专利名称：光罩放置装置的卡扣结构的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种光罩放置装置的卡扣结构，特别是关于一种凭 借一壳罩上的至少一安装孔，以便进行该壳罩与至少一卡扣组件的组装 或拆卸作业的卡扣结构。
背景技术：
如图1所示，现有光罩放置装置包含一壳罩11、数个卡扣组件l2及一底座13。该壳罩11内部相对的两侧设置数个固定柱lll,各固定柱111 的底端分别设有螺孔(未绘示)。各卡扣组件12分别对应各固定柱111 而配置于该壳罩11的内部，且各卡扣组件12的底部亦分别结合二定位 板121,以便凭借数个螺固元件122由下往上依序穿设各定位板121及各 卡扣组件12后对应螺接各该固定柱111的螺孔，使各卡扣组件12可枢 接结合于该壳罩11的内部。该底座13对应各该卡扣组件12设有数个定 位槽131,当一光罩14置放于该底座13上时，可将该壳罩ll覆盖在该 底座13上，以便各卡扣组件12对应卡接各定位槽131，使该壳罩ll及 该底座13可相互结合固定，令该光罩14稳固的置放于该光罩放置装置 内部。请再参阅图i,当欲自该光罩放置装置内部取出该光罩14时，可利 用一工作机台15致动各该卡扣组件12脱离卡扣状态，该工作机台15内 侧具有可横向往覆作动的数个机械手臂(未绘示)，各该机械手臂分别设 有定位销(未绘示)。当该光罩放置装置置放于该工作机台15的预定位 置时，各该机械手臂的定位销可分别对位伸入各该卡扣组件12的一定位 孔(未绘示)，并利用各该机械手臂橫向作动以控制各该卡扣组件12枢 转脱离该底座13的各定位槽131。借此，该底座13即可与该壳罩11分 离，以便自该底座13取出该光罩14,进而可进行后续晶片制程作业。
一般而言，现有光罩放置装置于实际使用时仍具有下列缺点，例如 该光罩放置装置主要是利用壳罩11的固定柱111、各卡扣组件12、各定 位板121及各螺固元件122构成一现有光罩放置装置的卡扣结构，以凭 借该卡扣结构将各该卡扣组件12枢接结合于该壳罩11的内部。然而， 假使前述机械手臂于横向作动的过程中发生故障情形时，容易造成该光 罩放置装置无法自该工作机台15取下，以及该壳罩11无法脱离该底座 13的困境。由于现有光罩放置装置的卡扣结构无法直接由该壳罩11的外 部以工具拆卸该卡扣组件12，故当欲自该光罩放置装置中取出该光罩14 时，工作人员必须经由拆卸该工作机台15方可取下该光罩放置装置，以 便进一步拆离该壳罩11及该底座13后取出该光罩14。惟该工作机台15 的拆装作业过程中，仍会耗费相当多的人力资源及时间成本，且亦会造 成后续晶片制程的拖延，使得整体晶片制程的经济效益大幅降低。基于 上述原因，有必要进一步改良上述现有光罩放置装置的卡扣结构。.有鉴于此，本实用新型改良上述现有光罩放置装置的卡扣结构的缺 点，其凭借一壳罩的至少一安装孔，以便至少一螺固元件可经由该安装 孔组装至少一卡扣组件。当一工作机台欲取出具有前述卡扣结构的光罩 放置装置内的光罩时，假使该工作机台作动过程中发生故障情形，仍可 自该壳罩外部以工具直接透过各该安装孔拆卸该卡扣組件，以便进一步 拆离该壳罩后取出该光罩，因此能确保后续晶片制程可顺利进行，以提 升整体晶片制程的效率。实用新型内容本实用新型的主要目的是提供一种光罩放置装置的卡扣结构，其凭借 一壳罩的至少一安装孔，以供至少一螺固元件穿设后组装至少一卡扣组 件，使其相对亦可自该壳罩外部直接拆离该卡扣组件，使得本实用新型 具有提升拆装便利性的功效。 本实用新型的次要目的是提供一种光罩放置装置的卡扣结构，其凭 借该卡扣组件分别设有一扣接片及一复位弹簧，以便该壳罩可稳固卡接一底座的至少一定位槽，使得本实用新型具有提升卡扣效果的功效。根据本实用新型的光罩放置装置的卡扣结构，其包含一壳罩、至少一 卡扣组件、至少一定位板及至少一螺固元件。该卡扣组件枢接结合于该 壳罩内部，该定位板结合于该卡扣组件的底部，该壳罩对应该卡扣组件 设有至少一安装孔，该安装孔自该壳罩的上表面贯穿至内部，以供该螺 固元件依序穿设该安装孔及卡扣组件后螺固该定位板。借此，可方便进 行该壳罩及该卡扣组件的拆卸及组装作业。本实用新型的优点是其凭借一壳罩的至少一安装孔，以便至少一螺 固元件可经由该安装孔组装至少一卡扣组件。当一工作机台欲取出具有前述 卡扣结构的光罩放置装置内的光罩时，假使该工作机台作动过程中发生故障 情形，仍可自该壳罩外部以工具直接透过各该安装孔拆卸该卡扣组件，以便 进一步拆离该壳罩后取出该光罩，因此能确保后续晶片制程可顺利进行，以 提升整体晶片制程的效率。
图式简单说明图l:现有光罩放置装置的卡扣结构的分解立体图。 图2:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构的分解立体图。 图3:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构用于光罩放置装置时的分解立体图。图4:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构的仰视示意图。 图5:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构用于光罩放置装置且置放于工作机台时的组合立体图。图6:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构于进行拆卸前
的使用状态示意图。图7:本实用新型较佳实施例光罩放置装置的卡扣结构于进行拆卸后 的使用状态示意图。主要元件符号说明11士玄 冗卓111固定柱12卡扣组件121定位板122螺固元件13底座131定位槽14光罩15工作机台2士 s 冗罩21安装孔22缺口23枢接柱3卡扣组件1扣接片311套筒部312卡掣块313定位孔314抵接部32复位弹簧4定位板41凸柱42螺孔螺固元件6内罩7底座71定位槽8光罩9工作机台具体实施方式
为让本实用新型的上述及其他目的、特征及优点能更明显易懂，特举本实用新型的较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下请参照图2,本实用新型较佳实施例的光罩放置装置的卡扣结构是包 含一壳罩2、至少一^^扣组件3、至少一定位板4及至少一螺固元件5。 该壳罩2设有至少一安装孔21及至少一缺口 22,该安装孔21自该壳罩 2的上表面贯穿至其内部，且该安装孔21优选设置在该壳罩2的角隅位 置，该缺口 22设置于该壳罩2的侧边，以便该卡扣组件3于该壳罩2内 部枢转活动。该卡扣组件3对应该安装孔21设置于该壳罩2的内部，该 定位板4用以抵接该卡扣组件3,该螺固元件5可依序穿设该安装孔21 及该卡扣组件3后螺固该定位板4,使该卡扣组件3可枢接结合于该壳罩2的内部。借此，可直接于该壳罩2外部经由该安装孔21旋紧或松开该 螺固元件5，以便进行该卡扣组件3的拆卸及组装作业。请参照图2及图3，本实用新型较佳实施例的卡扣组件3设有一扣接 片31及一复位弹簧32。该扣接件31的一端形成一套筒部311，另一端 形成一卡掣块312，该卡掣块312设有自顶面贯穿至底面的一定位孔313。 又，该扣接件31的一侧形成一抵接部314,该4氏接部314位于该套筒部 311及卡掣块312之间，以供该复位弹簧32的一端抵接。该复位弹簧32 优选为 一扭力弹簧或其他具有相同功能的弹性元件，用以提供该扣接件 31的枢转复位功能。另外，该定位板4设有一凸柱41及一螺孔42。该 凸柱41可供结合该复位弹簧32,该螺孔42是在该螺固元件5依序穿设 该安装孔21及该套筒部311后供其螺固用的。请参照图2至图4，当组装本实用新型光罩放置装置的卡扣结构时， 该扣接片31的套筒部311可对应该安装孔21而枢接于该壳罩2的内部， 且该扣接片31的卡掣块312位于该壳罩2的缺口 22内侧位置，以便该 扣接片31可于该壳罩2内部枢转活动。前述扣接片31的枢接方式，其 较佳可如图3所示，在该壳罩2内侧对应该安装孔21设有枢接柱23，以 供枢接该扣接片31的套筒部311,且该安装孔21是贯穿该枢接柱23; 或是该枢接柱23亦可设置于该定位板4上(未绘示)，该螺孔42则设置 于该枢接柱23的端面；又或是该套筒部311亦可直接以该螺固元件5作 为枢转轴心。当该扣接片31枢接于该壳罩2的内部时，该复位弹簧32 是结合该定位板4的凸柱41，该定位板4则结合于该扣接件31的底部， 使该复位弹簧32的一端可抵接该扣接件31的抵接部314,另一端则抵接 该壳罩2的内侧壁面。借此，该螺固元件5可依序穿设该安装孔21及套 筒部311后螺固该定位板4的螺孔42，以便将该卡扣组件3枢接结合于 该壳罩2内部。 请参照图3至7，当使用本实用新型光罩放置装置的卡扣结构时，该 壳罩2可搭配一内罩6及一底座7组成一光罩放置装置，该内罩6是结 合于该壳罩2的内侧，该底座7可供置放一光罩8，且该底座7对应该卡 扣组件3设有至少一定位槽71。当该壳罩2覆盖该底座7时，该扣接片 31的卡掣块312对应卡接该定位槽71,使该壳罩2及该底座7可相互结 合固定，以便将该光罩8收藏置放于该光罩放置装置内。另外，如图5 所示，当欲取出该光罩8时，可事先将该光罩放置装置置放于一工作机 台9上，使该工作机台9内侧机械手臂(未绘示)的定位销(未绘示) 对位伸入该扣接件31的定位孔313中，并利用该机械手臂的横向作动以 控制该扣接件31的卡掣块312枢转脱离该底座7的定位槽71,同时亦使 得该复位弹簧32产生形变。借此，该底座7即可与该壳罩2分离，以便 自该底座7取出该光罩8，进而可进行后续晶片制程作业。请参阅图6及图7，当凭借该工作机台9的机械手臂分离该底座7与 该壳罩2的过程中发生故障时，工作人员可自该壳罩2的外部直接利用 一工具(未绘示)伸入该安装孔21中，以快速旋松取出该螺固元件5。 借此，该卡扣组件3及该定位板4可与该壳罩2脱离组装状态，以便工 作人员可依序将该壳罩2、卡扣组件3及定位板4与该底座7相互分离， 进而可直接取出该光罩8进行后续晶片制程作业。如上所述，相较图1的现有光罩放置装置的卡扣结构无法直接于该壳 罩11外部拆卸该卡扣组件12，当该工作机台15故障时，工作人员必须 凭借拆卸该工作机台15等繁瑣步骤方可取出该光罩14，故具有造成后续 晶片制程拖延等缺点。本实用新型是凭借该壳罩2的安装孔21设计，可 供工作人员直接经由该安装孔21拆卸该螺固元件5，以便将该壳罩2拆 离该卡扣组件3及该定位板4，进而可快速取出该光罩8进行后续晶片制 程，其整体拆装作业具有迅速简易等特点，而可避免造成后续晶片制程 的拖延，以有效提升晶片制程的经济效益。再者，利用该卡扣组件12的 设计，亦兼可使该壳罩2稳固的卡接结合该底座7，以提供更佳的固定功能。
权利要求1、一种光罩放置装置的卡扣结构，其包含一个壳罩、至少一个卡扣组件、至少一个定位板及至少一个螺固元件，该卡扣组件枢接结合于该壳罩内部，该定位板结合于该卡扣组件的底部，其特征在于该壳罩对应该卡扣组件设有至少一个安装孔，该安装孔自该壳罩的上表面贯穿至内部，该螺固元件依序穿设于该安装孔及卡扣组件螺固该定位板。
2、 如权利要求l所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征在于，该卡 扣组件设有一个扣接片及一个复位弹簧，该扣接件的一端形成一个套筒 部，另一端形成一个卡掣块，该卡掣块设有一个定位孔，该定位板设有 一个凸柱以供结合该复位弹簧，该复位弹簧的一端抵接该扣接件，另一 端抵接该壳罩的内侧壁面。
3、 如权利要求2所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征在于，该扣 接件的 一 侧形成 一 个供该复位弹簧的 一端抵接的抵接部。
4、 如权利要求3所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征在于，该壳 罩内侧对应该安装孔设有至少一个枢接柱，所述的枢接柱枢接该扣接片 的套筒部，所述的安装孔贯穿该枢接柱。
5、 如权利要求l、 2、 3或4所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征 在于，该定位板设有 一个供该螺固元件螺接的螺孔。
6、 如权利要求l、 2、 3或4所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征在于，该壳罩的侧边设有至少一个缺口。
7、 如权利要求5所述的光罩放置装置的卡扣结构，其特征在于，该壳 罩的侧边设有至少一个缺口 。
专利摘要一种光罩放置装置的卡扣结构，其包含一壳罩、至少一卡扣组件、至少一定位板及至少一螺固元件。该卡扣组件枢接结合于该壳罩内部，该定位板结合于该卡扣组件的底部，该壳罩对应该卡扣组件设有至少一安装孔，该安装孔自该壳罩的上表面贯穿至内部，以供该螺固元件依序穿设该安装孔及卡扣组件后螺固该定位板。借此，可方便进行该壳罩及该卡扣组件的拆卸及组装作业。
文档编号F21V17/16GK201053635SQ20072014089
公开日2008年4月30日 申请日期2007年3月27日 优先权日2007年3月27日
发明者廖莉雯, 蔡铭贵, 陈俐殷 申请人:亿尚精密工业股份有限公司