专利名称：扫描电子显微镜多样品装载组合装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扫描电子显微镜用样品装载装置。
技术背景-目前，国内外在应用扫描电子显微镜观察多样品时，常用碳导电胶 或者导电双面胶带将小样品台粘在大基座上进行观察，其导电性能和操 作方便程度和对显微镜的真空度都有影响。发明内容本实用新型的目的在于提供一种结构合理，使用方便，工作性能好 的扫描电子显微镜多样装载组合装置。 本实用新型的技术解决方案是一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配 的支座，其特征是支座上设置带有多个槽的基座，基座上的各槽中分 别插装一个样品座。基座上的各槽中分别插装不同大小、形状、角度的样品座。样品座 底部设置与基座槽接触的弹性钢珠装置。本实用新型结构合理，样品更换方便、快捷；可以进行多样品、多 角度、不同大小样品座的组合；减少了对样品室真空度的影响和污染； 使用高导电性金属精密加工，插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的 导电性；可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 图1是本实用新型一个实施例的结构示图。 图2是图1中一个样品座的结构示图。
具体实施方式
一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座1，支座1上设置带有多个槽2的基座3，基座上的各槽中分别 插装不同大小、形状、角度的样品座4。样品座4底部设置与基座槽接 触的弹性钢珠装置5。
权利要求1、一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座，其特征是支座上设置带有多个槽的基座，基座上的各槽中分别插装一个样品座。
2、 根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置， 其特征是基座上的各槽中分别插装不同大小、形状、角度的样品座。
3、 根据权利要求1或2所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装 置，其特征是样品座底部设置与基座槽接触的弹性钢珠装置。
专利摘要本实用新型公开了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座，支座上设置带有多个槽的基座，基座上的各槽中分别插装一个样品座。本实用新型结构合理，样品更换方便、快捷；可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合；减少了对样品室真空度的影响和污染；使用高导电性金属精密加工，插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性；可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。
文档编号H01J37/20GK201122570SQ20072013119
公开日2008年9月24日 申请日期2007年12月4日 优先权日2007年12月4日
发明者张天一, 朱昌来, 琳 林 申请人:南通大学