交流驱动型等离子显示器及其制造方法

专利名称：交流驱动型等离子显示器及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种交流驱动型等离子显示器及其制造方法。
已经从各个方面研究了作为可以取代目前主流阴极射线管(CRT)的一种图象显示器的平面屏幕(平板)显示器。这样的平板显示器包括液晶显示器(LCD)、电致发光显示器(ELD)和等离子显示器(PDP)。在这些器件中，等离子显示器具有如下优点相对来说容易形成较大屏幕并获得较宽的视角，能抵抗例如温度、磁力和振动等环境因素影响而相当耐用，寿命长。因此等离子显示器不仅有望用于家用壁挂式电视机而且还有望用于大屏幕的公共信息终端。
在等离子显示器中，将电压施加到充有稀有气体的放电腔中，由稀有气体中的辉光放电产生的真空紫外线激发每一放电腔中的荧光，从而产生光发射。也就是说，按照与荧光灯类似的原理驱动每一放电腔，并且一般将几十万数量级的放电腔放在一起来构成显示屏。根据给放电腔施加电压的方法将等离子显示器大致分为直流驱动型(DC型)和交流驱动型(AC型)，并且每一类型都有优点和缺点。AC型等离子显示器由于能以条状的形式形成用以分隔显示屏内放电腔的分隔壁而适合于获得较高的细度。此外，由于用介质材料覆盖电极表面，所以AC型等离子显示器具有电极磨损较少并且寿命长的优点。
图2示出了常规AC型等离子显示器的一种典型结构。该AC型等离子显示器属于所谓的三电极类，放电主要发生在第一电极12A和12B之间，第一电极12A和12B是一对放电维持电极(参见

图12B)。在图2所示的AC型等离子显示器中，前板10和后板20沿其周边部分相互连接在一起。通过前板10观看来自后板上的荧光层24的光发射。
前板10包括透明的第一基片11；成对的由透明导电材料构成的并以条状形式形成于第一基片上的第一电极12A和12B；由电阻率比第一电极12A和12B低的材料构成的并用于减少第一电极12A和12B阻抗的总线电极13；在第一基片11、第一电极12A和12B、总线电极13上形成的保护层14。保护层14用作绝缘膜并且是为了保护第一电极12A和12B而设置的。
后板20包括第二基片21；以条状形式在第二基片21上形成的第二电极(也称为地址电极或数据电极)22；在第二基片21上和在第二电极22上形成的介质薄膜23；在相邻第二电极22之间的介质薄膜23的区域上形成的并且沿与第二电极22平行的方向延伸的绝缘分隔壁25；在介质薄膜23的表面上形成的从介质薄膜23表面延伸的并且还形成在分隔壁25的侧壁上的荧光层24。设置第二电极22用于减少放电启动电压。设置分隔壁25用于避免光串扰，光串扰指的是等离子放电渗漏到相邻放电腔中并使相邻放电腔的荧光层发射光的现象。每一荧光层24都由红色荧光层24R、绿色荧光层24G和蓝色荧光层24B构成，这些颜色的荧光层24R、24G和24B是按预定的顺序形成的。图2是分解立体图，在实际的实施例中，后板侧上分隔壁25的顶部与在前板侧上的保护层14相接触。成对的第一电极12A和12B与成对的分隔壁25相重叠部分的区域对应一个放电腔。稀有气体密封在由相邻的两个分隔壁25、荧光层24和保护层14包围的每一空间中。
第一电极12A和12B的延伸方向与第二电极22的延伸方向成90度的夹角，两个相邻第一电极12A和12B与发射三基色光的一组荧光层24R、24G和24B交叠的区域对应一个象素。辉光放电发生在两个面对的第一电极12A和12B之间，所以此类等离子显示器称为“表面放电类”的等离子显示器。在每一放电腔中，由稀有气体中辉光放电产生的真空紫外线的照射来激发该荧光层，由荧光层来发射各种荧光材料的特有颜色的光。产生波长取决于密封气体种类的真空紫外线。
图19示出了图2中常规等离子显示器中的两个第一电极12A和12B、总线电极13和分隔壁25的示意配置图。由点划线围住的区域对应一个象素。为了说明每一个区域，加有倾斜线。每一象素一般都为方形，用分隔壁25将每一象素分成三部分(放电腔)，每一部分发射三基色光(R,G,B)之一。当一个象素外尺寸为L0时，每一放电腔一侧的长度为L0/3=L1，其它侧长度为L0。因此，在两个第一电极12A和12B中，每一第一电极12A和12B的用于放电的长度略小于L1。
同时，在等离子显示器中，增加象素的密度和细度的需求正在增加。为了满足这样的需求，不可避免地要增加每一放电腔的一侧的长度L1。假设将具有图16A的草图所示侧长度L1的一个放电腔修改为具有图16B的草图所示的侧长度L1/2=L2。在这种连接中，当解释图16A所示的状态时下标加“1”，当解释图16B所示的状态时下标加“2”。在上述情况下，每一分隔壁25的厚度从W1变到W2。然而，为了防止例如在形成分隔壁期间修整表面缺陷的损坏，要求分隔壁25具有一定的强度，所以W2值等于W1/2有一定的困难。因而，分隔壁25之间的放电空间的体积V2比原来放电空间的体积V1的1/2要小。
当放电腔的体积如上所述减少时，启动和维持放电所需要的准稳粒子(放电空间内准稳粒子状态的稀有气体原子，分子，二聚物)的数量增加，这将导致放电启动电压或放电维持电压增加并引起效率下降。进一步地，一对面对的第一电极12A和12B之间的距离增加，漏电流易于流动并且易发生介质击穿或异常放电。此外，由于需要减少每一分隔壁25的厚度，所以在制造期间容易损坏分隔壁25。分隔壁25的损坏可导致光串扰。
等离子显示器的光发射过程如下。用离子撞击与阴极电极相对应的靠近两个第一电极12A和1213中一个第一电极的保护层14，使保护层14释放二次电子，通过加速二次电子使中性气体电离而增加电子数量，这些电子激发稀有气体，并由辐射的真空紫外线激发荧光层来发射可见光。当分隔壁25之间的距离减少时，由保护层释放的二次电子易于粘附于分隔壁25，这会引起效率下降。
因此，本发明的目的是提供一种等离子显示器及其制造方法，该等离子显示器能实现有效地光发射、不会使放电启动电压和放电维护电压增加并且即使为了实现较高密度象素和较高的细度而将分隔壁之间的距离减少也几乎没有介质击穿和异常放电。
实现上述目的的本发明交流驱动型等离子显示器是具有如下部件的交流驱动型等离子显示器(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，(b)第二面板，这面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度方向延伸的分隔壁，并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其中在每一对相互面对的第一电极之间产生放电，以及在每一对面对的第一电极之间的第一基片中形成的凹槽。
本发明的交流驱动型等离子显示器具有将第一面板和第二面板布置成使保护层面向荧光层的结构，第一电极的延伸方向与分隔壁的延伸方向成预定角度(例如，90度)，用稀有气体填充由保护层、荧光层和一对分隔壁围成的每一空间，当由在一对面对的第一电极之间的稀有气体交流辉光放电而产生的真空紫外线来照射时荧光层发射光。一对第一电极和一对分隔壁的交叠区域对应一个放电腔。
在本发明的后面将要描述的等离子显示器或其制造方法中，凹槽是沟槽，并且在此情况下，沟槽的空间宽度小于5×10-5m，优选4×10-5m或更小，最好是2.5×10-5m或更小。沟槽的空间宽度的最小值可以是在沟槽中不发生介质击穿的值。当沟槽的延伸方向取X轴且第一基片的法线方向取Z轴时，沟槽的空间宽度为沿Y方向的沟槽的距离。当在沟槽的侧壁或底部上不形成保护层时，它意味着沟槽的面对侧壁之间的距离。当在沟槽的侧壁或底部上形成保护层时，它意味着沿Y轴方向在沟槽的面对侧壁上的保护层的表面之间的距离。当沟槽的宽度沿Z轴方向变化时，取在沟槽最宽部分的沟槽的空间宽度为沟槽的空间宽度。尽管不必限制沟槽的深度，但优选沟槽的深度大约为沟槽的空间宽度的0.5至5倍。
在本发明的等离子显示器或其制造方法中，凹槽是在位于一对分隔壁之间的第一基片区域中形成的盲孔。在此情况下，盲孔的空间直径小于5×10-5m。优选4×10-5m或更小，最好是2.5×10-5m或更小。盲孔的空间直径的最小值可以是在盲孔中不发生介质击穿的值。当用与第一基片的法线方向(Z轴方向)成直角的虚平面(XY平面)切割盲孔而获得的横截面形状为非矩形时，“盲孔的空间直径”指面积等于该盲孔的横截面面积的的圆的直径。当在具有上述横截面形状的盲孔的侧壁或底部上形成保护层时，“盲孔的空间直径”指面积等于用XY平面切割盲孔获得的保护层表面画出的轨迹的形状面积的圆的直径。当横截面形状为矩形时，盲孔的空间直径是与一对分隔壁的延伸方向(Y方向)平行的侧边的长度。当在上述矩形盲孔的侧壁或底部上形成保护层时，“盲孔的空间直径”指沿与一对分隔壁的延伸方向(Y轴方向)平行的方向在保护层的面对的表面之间的距离。盲孔的横截面面积沿Z轴方向变化时，取最大横截面面积时盲孔的空间直径作为盲孔的空间直径。盲孔的横截面形式的具体例子包括圆、椭圆和例如方形和长方形之类的任何多边形和圆拱的多边形。尽管没有必要限定，但是盲孔的深度优选大约为盲孔的空间直径的0.5至5倍。在某些情况下，盲孔可以延伸到分隔壁下面的第一基片的一部分中。
下面将要描述的根据本发明第一至第三方面的任一方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法是本发明制作交流驱动型等离子显示器的方法，也就是说，交流驱动型等离子显示器具有(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，(b)第二面板，该面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度方向延伸的分隔壁，并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其特征在于在每一对相互面对的第一电极之间产生放电。
为了实现上述目的根据本发明第一方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法包括如下步骤(A)在第一基片上形成有图案的第一电极，(B)在每一对相互面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽，以及(C)在第一电极组上和包括每一凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一面板。
在根据本发明的第一方面制作交流驱动型等离子显示器的方法中，步骤(B)包括步骤在整个表面上形成具有位于一对面对第一电极之间的开口部分的抗蚀剂层，并然后用抗蚀剂层作为蚀刻掩膜来蚀刻(湿蚀刻或干蚀刻)第一基片，从而能获得由沟槽或盲孔构成的凹槽。此处，上述步骤(B)包括步骤通过机械开挖方法或机械研磨方法在一对面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽。机械开挖方法包括钻石轮划片方法，机械研磨方法包括喷砂处理方法。就此而言下面也都可以使用这些机械方法。
根据本发明第二方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法包括如下步骤(A)在第一基片上形成导电材料层，(B)制作导电材料层的图案以形成第一电极，并且进一步地在每一对相互面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽，以及(C)在第一电极组上和包括凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一面板。
在根据本发明的第二方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法中，上述步骤(B)包括步骤在导电材料层上形成抗蚀剂层，并然后用抗蚀剂层作为蚀刻掩膜来蚀刻(湿蚀刻或干蚀刻)导电材料层，并且蚀刻(湿蚀刻或干蚀刻)第一基片，从而获得由沟槽构成的凹槽。此外，上述步骤(B)包括步骤制作导电材料层图案并通过机械开挖方法或机械研磨方法在第一基片中形成凹槽，从而能获得由沟槽构成的凹槽。
根据本发明第三方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法包括如下步骤(A)在要形成每一对面对的第一电极的第一基片的区域之间的一部分第一基片中形成凹槽，(B)在第一基片的表面上和凹槽的附近形成有图案的第一电极，以及(C)在第一电极组上和包括凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一面板。
在根据本发明第三方面制作交流驱动型等离子显示器的方法中，上述步骤(A)包括步骤通过机械方法、化学方法和直接法的任何一种方法在第一基片中形成凹槽。以此方式，能获得由沟槽或盲孔构成的凹槽。机械方法包括机械开挖方法和机械研磨方法，化学方法包括干蚀刻方法和湿蚀刻方法，直接法包括例如通过热压方法形成第一基片的方法。
在本发明的交流驱动型等离子显示器或其制作方法中，填充在由保护层、荧光层和一对分隔壁包围的空间中的稀有气体具有2.0×104Pa(0.2大气压)至3.0×105Pa(3大气压)的压力，优选4.0×104Pa(0.4大气压)至2.0×105Pa(2大气压)。当沟槽的空间宽度或盲孔的空间直径小于2.0×10-5m时，空间中的稀有气体压力为2.0×104Pa(0.2大气压)至3.0×105Pa(3大气压)，优选压力为4.0×104Pa(0.4大气压)至2.0×105Pa(2大气压)。当将空间中的稀有气体的压力调整到上述压力范围时，在用主要基于稀有气体中阴极辉光放电产生的真空紫外线来照射时，荧光层发射光。当压力在上述范围内增加时，构成等离子显示器的各种部件的溅射率减少，从而使等离子显示器的寿命增长。
在第一基片上或在第二电极上可形成由多个第二电极构成的第二电极组。在前一情况下，在保护层上形成的绝缘层上来形成第二电极，第二电极的延伸方向与第一电极的延伸方向成预定角度(例如90度)。在后一情况下，在第二基片上形成第二电极，第二电极的延伸方向与第一电极的延伸方向成预定角度(例如90度)，在第二电极上或在第二电极的上方形成荧光层。
构成第一电极或导电材料层的导电材料按等离子显示器为透射型还是为反射型而不同。在传输型等离子显示器中，由于通过第二基片观察来自荧光层的光发射，所以，无论构成第一电极或导电材料层的导电材料是透明还是非透明都没有任何问题。然而，在此情况下，当在第二基片上形成第二电极时，希望构成第二电极的导电材料是透明的。在反射型等离子显示器中，由于通过第一基片观察来自荧光层的光发射，所以，当在第二基片上形成第二电极时，无论构成第二电极的导电材料是透明还是非透明都没有任何问题。然而，在此情况下，希望构成第一电极或导电层的导电材料是透明的。术语“透明或非透明”是基于导电材料对荧光材料固有发射光波长(可见光区域)的光的透射率而言的。也就是说，当构成第一电极或导电材料层的导电材料对由荧光层发射的光透明时，能说导电材料是透明的。不透明的导电材料包括Ni,Al,Au,Ag,Pd/Ag,Cr,Ta,Cu,Ba,LaB6,Ca0.2La0.8CrO3等等，可以单独或组合使用这些材料。透明导电材料包括ITO(铟锡氧化物)和SnO2。
在根据本发明第一至第三方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法中，可根据要使用的导电材料，从沉积方法、溅射方法、CVD方法、印刷方法、剥离(lift-off)方法或类似的方法中适当选择形成第一电极的方法。即，首先可采用使用合适掩膜或丝网的印刷方法来形成具有预定图案的第一电极，或者通过沉积方法、溅射方法或CVD方法在整个表面形成导电材料层之后，制作导电材料的图案以形成第一电极，或者通过所谓剥离方法形成第一电极。在根据本发明第二方面的制作交流驱动型等离子显示器的方法中，可以从沉积方法、溅射方法、CVD方法、印刷方法、剥离(lift-off)方法或类似的方法中选择形成导电层的方法。
为了减少第一电极的阻抗，除了第一电极以外，优选在第一基片上形成由电阻率比第一电极低的材料构成的总线电极。通常，总线电极由例如Ag,Al,Ni,Cu,Cr之类的金属材料或Cr/Cu/Cr多层膜构成。在反射型等离子显示器中，由上述金属材料构成的总线电极是减少由荧光层发射的并通过第一基片的可见光透射量的一个因素，使显示屏的亮度下降。因此，在能获得第一电极所需要的电阻值的情况下，最好使形成的总线电极尽可能窄。
保护层可以是单层结构或多层结构。形成单层保护层的材料包括氧化镁(MgO)，氟化镁(MgF2)和氧化铝(Al2O3)。在这些材料中，氧化镁是一种具有如下特性的合适的材料化学性能稳定，低溅射率，在荧光层发射的光波长有高透射率和低放电启动电压。保护层也可由从氧化镁、氟化镁和氧化铝组中选择的至少两种材料构成的多层结构来形成。
此外，保护层可为两层结构。由与第一电极组接触的介质层和在介质层上形成的并比介质层具有较高二次电子发射效率的覆盖层构成具有两层结构的保护层。通常，介质层由低溶点的玻璃或SiO2构成。典型地，覆盖层由氧化镁(MgO)，氟化镁(MgF2)或氧化铝(Al2O3)构成。当在真空紫外线波长范围内覆盖层的透明度(光透射率)不太高时，可以使用上述两层结构而由介质层保证整个保护层的透明度并由覆盖层保证高的二次电子发射效率。在上述两层结构中，能获得稳定的放电维持操作，并且真空紫外线较少地被吸收到保护层。此外，能得到自荧光层发射的可见光较少被吸收的一种结构。
由于在第一基片上和第一电极组上形成保护层，所以能避免离子和电子与第一电极组直接接触。从而，能防止第一电极组的损坏。除此以外，保护层用于积累在寻址周期期间产生的壁电荷、用于发射放电需要的二次电子、用作限制过放电电流的电阻并用作维持放电状态的存储器。
作为第一基片和第二基片材料的例子包括钠玻璃(Na2O·CaO·SiO2)、硼硅玻璃(Na2O·B2O3·SiO2)、镁橄榄石(2MgO·SiO2)和铅玻璃(Na2O·PbO·SiO2)。第一基片的材料和第二基片的材料彼此可以相同或者不相同。
本发明的等离子显示器是所谓的面对放电型等离子显示器。严格地说，第一电极组起电极引线的作用，真正的电极是保护层。
当在第二基片上形成第二电极时，最好是在第二基片上形成介质膜，并且在介质膜上形成荧光层。可以从低溶点玻璃或SiO2中选择介质膜的材料。
在彼此相邻的荧光层之间形成分隔壁。换句话说，分隔壁可具有这样的结构在一个第二电极和另一相邻第二电极之间的区域中分隔壁与第二电极平行地延伸。也就是说，可以使用一个第二电极在一对分隔壁之间延伸的结构。在某些情况下，分隔壁由第一分隔壁和第二分隔壁构成，第一分隔壁与在一个第一电极和另一相邻第一电极之间区域的第一电极平行地延伸，第二分隔壁与在一个第二电极和另一相邻第二电极之间的区域中的第二电极平行地延伸(即，格栅的形式)。这样的格栅形状的分隔壁通常用在DC型等离子显示器中，并且也能应用到本发明的交流驱动型等离子显示器中。
可从公知绝缘材料中选择构成分隔壁的材料，例如可以使用将广泛使用的低溶点玻璃与如铝之类的金属氧化物混合而制备的材料。形成分隔壁的方法包括丝网印刷方法、喷砂处理方法、干膜法和光敏法。上述丝网印刷方法指这样的方法在与要形成分隔壁的部分相对应的屏幕部分中形成开口部分，通过挤压使在屏幕上构成分隔壁的材料通过开口部分以便形成在第二基片上(或当使用介质膜时在介质膜上)构成分隔壁的层，然后煅烧或烧结构成分隔壁的层。上述干膜法指的这样的方法在第二基片上(或者当使用介质膜时在介质膜上)层叠光敏膜，通过曝光和显影除去在要形成分隔壁的区域上的光敏膜，将形成分隔壁的材料填充在通过除去而形成的开口部分中。通过煅烧或烧结来燃烧并除去光敏层，填充在开口部分中的形成分隔壁的材料保留下来以形成分隔壁。上述光敏方法指这样的方法在第二基片上(或者当使用介质膜时在介质膜上)形成制作分隔壁的光敏材料层，通过曝光和显影制作光敏材料层，然后煅烧或烧结光敏材料层。上述喷砂处理方法指这样的方法例如，通过丝网印刷或用滚动敷料器、刮片或喷嘴敷料器，在第二基片上(或者当使用介质膜时在介质膜上)形成制作分隔壁的层并进行干燥处理，然后，用掩膜层屏蔽要在该层形成分隔壁的那些部分并通过喷砂处理方法除去该层的曝光部分。
用黑色形成分隔壁以便形成所谓的黑底，从而能获得显示屏的高对比度。形成黑分隔壁的方法包括在每一分隔壁的顶部形成例如光敏银胶层或低反射铬层的光吸收层的方法和由黑色的彩色抗蚀剂材料形成分隔壁的方法。分隔壁可以具有弯曲结构。
从发射红光的荧光材料、发射绿光的荧光材料和发射蓝光的荧光材料组成的组中选择一种荧光材料来构成荧光层。在第二基片上或在第二基片的上方形成荧光层。当在第二基片上形成第二电极时，在第二基片上或上方形成由例如发红色光的荧光材料构成的荧光层(红色荧光层)，在另一第二基片上或上方形成由例如发绿色光的荧光材料构成的荧光层(绿色荧光层)，在又一第二基片上或上方形成由例如发蓝色光的荧光材料构成的荧光层(蓝色荧光层)。发射三基色光的这三个荧光层形成一组，并以预定的顺序形成这样的组。当在第一基片上形成第二电极时，在第二基片上形成红色荧光层、绿色荧光层和蓝色荧光层，这样的三个荧光层形成一组，并以预定的顺序形成该组。第一电极(一对第一电极)与发射三基色光的一组荧光层的交叠区域对应一个象素。以条状的形式或以格栅的形式形成红色荧光层、绿色荧光层和蓝色荧光层。当以条状的形式形成红色荧光层、绿色荧光层和蓝色荧光层和在第二基片上形成第二电极时，在一个第二电极上面或上方形成一个红色荧光层，在一个第二电极上面或上方形成一个绿色荧光层，在一个第二电极上面或上方形成一个蓝色荧光层。当以格栅的形式形成红色荧光层、绿色荧光层和蓝色荧光层时，按预定顺序在一个第二电极的上面或上方形成红色荧光层、绿色荧光层和蓝色荧光层。
当在第二基片上形成第二电极时，可以直接在第二电极上形成荧光层，或者在第二电极和在分隔壁的侧壁上形成荧光层。另外，可在第二电极上形成的介质膜上形成荧光层，或者在第二电极形成的介质膜上和分隔壁的侧壁上形成荧光层。此外，也可仅在分隔壁的侧壁上形成荧光层。“在第二基片上面或上方形成荧光层”包括上面各种所有的实施例。当在第一基片上形成第二电极时，在第二基片上形成形成荧光层，在第二基片上和分隔壁的侧壁上形成荧光层，或者仅在分隔壁的侧壁上形成荧光层。
作为构成荧光层的荧光材料，可以根据需要从已知荧光材料中选择具有高量子效率并对真空紫外线较少饱和的荧光材料。由于将等离子显示器用作彩色显示器，所以，最好将这样的荧光材料组合荧光材料的色纯度接近NTSC中规定的三基色，当混合三基色时能使荧光材料较好地平衡而发出白光，荧光材料呈现较小的余辉时间周期并确保三基色的余辉时间周期几乎相等。当用真空紫外线照射时，发射红光的荧光材料的例子包括(Y2O3:Eu),(YBO3:Eu),(YVO4:Eu),(Y0.96P0.60V0.40O4:Eu0.04),[(Y,Gd)BO3:Eu],(GdBO3:Eu),(ScBO3:Eu)和(3.5MgO·0.5MgF2·GeO2:Mn)。当用真空紫外线照射时，发射绿光的荧光材料的例子包括(ZnSiO2:Mn),(BaAl12O19:Mn),(BaMg2Al16O27:Mn),(MgGa2O4:Mn)(YBO3:Tb),(LuBO3:Tb),(Sr4Si3O8Cl4:Eu)。当用真空紫外线照射时，发射蓝光的荧光材料的例子包括(Y2SiO5:Ce),(CaWO4:Pb),CaWO4,YP0.85V0.15O4,(BaMgAl14O23:Eu),(Sr2P2O7:Eu)和(Sr2P2O7:Sn)。形成荧光层的方法包括厚膜印刷法、喷涂荧光粒子的方法、将粘合剂预先涂在要形成荧光层的区域并粘合荧光粒子的方法、提供光敏荧光胶(浆)并通过曝光和显影来制作荧光层图案的方法、在整个表面形成荧光层并通过喷砂处理方法除去不需要的部分的方法。
使密封在空间中的稀在气体满足下面的要求。
(1)从获得较长寿命等离子显示器的角度出发，稀有气体应该化学性能稳定并且能设置为高气压。
(2)从获得较高亮度显示屏的角度出发，稀有气体应使真空紫外线有高辐射强度。
(3)从提高由真空紫外线到可见光的能量转换效率的角度出发，辐射的真空紫外线应具有长波长。
(4)从降低功耗的角度出发，放电启动电压低。
稀有气体包括He(共振线的波长=58.4nm)、Ne(共振线的波长=74.4nm)、Ar(共振线的波长=107nm)、Kr(共振线的波长=124nm)和Xe(共振线的波长=147nm)。尽管可以单独使用或者作为一种混合物来使用这些稀有气体，但是混合的气体特别有用，因为基于佩宁效应的放电启动电压有望减少。上述混合气体的例子包括Ne-Ar混合气体、He-Xe混合气体和Ne-Xe混合气体。在这些稀有气体中，具有最长共振线波长的Xe是适合的，因为Xe也辐射具有172nm波长的强紫外线。
下面参照图17A、17B、18A和18B描述放电腔中辉光放电的光发射状态。图17A示意地描述了在放电管中用密封在其内的稀有气体进行DC辉光放电时的光发射状态。从阴极到阳极，依次为阿斯顿暗区A、阴极辉光B、阴极暗区〔克鲁克斯暗区〕C、阴极辉光D、法拉第暗区E、阳极区F和阳极辉光G。在AC辉光放电中，按预定频率重复地交替设置阴极和阳极，使阳极区F位于电极之间的中心区域，并且法拉第暗区E、阴极辉光D、阴极暗区C、阴极辉光B和阿斯顿暗区A依次对称地出现在阳极区F的两侧。当电极之间的距离象荧光灯一样相当大时观察到图17B所示的状态。
当电极之间的距离减少时，阳极区F的长度减少。当进一步减少电极之间的距离时，阳极区F消失，阴极辉光D位于电极之间的中心区域，并且阴极暗区C、阴极辉光B和阿斯顿暗区A依次对称地出现在两侧，如图18A所示。当电极之间的距离大约为1×10-4m时观察到图18A所示的状态。在本发明的等离子显示器中，并行设置一对用于维持放电的第一电极，从而在覆盖与阴极对应的第一电极的保护层的表面部分附近的空间区域中形成阴极辉光。
当电极之间的距离达到小于5×10-5m时，阴极辉光B位于电极之间的中心区域，阿斯顿暗区A对称地出现在阴极辉光B的两侧，如图18B所示。在某些情况下，阴极辉光能部分地存在。在本发明的等离子显示器中，并行地设置用于维持放电的一对第一电极，从而在覆盖与阴极对应的第一电极的保护层的表面部分附近的空间区域中和在凹槽的空间区域中形成阴极辉光。当将沟槽的空间宽度或盲孔的空间直径设置为小于如上所述的5×10-5m时，并且当空间中的压力调整到至少为2.0×104pa(0.2大气压)但不高于3.0×105Pa(3大气压)时，使用阴极辉光作为放电模式。所以能实现高AC辉光放电效率，并且在等离子显示器中能获得高光发射效率和高亮度。
在本发明中，由于在产生放电的一对第一电极之间的第一基片中形成凹槽，所以能增加放电空间的体积并能增长从一对第一电极的一个电极到另一个电极的路径。下面将参照附图描述本发明。
图1A和1B分别是本发明等离子显示器的第一面板的部分横截面图和表示第一电极和分隔壁的位置关系的示意图。
图2是等离子显示器的示意部件分解立体图。
图3A、3B和3C是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例1的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
接在图3C后面的图4A和4B是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例1的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
图5是一个示意图，示出了第一电极等与分隔壁的位置关系并示出了本发明等离子显示器凹槽的一种变形。
图6是一个示意图，示出了第一电极等与分隔壁的位置关系并示出了本发明等离子显示器凹槽的一种变形。
图7A和7B是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例1的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
图8A、8B和8C是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例2的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
接在图8C后面的图9A和9B是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例2的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
图10A和10B是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例2的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
图11A、11B和11C是第一基片等的部分横截面图，用于描述以制作本发明例3的交流驱动型等离子显示器的方法来制作第一面板的方法。
图12A和12B是分别描述本发明等离子显示器的放电路径和常规等离子显示器的放电路径的草图。
图13A和13B是分别描述在本发明等离子显示器和常规等离子显示器的第一基片表面中漏电流流过的路径。
图14A和14B是分别描述在本发明等离子显示器和常规等离子显示器的保护层中漏电流流过的路径。
图15A和15B是分别描述漏电流沿本发明等离子显示器和常规等离子显示器的保护层的表面流过的路径。
图16A和16B是描述一个放电腔尺寸减少的状态的示意图。
图17A和17B是描述放电腔中辉光放电的光发射状态的示意图。
图18A和18B是描述放电腔中辉光放电的光发射状态的示意图。
图19是描述常规等离子显示器中两个面对的第一电极与分隔壁的位置相互关系的示意图。
例1例1涉及根据本发明第一方面的交流驱动型等离子显示器和制作交流驱动型等离子显示器的方法。例1的等离子显示器的部件分解示意立体图如图2所示。等离子显示器具有作为第一板的前板10和作为第二板的后板20。前板10包括例如由玻璃制造的第一基片11；由在第一基片11上形成的多个第一电极12A和12B构成的第一电极组；在第一基片11和第一电极组上形成的保护层14。在第一电极12A和12B的边缘部分形成与第一电极12A和12B平行延伸的总线电极。
后板20包括例如由玻璃制造的第二基片21；由以条状的形式在第二基片21上形成的多个第二电极(也称为地址电极或数据电极)构成的第二电极组在第二电极22上方形成的荧光层24；每一个都在一个第二电极22和另一相邻第二电极22之间形成的分隔壁25。在第二基片21和第二电极22上形成介质膜23。在一个第二电极22和另一个相邻第二电极22之间的介质膜23上的区域形成由绝缘材料构成的分隔壁25，并且分隔壁25与第二电极22平行延伸。将荧光层24设置在介质薄膜23的表面上，从介质薄膜23延伸到分隔壁25的侧壁上。荧光层24包括红色荧光层24R，绿色荧光层24G和蓝色荧光层24B，并按预定的顺序设置这些颜色的荧光层24R,24G和24B。
图2是部件分解立体图，并且，在实际的等离子显示器中，位于后板侧上的分隔壁25的顶部与前板侧上的保护层14接触。进一步地，将前板10和后板20设置成使保护层14面对荧光层24，用密封层(没有示出)将前板10和后板20在其周边部分相互连接。两个第一电极12A和12B与两个分隔壁25交叠部分的区域对应一个放电腔。两个第一电极12A和12B和一组三基色的荧光层24R、24G、24B交叠部分对应一个象素。在前板10和后板20形成的空间填充8×104pa(0.8个大气压)压力的Ne-Xe混合气体(例如50％Ne-50％Xe混合气体)。也就是说，将稀有气体密封在由相邻分隔壁25、荧光层24和保护层14围成的空间内。
图1A示出了前板10的示意的部分横截面图。此外，图1B示意地描述了第一电极12A和12B等与分隔壁25的位置相互关系。在图1B中，由长短交替的虚线表示分隔壁25，由虚线表示每一放电腔(部分)。当在图1A中，后板20位于前板10的上方时，省略了后板20。而且，在图1B中，省略了总线电极13。
如图1A和1B所示，在两个面对的第一电极12A和12B之间的第一基片中形成凹槽31。在图2中，省略了凹槽31。在图1B所示的实施例中，凹槽31是一个沟槽。如图1B所示，在两个第一电极12A和12B之间并与这些第一电极12A和12B并行地形成凹槽31。第一电极12A和12B的延伸方向和分隔壁25的延伸方向成预定角度，例如，90度。在凹槽31的侧壁和底部上形成保护层14。对于形成保护层14，在某些状况下，会出现在凹槽31的部分侧壁或底部上不形成保护层的情况。但是，这样不会有任何问题。
在图1B中，在第二基片21与位于两个分隔壁25之间的区域对应的区域的上方形成红色荧光层24R并用符号“R”表示，在第二基片21与位于两个分隔壁25之间的区域对应的区域的上方形成红色荧光层24G并用符号“G”表示，在第二基片21与位于两个分隔壁25之间的区域对应的区域的上方形成红色荧光层24B并用符号“B”表示。发射红光、绿光和蓝光的相邻的三个放电腔构成一个象素，每一象素通常具有方形的外形，用分隔壁25将一个象素分成三个放电腔。然而，在图1B中，所示出的每一象素都为矩形形状。
在第一基片11上形成第一电极12A和12B，并且第一电极12A和12B由例如ITO之类的透明导电材料构成。作为构成总线电极13的导电材料，使用导电率比ITO低的材料，例如，Cr/Cu/Cr多层膜。与第一电极12A和12B的线宽相比，总线电极13具有相当窄的线宽，从而不会使显示屏(图2第一基片11的上表面)的亮度变坏。如图1A所示可以形成总线电极13以覆盖第一电极12A和12B的侧壁，或者这样形成总线电极使总线电极13的侧壁与第一电极12A和12B的侧壁一致(吻合)，如图2所示。
第二电极组是在第二基片21上以条状形式形成的一组第二电极22。每一第二电极22都由例如银或铝构成，不仅与第一电极12A和12B一起启动放电，而且还能将荧光层24发射的光反射到显示屏侧而以提高显示屏亮度。每一荧光层24都由红色荧光层24R、绿色荧光层24G和蓝色荧光层24B构成，这些发射三基色光的荧光层24R、24G和24B构成一组并按预定的顺序在第二电极22上方形成这些荧光层24R、24G和24B。
下面将描述上述结构等离子显示器AC辉光放电操作的一个例子。首先，短时间内将比放电启动电压Vbd低的脉冲电压施加到所有的第一电极12A和12B上。从而因介质极化而在第一电极之一附近的保护层14的表面产生壁电荷，积累壁电荷，并且视在放电启动电压减少。然后，当电压加到第二电极(地址电极)22上时，电压施加到包括在允许不显示的放电腔中的第一电极之一上，从而在第二电极22和该第一电极之一之间引起放电，消除积累的壁电荷。在第二电极22中连续进行这种消除放电。同时，无电压施加到包括在允许显示的放电腔中的第一电极之一上，从而保持积累的壁电荷。预定脉冲电压(放电维持电压Vsus)施加在所有的第一电极12A和12B对之间。结果是，使积累壁电荷的腔在成对的第一电极12A和12B之间放电，并且，在放电腔中，用稀有气体中辉光放电产生的真空紫外线照射而激发的荧光层来发射荧光材料类的特有颜色的光。施加到第一电极之一上的放电维持电压的相位与施加到另一第一电极上的放电维持电压的相位彼此相差半个周期，根据交流电流的频率使每一电极的极性相反。
下面将描述上述结构等离子显示器AC辉光放电操作的另一个例子。将放电过程分成由初始放电在保护层14的表面上产生壁电荷的寻址时间和维持放电的放电维持时间。在寻址期间，比放电起动电压Vbd低的脉冲电压施加到选择的第一电极之一和一个选择的第二电极22上。选择施加脉冲的第一电极和施加脉冲的第二电极22的交叠区域作为显示象素，在交叠区域中，因介质极化而在保护层14的表面产生壁电荷，从而积累壁电荷。在接着的放电维持期间，比Vbd低的放电维持电压施加到两个第一电极12A和12B上。当由壁电荷感应的壁电压Vw与放电维持电压Vsus的总和大于放电启动电压Vbd时，(即，当Vw+Vsus＞Vbd时)开始放电。施加到第一电极之一上的放电维持电压Vsus的相位与施加到另一第一电极上的放电维持电压Vsus的相位彼此相差半个周期，根据交流电流的频率使每一电极的极性相反。
在维持AC辉光放电的象素中，用因空间中的稀有气体激发而辐射的真空紫外线照射来激发荧光层24，它们发射荧光材料类的特有颜色的光。
在本发明的等离子显示器中，由于在一对面对的第一电极12A和12B之间的第一基片11中形成凹槽31，所以放电空间的体积增大，放电路径增加，如图12所示。也就是说，在面对的第一电极12A附近的保护层14的表面与面对的第一电极12B附近的保护层14的表面之间和在凹槽的面对的侧壁之间能发生放电。启动和维持放电所需要的准稳粒子(在放电空间中的准稳稀有气体原子，分子，二聚物)的数量增加，从而不会导致放电启动电压或放电维持电压增加，也不会引起效率下降。进一步地，如图13A所示，在第一基片11的表面中流动的漏电流的路径增加，并且如图14A所示，在保护层14中流动的漏电流的路径也增加。另外，如图15A所示，沿保护层14表面流动的漏电流的路径也增加。因此，漏电流流动较弱，并且较少发生介质击穿或异常放电。在常规的等离子显示器中，当两个面对的第一电极之间的距离减少时，放电空间的体积减少，启动和维持放电所需要的准稳粒子(在放电空间中的准稳稀有气体原子，分子，二聚物)的数量减少，放电启动电压和放电维持电压增加，并引起效率下降。进一步地，如图13B所示，在第一基片11表面中流动的漏电流的路径减少，并且如图14B所示，在保护层14中流动的漏电流的路径也减少。另外，如图15B所示，沿保护层14表面流动的漏电流的路径也减少，从而，漏电流易于流动并且容易发生介质击穿或异常放电。
下面将参照第一基片11等的示意部分横截面图，如图3A、3B、3C、4A和4B所示，描述制作例1的交流驱动型等离子显示器的方法(制作根据本发明第一方面的交流等离子显示器的方法)。在下面的解释中，有时将第一基片11，在其上形成的所有结构，第二基片21，或在制作方法的任意一步在其上形成的所有结构称为“底层”。
可以按如下的方法制作作为第一板的前板10。首先，在第一基片11上形成有图案的第一电极12A和12B。具体地讲，例如，通过溅射法(参见图3A)，在第一基片11的整个表面上形成由ITO构成的导电材料层112，并通过石印术和蚀刻法以条状的形式制作导电材料层112的图案，从而形成第一电极12A和12B(参见图3B)。然后，例如，通过溅射法，在底层的整个表面上形成Cr/Cu/Cr多层膜，并通过石印术和蚀刻法制作Cr/Cu/Cr多层膜的图案，从而可形成总线电极13(参见图3C)。第一电极12A和12B之一的边缘部分与总线电极13的边缘部分相互交叠。然后，在两个面对的第一电极12A和12B之间的第一基片上形成凹槽31。使用沟槽作为凹槽31。具体地，通过石印术在整个表面形成在两个面对的第一电极12A和12B之间具有开口部分的保护层(抗蚀剂层)30。也就是说，将抗蚀剂材料涂在除第一基片11的要形成凹槽的部分以外的整个表面以用抗蚀剂层30覆盖第一基片(参见图4A)。然后，通过使用氢氟酸的湿蚀刻法、使用以抗蚀剂层30作为蚀刻掩膜的蚀刻气体干蚀刻方法或喷砂处理方法来制作第一基片11的图案，以在两个面对的第一电极12A和12B之间的第一基片中形成凹槽31(参见图4B)。然后除去保护层30。形成的沟槽的上部宽度为4×10-5m(40μm)并且深度为8×10-5m(80μm)。在附图中，示出了凹槽的底部为弧形。在某些蚀刻的情况下，当用yz平面切割，凹槽31具有矩形横截面形状。[步骤120]接着，在第一电极组上和在包括凹槽31内侧的第一基片11上形成保护层14。保护层14可以是大约为1×10-5m(约10μn)厚的由氧化镁(MgO)构成的单层，或者可以是由约10μm厚的介质层和由约0.6μm厚覆盖层构成的两层结构。例如，通过丝网印刷方法在底层上形成低熔点的玻璃胶层和通过煅烧或烧结低熔点玻璃胶层，形成介质层。例如，通过电子束沉积方法在介质层的整个表面上或在第一基片和第一电极组上形成氧化镁层，能得到单层结构的覆盖层或保护层。通过上面的步骤，能完成前板10。构槽具有约2×10-5m(20μm)空间宽度。
作为第二板的后板20的制作如下。首先，例如通过丝网印刷方法以条状的形式在第二基片21上印刷银胶层，并且煅烧或烧结印刷的银胶层，从而形成第二电极22。然后通过丝网印刷方法在底层的整个表面上形成低熔点玻璃胶层，并且煅烧或烧结低熔点玻璃胶层，由此形成介质膜23。然后，例如用丝网印刷方法在相邻第二电极之间区域上方的介质膜23上印制低熔点玻璃胶层，并煅烧或烧结玻璃胶层，以形成分隔壁25。分隔壁(肋)的高度例如可以为50至300(μm)。然后，连续印制三基色的荧光材料浆，接着进行煅烧或烧结，以形成荧光层24R,24G和24B。通过上面的步骤，能完成后板20。
然后，装配等离子显示器。首先，例如，通过丝网印刷法在后板20的周边部分上形成密封层(没有示出)。然后将前板10和后板20相互连接，接着进行煅烧或烧结，以固化密封层。对在前板10和后板20之间形成的空间抽真空，接着将压力为8×104Pa(0.8大气压)的Ne-Xe混合气体(例如，50％Ne-50％Xe混合气体)充入并密封在该空间中，以完成等离子显示器。如果将前板10和后板20连接并固定在充有8×104Pa(0.8大气压)的Ne-Xe混合气体的腔中，则抽真空的步骤、在该空间中充入Ne-Xe混合气体步骤和密封的步骤都可以省去。
当在[步骤110]中形成凹槽时，通过石版印刷术在整个表面形成在两个面对的第一电极12A和12B之间具有开口部分的保护层31。如果以矩形或椭园形式而不是以沟槽的形式形成开口部分，则形成凹槽31作为在位于两个面对的分隔壁25之间的第一基片11中形成的盲孔(参见图5或图6)。上述盲孔最好具有小于5×10-5m的空间直径。当凹槽31为沟槽时，在某些情况下，等离子放电会通过凹槽31漏入相邻放电腔中，并且可引起光串扰，即，相邻放电腔的荧光层可发射光。当形成凹槽31作为在第一基片的位于两个分隔壁25之间的区域中的盲孔时，能可靠地避免上述现象。
此外，在[步骤110]中，通过例如钻石轮划片方法之类的机械开挖方法或例如喷砂处理之类的机械研磨方法在两个面对的第一电极12A和12B之间的第一基片11中形成凹槽31。也就是说，通过完成[步骤100]获得图7A所示的结构之后，按照钻石轮划片方法用钻石轮划片在第一基片中形成凹槽31，从而获得图7B所示的结构。
例2例2是涉及根据本发明第二方面制作交流驱动型等离子显示器的方法。由于在例2中制作的等离子显示器在结构上基本上与例1中描述的等离子显示器相同，所以省略了其详细的描述。下面参照第一基片11等的示意横截面图，描述以制作例2的交流驱动型等离子显示器的方法制作作为第一板的前板10的方法，如图8A,8B,8C,9A和9B所示。首先，在第一基片11上形成导电材料层112。具体地讲，例如，通过溅射方法，在第一基片11的整个表面上形成导电材料层112。然后，例如通过溅射方法，在导电材料层112的整个表面上形成Cr/Cu/Cr多层膜，并由石版印刷术和蚀刻方法制作Cr/Cu/Cr多层膜的图案，从而形成总线电极13〔参见图8A〕。然后，制作导电材料层112的图案以形成第一电极12A和12B，并且在两个面对的第一电极12A和12B之间的第一基片11中形成凹槽31。具体地，在导电材料层112上形成有图案的保护层30(参见图8B)。用保护层30作为蚀刻掩膜，通过使用氯化铁和氢氟酸的混合液的湿蚀刻方法来蚀刻导电材料层112(参见图8C)。然后，例如，通过使用氢氟酸的湿蚀刻方法、利用蚀刻气体的干蚀刻方法或喷砂处理方法，制作第一基片的图案(参见图9A)。以此方式，可获得由沟槽构成的凹槽31。然后，除去保护层30。使形成的沟槽在其上部的宽度为4×10-5m(40μm)并且深度为8×10-5m(80μm)。在附图中，示出了凹槽31的底部为弧形。在某些蚀刻的情况下，当用yz平面切割时，凹槽31具有矩形横截面形状。也可在基片11仅次位于两个第一电极和相邻两个第一电极之间的区域形成凹槽。[步骤-220]用与例1的[步骤-120]相同的方法在第一电极组和包括凹槽31内侧的第一基片11上形成保护层14(参见图9B)。沟槽具有大约2×10-5m(约20μm)的空间宽度。
另外，通过完成[步骤-200]获得图10A所示的结构之后，[步骤-210]可包括制作导电材料层112的图案并进一步通过例如钻石轮划片方法之类的机械开挖方法或例如喷砂处理之类的机械研磨方法在第一基片11中形成凹槽31(参见图10B)。以此方式，能获得由沟槽构成的凹槽31。
例3例3是涉及根据本发明第三方面制作交流驱动型等离子显示器的方法。由于在例3中制作的等离子显示器在结构上基本上与例1中描述的等离子显示器相同，所以省略了其详细的描述。下面参照第一基片11等的示意横截面图，描述以制作例3的交流驱动型等离子显示器的方法制作作为第一板的前板10的方法，如图11A,11B,11C所示。首先，在第一基片的位于两个面对的第一电极之间的区域中形成凹槽(参见图11A)。可以通过例如湿蚀刻方法或干蚀刻方法之类的化学方法来形成凹槽，从而获得由沟槽或盲眼构成的凹槽。此外，可以通过例如钻石轮划片方法之类的机械开挖方法或例如喷砂处理之类的机械研磨方法形成凹槽，从而，能获得由沟槽构成的凹槽31。另外，例如由热压方法形成第一基片的直接法能形成凹槽，从而能获得由沟槽构成的凹槽或由盲孔构成的凹槽。使形成的沟槽的上部宽度为4×10-5m(40μm)并且深度为8×10-5m(80μm)。在附图中，示出了凹槽31的底部为弧形。在某些形成方法或情况下，当用yz平面切割时，凹槽31具有矩形横截面形状。然后在凹槽31附近的第一基片11表面上形成有图案的第一电极12A和12B(参见图11B)。具体地，例如通过剥离方法形成有图案的第一电极12A和12B。也就是说，在底层上形成保护层，通过石版印刷术有选择地除去保护层的要在第一基片11上形成第一电极12A和12B的部分，并且，然后，例如通过溅射方法在整个平面形成由ITO构成的导电材料层。接着，除去其上的保护层和导电层。然后，例如，通过剥离方法形成由Cr/Cu/Cr多层膜构成的总线电极13(参见图11C)。用与例1的[步骤-120]相同的方法在第一电极组和包括凹槽31内侧的第一基片11上形成保护层14。沟槽具有大约2×10-5m(约20μm)的空间宽度。
尽管上面参照例子已经描述了本发明，但本发明并不局限于这些例子。可以适当地选择和组合等离子显示器的构造、组成部分的材料和制作交流驱动型等离子显示器的方法。在第一基片上可形成由多个第二电极构成的第二电极组。也就是说，可以采用在形成在保护层上的绝缘层上形成第二电极的构造，并且第二电极的延伸方向和第一电极的延伸方向成预定角(例如，90度)。
在本发明中，由于在两个引起放电的电极之间的第一基片中形成凹槽，所以放电空间的体积增加。结果是，启动和维持放电所需要的准稳粒子数量增加，放电启动电压和放电维持电压没有增加，并且没有引起效率下降。此外，由于因凹槽的存在使在一对第一电极之间流动的漏电流的路径增长，所以漏电流较少，介质击穿或异常放电较少发生。进一步地，不会过多地要求减少分隔壁25的厚度，这将减少在制作期间分隔壁的损坏，光串扰的危险下降。另外，由于放电空间的体积增大，由保护层发射的二次粒子不会粘附到分隔壁上，不会引起效率的下降。
此外，形成作为空间宽度小于5×10-5m的沟槽或空间直径小于5×10-5m的盲孔的凹槽。在此情况下，能增加基于通过一对面对电极之间的凹槽进行阴极辉光放电的放电比，从而能提高放电效率和减少功耗。
权利要求
1．一种交流驱动型等离子显示器，具有(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，和(b)第二面板，该面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度的方向延伸的分隔壁，并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其中在每一对相互面对的第一电极之间产生放电，以及在每一对面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽。
2．如权利要求1所述的等离子显示器，其特征在于凹槽是沟槽。
3．如权利要求2所述的等离子显示器，其特征在于沟槽的空间宽度小于5×10-5m。
4．如权利要求1所述的等离子显示器，其特征在于凹槽是在位于一对分隔壁之间的第一基片的区域中形成的盲孔。
5．如权利要求4所述的等离子显示器，其特征在于盲孔的空间直径小于5×10-5m。
6．一种制作交流驱动型等离子显示器的方法，所述等离子显示器具有(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，(b)第二面板，该面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度的方向延伸的分隔壁，并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其特征在于在每一对相互面对的第一电极之间产生放电，所述方法包括如下步骤(A)在第一基片上形成有图案的第一电极，(B)在每一对相互面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽，以及(C)在第一电极组上和包括每一凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一面板。
7．如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(B)包括步骤在整个表面上形成具有位于一对面对第一电极之间的开口部分的抗蚀剂层，并然后用抗蚀剂层作为蚀刻掩膜来蚀刻第一基片。
8．如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(B)包括步骤通过机械开挖方法或机械研磨方法在一对面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽。
9．一种制作交流驱动型等离子显示器的方法，所述等离子显示器具有(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，(b)第二面板，该面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度的方向延伸的分隔壁，每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其中在每一对相互面对的第一电极之间产生放电，所述方法包括如下步骤(A)在第一基片上形成导电材料层，(B)制作导电材料层的图案以形成第一电极，并且进一步地在每一对相互面对的第一电极之间的第一基片中形成凹槽，以及(C)在第一电极组上和包括每一凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一面板。
10．如权利要求9所述的方法，其特征在于步骤(B)包括步骤在导电材料层上形成有图案的抗蚀剂层，然后用抗蚀剂层作为蚀刻掩膜来蚀刻导电材料层，并进一步地蚀刻第一基片。
11．如权利要求9所述的方法，其特征在于步骤(B)包括步骤制作导电材料层的的图案，并进一步地通过机械开挖方法或机械研磨方法在第一基片中形成凹槽。
12．一种制作交流驱动型等离子显示器的方法，所述等离子显示器具有(a)第一面板，该面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组和在第一基片上形成的保护层，(b)第二面板，该面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层，沿与第一电极的延伸方向成预定角度的方向延伸的分隔壁，并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间，其中在每一对相互面对的第一电极之间产生放电，所述方法包括如下步骤(A)在要形成每一对面对的第一电极的第一基片区域之间的第一基片部分中形成凹槽，(B)在第一基片的表面上和凹槽的附近形成有图案的第一电极，以及(C)在第一电极组上和包括凹槽内侧的第一基片上形成保护层，以制作第一板。
13．如权利要求12所述的方法，其特征在于步骤(A)包括步骤通过机械方法、化学方法和直接法的任何一种方法在第一基片中形成凹槽。
全文摘要
一种交流驱动型等离子显示器具有(a)第一面板和(b)第二面板,第一面板包括第一基片、由在第一基片上形成的多个第一电极构成的第一电极组、以及在第一电极组上和在第一基片上形成的保护层,第二面板包括第二基片、在第二基片上面或上方形成的荧光层,沿与第一电极的延伸方向成预定角度的方向延伸的分隔壁,并且每一分隔壁形成在一个荧光层和另一相邻荧光层之间,其中在每一对相互面对的第一电极之间产生放电,并且在每一对面对的第一电极之间的第一基片中形成凹糟。
文档编号H01J11/22GK1303116SQ0110299
公开日2001年7月11日 申请日期2001年1月5日 优先权日2000年1月5日
发明者白水进一郎 申请人:索尼公司