光室，每个滑轨80的一个端部上设置有挡块81，该光罩承座90滑动至与挡块81碰撞后停止滑动。
[0004]然而，由于目前的光罩承座90需通过手动推送而在滑轨80上运动，每次光罩盒进出机台，都要手动操作光罩承座90在滑轨80上滑动，因此，需凭借操作人员的经验控制推送光罩承座90的速度、力度与位置。由于目前没有任何设备和措施在此方面予以控制，因而操作时的人员差异对机台结构的影响较大。此外，由于光罩承座90与滑轨80末端的挡块81皆为铁质材料，两者撞击时缺少缓冲，当光罩承座90与挡块81频繁撞击后，会导致挡块81的位置发生偏移，长时间碰撞下挡块81甚至会脱落，对机台结构存在隐患。另外，若挡块81位置偏移或脱落，将可能导致光罩损坏，光罩的平均单价为100KRMB/块，造成巨大经济损失。
【实用新型内容】
[0005]有鉴于此，本实用新型目的在于提供一种光罩承座滑轨，可有效增加光罩承座与挡块间的缓冲，降低光罩承座与挡块间的撞击速度，减少人为操作对光罩机台造成的损坏，提高光罩承座运作的安全程度。
[0006]为达到上述优点，本实用新型提供一种光罩承座滑轨，用于供光罩承座进行滑动，所述光罩承座滑轨的一个端部上设有缓冲挡块，且所述光罩承座滑轨的上表面于靠近所述缓冲挡块的位置处设有减速带，所述缓冲挡块包括弹性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑轨上滑动并经所述减速带减速后，与所述缓冲挡块的弹性部形成缓冲接触而停止。
[0007]在本实用新型的一个实施例中，所述缓冲挡块还包括框架，所述框架固定于所述滑轨上，所述弹性部收容于所述框架中，所述弹性部的一部分凸伸出所述框架外而可与所述光罩承座形成缓冲接触。
[0008]在本实用新型的一个实施例中，所述框架为一箱型结构，所述框架的一个侧向具有开口，所述弹性部的一部分从所述开口凸伸出所述框架外。
[0009]在本实用新型的一个实施例中，所述减速带与所述缓冲挡块之间的距离为5厘米。
[0010]在本实用新型的一个实施例中，所述减速带沿所述光罩承座滑轨的长度方向上的长度为3厘米。
[0011]在本实用新型的一个实施例中，所述减速带为在所述光罩承座滑轨的上表面进行打磨而形成的磨砂面。
[0012]在本实用新型的一个实施例中，所述弹性部由耐磨无尘橡胶制成。
[0013]本实用新型还提供一种光罩机台，包括光罩承座，所述光罩承座上放置光罩，所述光罩机台还包括两个相互平行且间隔设置的如上所述的光罩承座滑轨，所述光罩承座可沿着两个所述光罩承座滑轨滑动。
[0014]综上所述，本实用新型在光罩承座滑轨的端部上设置的挡块具有弹性，可在光罩承座与挡块碰撞时进行缓冲。同时，在滑轨上于靠近挡块的位置处增加了减速带，既可以在接近挡块时降低光罩承座沿滑轨的滑动速度，又可以提示操作者光罩承座即将与挡块撞击，提示请小心操作。因此，本实用新型的光罩承座滑轨可减少人为操作对光罩机台造成的损坏，提高光罩承座运作的安全程度，避免光罩损坏而造成巨大经济损失。
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中光罩机台的结构示意图。
[0016]图2为本实用新型一个实施例中光罩机台的结构示意图。
[0017]图3为本实用新型一个实施例中缓冲挡块的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0019]图2为本实用新型一个实施例中光罩机台的结构示意图，请参图2，该光罩机台包括两个相互平行且间隔设置的滑轨10和一个光罩承座20，两个滑轨10的结构相同，光罩承座20可沿着两个滑轨10滑动，光罩承座20用于放置光罩(图未示)。
[0020]进一步地，每个滑轨10的一个端部上设有缓冲挡块13，且每个滑轨10的上表面于靠近缓冲挡块13的位置处设有减速带11，光罩承座20在滑轨10上滑动并经减速带11减速后，与缓冲挡块13形成缓冲接触而停止滑动。两个滑轨10上的缓冲挡块13和减速带11的位置均分别相互对应。
[0021]图3为本实用新型一个实施例中缓冲挡块的结构示意图，请参图3，缓冲挡块13包括弹性部131与框架132，框架132为一箱型结构，该框架132于朝向光罩承座20的一个侧向具有一开口 133，弹性部132收容于框架132中并与框架132的每个内表面相抵靠而固定，框架132的底面固定(例如焊接)于对应的滑轨10上，弹性部131的一部分从框架132的开口 133凸伸出框架132外而可与光罩承座20形成抵靠接触。为使缓冲挡块13具有弹性以及耐冲击的强度，弹性部131由耐磨无尘橡胶制成，框架132由金属材料或其它强度高、不易变形的材料制成，弹性部131与框架132分开设计，便于对弹性部131进行更换。可理解的，缓冲挡块13的结构并不仅限于此，弹性部131与框架132也可为一体设计，只需在挡块13上形成可与光罩承座20形成抵靠接触并进行缓冲的弹性部即可。
[0022]在本实施例中，减速带11与缓冲挡块13之间的距离优选为5厘米。减速带11沿滑轨10的长度方向上的长度优选为3厘米。在本实施例中，减速带11为通过对滑轨10的上表面进行打磨而形成磨砂面，但不以此为限。减速带11也可以为固定在滑轨10的上表面的其它具有减速功能的结构。可理解的，减速带11与缓冲挡块13的间隔距离与减速带11的长度还可根据实际需要进行设定，在此不作限制。
[0023]操作时，沿滑轨10向前推送光罩承座20，当光罩承座20滑动至减速带11时，光罩承座20与滑轨10的上表面之间的摩擦增大，减速带11的设置相当于在滑轨10上为光罩承座20构建了一个减速区，使光罩承座20滑动至减速带11时减速。在经过减速带11之后，再轻轻向前推动光罩承座20，使其继续前进并与缓冲挡块13的弹性部132触碰停止即可。
[0024]综上所述，本实用新型的光罩承座滑轨的端部上设置的挡块具有弹性，可在光罩承座与挡块碰撞时进行缓冲。同时，在滑轨上于靠近挡块的位置处增加了减速带，既可以在接近挡块时降低光罩承座沿滑轨的滑动速度，又可以提示操作者光罩承座即将与挡块撞击，提示请小心操作。因此，本实用新型的光罩承座滑轨可减少人为操作对光罩机台造成的损坏，提高光罩承座运作的安全程度，避免光罩损坏而造成巨大经济损失。
[0025]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种光罩承座滑轨，用于供光罩承座进行滑动，其特征在于:所述光罩承座滑轨的一个端部上设有缓冲挡块，且所述光罩承座滑轨的上表面于靠近所述缓冲挡块的位置处设有减速带，所述缓冲挡块包括弹性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑轨上滑动并经所述减速带减速后，与所述缓冲挡块的弹性部形成缓冲接触而停止。
2.如权利要求1所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述缓冲挡块还包括框架，所述框架固定于所述滑轨上，所述弹性部收容于所述框架中，所述弹性部的一部分凸伸出所述框架外而可与所述光罩承座形成缓冲接触。
3.如权利要求2所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述框架为一箱型结构，所述框架的一个侧向具有开口，所述弹性部的一部分从所述开口凸伸出所述框架外。
4.如权利要求1所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述减速带与所述缓冲挡块之间的距离为5厘米。
5.如权利要求1所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述减速带沿所述光罩承座滑轨的长度方向上的长度为3厘米。
6.如权利要求1所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述减速带为在所述光罩承座滑轨的上表面进行打磨而形成的磨砂面。
7.如权利要求1所述的光罩承座滑轨，其特征在于:所述弹性部由耐磨无尘橡胶制成。
8.一种光罩机台，包括光罩承座，所述光罩承座上放置光罩，其特征在于:所述光罩机台还包括两个相互平行且间隔设置的如权利要求1-7中任一项所述的光罩承座滑轨，所述光罩承座可沿着两个所述光罩承座滑轨滑动。
【专利摘要】一种光罩承座滑轨，用于供光罩承座进行滑动，所述光罩承座滑轨的一个端部上设有缓冲挡块，且所述光罩承座滑轨的上表面于靠近所述缓冲挡块的位置处设有减速带，所述缓冲挡块包括弹性部，所述光罩承座在所述光罩承座滑轨上滑动并经所述减速带减速后，与所述缓冲挡块的弹性部形成缓冲接触而停止。本实用新型在滑轨上设有缓冲挡块与减速带，可有效减少人为操作对光罩机台造成的损坏，提高光罩承座运作的安全程度，避免光罩损坏而造成巨大经济损失。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN204314607
【申请号】CN201520003899
【发明人】王楠
【申请人】昆山龙腾光电有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2015年1月5日