专利名称：等离子体放电与雾化接枝装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子体应用技术领域，尤其涉及一种等离子体放电与雾化接枝
装置，是在常压下在两个圆弧形等离子体放电区间之间安装的一个实现对薄膜表面接枝的 装置。
背景技术：
过去为了提高材料表面的亲水性一般是采用萘钠法腐蚀材料的表面，采用该方法 会带来严重的有毒有害的液体排放，给环保带来很大隐患。 利用常压等离子体处理薄膜材料，提高材料表面的亲水性是在近年来迅速发展起 来的等离子体应用技术之一，但是一般材料经过等离子体处理后其表面亲水的时效性一般 都保持不长时间，为了保持薄膜材料表面亲水的时效性，在进行等离子体处理后，还需要在 薄膜表面进行接枝聚合一种新的亲水基团。 本实用新型是基于保持薄膜材料的亲水性为目的，在经过等离子体处理后再在其 表面接枝一种亲水基团，所研制的装置是一个结合等离子体放电表面处理和雾化接枝为连 续组合处理的一种新装置。
实用新型内容( — )要解决的技术问题 有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种等离子体放电与雾化接枝装置， 以利用集成辉光等离子体放电和液体雾化的区域来处理穿过该通道的各种薄膜材料，尤其 是对材料的表面进行接枝改性处理。
( 二 )技术方案 为达到上述目的，本实用新型提供了一种等离子体放电与雾化接枝装置，该装置 包括 —组雾化喷头，该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上；禾口 两个高压电极，位于雾化喷头的两侧，该两个高压电极与电源的一端连接，外侧安
装一个与大地连接的屏蔽罩，内侧设有一个金属圆滚轴地电极。 上述方案中，该组雾化喷头雾化喷出的液体构成一个平面，喷在薄膜的表面。 上述方案中，该高压电极的形状为圆弧瓦片形状，所连接的高压电源的输出电压 大于5KV，频率范围是1至40KHz。 上述方案中，该高压电源是采用高频电源，或者是采用射频电源。 上述方案中，该高压电极的圆弧内侧面与该金属圆滚轴的外表面具有一定的间距。 上述方案中，该金属圆滚轴地电极安装在一个与大地连接的支架上，在该在金属 圆滚轴地电极两侧分别安装有薄膜导向轴，薄膜材料能够通过高压电极与金属圆滚轴地电 极之间的等离子体放电区域。
3[0016] 上述方案中，该两个高压电极和该金属圆滚轴地电极采用铝材料制成。 上述方案中，该屏蔽罩采用铝材料制成。(三)有益效果 本实用新型提供的这种等离子体放电与雾化接枝装置，其优点是 1、在大气压下产生空气辉光放电的区间之间加入一个雾化装置，集成和等离子体
放电和表面雾化接枝技术。 2、表面接枝后时效性好，可以用于对薄膜材料的表面接枝与改性处理。
图1是依照本实用新型实施例提供的等离子体放电与雾化接枝装置的侧面结构 示意图； 图2是依照本实用新型实施例提供的等离子体放电与雾化接枝装置的正面结构 示意图。
具体实施方式为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并 参照附图，对本实用新型进一步详细说明。 参阅图1和图2图分别为本实用新型实施例的侧面结构示意图和正面结构示意 图。一组雾化喷头109安装在一个与支架111连接的屏蔽罩104上，该雾化喷头可以雾化喷 出各种液体，在雾化喷头的两侧分别安装两个高压电极103，该高压电极103与电源110的 高压端连接，在该高压电极103的外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩104，该高压电极103 内侧设有一个金属圆滚轴地电极112，该金属圆滚轴地电极112通过轴承107安装在一个与 大地连接的支架113上，该支架安装在一个底座101上，在该在金属圆滚轴地电极112的两 侧分别安装有薄膜导向轴102，当在高压电极103与金属圆筒轴地电极112之间加上高频或 射频电压时，在两电极103和112之间的区域(缝隙)中产生等离子体。薄膜材料114可 以穿过该两个电极之间的缝隙。 图1和图2中，105、106、108和107是固定螺丝，其中106是和绝缘材料板连接，该 绝缘材料板是用来固定电极103， 113和111是金属固定连接板。 电极112和103是用铝材料制成，屏蔽罩104可以用铝材料，也可以用其它材料制 成。 电源110可以是采用高频电源，也可以是采用射频电源。 以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一 步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本 实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包 含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求一种等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该装置包括一组雾化喷头，该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上；和两个高压电极，位于雾化喷头的两侧，该两个高压电极与电源的一端连接，外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩，内侧设有一个金属圆滚轴地电极。
2. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该组雾化喷头 雾化喷出的液体构成一个平面，喷在薄膜的表面。
3. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该高压电极的 形状为圆弧瓦片形状，所连接的高压电源的输出电压大于5KV，频率范围是l至40KHz。
4. 根据权利要求3所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该高压电源是 采用高频电源，或者是采用射频电源。
5. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该高压电极的 圆弧内侧面与该金属圆滚轴的外表面具有一定的间距。
6. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该金属圆滚轴 地电极安装在一个与大地连接的支架上，在该在金属圆滚轴地电极两侧分别安装有薄膜导 向轴，薄膜材料能够通过高压电极与金属圆滚轴地电极之间的等离子体放电区域。
7. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该两个高压电 极和该金属圆滚轴地电极采用铝材料制成。
8. 根据权利要求1所述的等离子体放电与雾化接枝装置，其特征在于该屏蔽罩采用 铝材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种等离子体放电与雾化接枝装置，该装置包括一组雾化喷头，该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上；和两个高压电极，位于雾化喷头的两侧，该两个高压电极与电源的一端连接，外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩，内侧设有一个金属圆滚轴地电极。利用本实用新型，在大气压下产生空气辉光放电的区间之间加入一个雾化装置，集成和等离子体放电和表面雾化接枝技术。另外，表面接枝后时效性好，可以用于对薄膜材料的表面接枝与改性处理。
文档编号H01J37/04GK201518309SQ200920246628
公开日2010年6月30日 申请日期2009年10月21日 优先权日2009年10月21日
发明者张超前, 杨景华, 王守国, 赵玲利 申请人:中国科学院微电子研究所