专利名称：用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及等离子显示屏制作领域，具体而言，涉及一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。
背景技术：
通用的交流气体放电等离子显示屏均采用表面放电型结构，该结构包括一个前基板及与之封接在一起的后基板。前基板上配置有透明电极ITO和汇流电极，透明电极和汇流电极构成放电电极。放电电极又分为维持放电电极X和扫描放电电极Y，在放电电极的表面覆盖有一层介质层，介质层上覆盖保护层该保护层通常是氧化镁膜。后基板上配置有与放电电极相互垂直的寻址电极，寻址电极上覆盖一层介质层，介质层上配置有与其寻址电极平行的条状障壁，且在条状障壁的底部覆盖有荧光粉层，前后基板用低熔点玻璃粉封接在一起，并且在其间充有放电气体。目前，为了提高等离子显示屏的产品质量，提高等离子显示屏的光效，降低其工作电压，通常在放电电极表面的介质层上覆盖一层氧化镁保护层。通常的做法是用电子束蒸镀的方法，在PDP前基板屏介质层表面形成的氧化镁层，其特点是对介质层的保护效果好， 而且能产生大量的二次电子，可降低屏的着火电压，减小放电延迟时间。但是，随着全高清电视的出现，PDP显示屏的像素节距越来越小，造成的直接影响是屏的放电空间减少，降低亮度，又因为行数增加，需要进一步减少放电延迟时间，仅仅在介质层上覆盖一层氧化镁保护层所达到的效果已不能满足全高清PDP显示屏的质量要求。
发明内容
本发明旨在提供一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置，以实现在同一蒸镀装置上能够蒸镀两层不同面积的保护层。为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。该用于等离子显示屏保护层形成的蒸镀装置包括第一蒸镀材料盛放部，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部，处于第二位置，第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部的位置能够互换；电子枪，设置在第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板，其上设置有定向通孔，可移动的设置在电子枪与待蒸镀的上基板之间。进一步地，定向遮挡板的定向通孔的位置设置在空间直角坐标系中的B点(XnY1, Z1)，空间直角坐标系包括相互垂直的X轴、Y轴和Z轴，B点的位置通过下列公式求得x-x2/x2-x0 = y-y2/y2-y0 = z-z2/z2-z0 ①Z = Z1②其中，公式①为空间直线方程；公式②为遮挡板(4)所在空间平面的平面方程，其高度为乙；B点(XnY1^1)为所述空间直线和所述空间平面的相交点，且与A点的沿Z轴方向的距离为Z1,其中，A点是电子束打到需要蒸镀的材料上的溅射点，C点是需要在上基板
4的氧化镁层上蒸镀的范围，B点是遮挡板上定向通孔的位置。进一步地，定向遮挡板的材质为不锈钢，厚度为0. 3 0. 5mm，定向通孔的孔径为 0.11 0.13mm。在此范围内能够得到合适的蒸镀层。进一步地，该蒸镀装置包括第一蒸镀材料盛放部处于第一位置，电子枪溅射第一蒸镀材料，上基板勻速运动第一次经过第一位置上方；第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部位置互换，第二蒸镀材料盛放部处于第一位置，电子枪溅射第二蒸镀材料，上基板在定向遮挡板的遮挡下勻速运动第二次经过第一位置上方，其中，定向遮挡板与上基板以相同的速度经过第一位置上方。进一步地，第一蒸镀材料盛放部是勻速沿自身轴心旋转的一组坩埚中的每个坩埚的一半，第二蒸镀材料盛放部是一组坩埚中的每个坩埚的另一半。进一步地，一组坩埚的排布方向垂直于上基板的运动方向。进一步地，坩埚旋转半周的时间与上基板一次经过第一位置上方的时间相等。进一步地，第一蒸镀材料盛放部是沿自身轴心旋转的第一组坩埚，第二蒸镀材料盛放部是沿自身轴心旋转的第二组坩埚，第一组坩埚和第二组坩埚处于第一位置时的排布方向垂直于上基板的运动方向。进一步地，第一组坩埚与第二组坩埚分别为两个坩埚，四个坩埚支撑在十字型支撑架的沿水平方向的四个端部，十字型支撑架的中部具有竖直延伸的旋转轴。进一步地，蒸镀装置配置为使得上基板第一次经过第一位置上方后，十字型支撑架绕其旋转轴运动，互换第一组坩埚和第二组坩埚的位置，然后使上基板第二次经过第一位置上。应用本发明的技术方案，由于定向遮挡板上具有按照一定位置设置的定向通孔， 可以实现在同一蒸镀装置上能够蒸镀两层不同面积的保护层，而且保护层的位置可以精确设置。
说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中图1示出了根据本发明实施例的用于等离子显示屏保护层形成的蒸镀装置的结构示意图；图2示出了根据本发明又一实施例的用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置的结构示意图；以及图3示出了根据本发明实施例的定向遮挡板上定向通孔的位置示意图。
具体实施例方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。根据本发明的一种典型的实施方式，如图1，2所示用于等离子显示屏保护层形成的蒸镀装置包括第一蒸镀材料盛放部11、第二蒸镀材料盛放部12、电子枪3和定向遮挡板 4，其中，第一蒸镀材料盛放部11和第二蒸镀材料盛放部12可以分别处于第一位置以及第二位置，且第二蒸镀材料盛放部12与第一蒸镀材料盛放部11的位置能够互换；电子枪3设置在第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；定向遮挡板4上设置有定向通孔，可移动的设置在电子枪3与待蒸镀的上基板2之间。当第一蒸镀材料盛放部11处于第一位置，电子枪3射击第一蒸镀材料盛放部11时，第一蒸镀材料盛放部11内的第一蒸镀材料将被雾状颗粒成一定的角度溅射，从而蒸镀到待蒸镀PDP上基板2上形成第一保护层。当第二蒸镀材料盛放部12与第一蒸镀材料盛放部11的位置能够互换，如图4所示，定向遮挡板 4移动到电子枪3与上基板2之间，电子枪3射击第二蒸镀材料盛放部12，蒸镀出第二蒸镀材料，由于定向遮挡板4的存在，第二蒸镀材料只能透过定向遮挡板4上的定向通孔定向的蒸镀到上基板2上，而不需要蒸镀的位置则由于定向遮挡板4的遮挡而不会被蒸镀。优选地，根据图3所示的实施例，定向遮挡板4上定向通孔的位置设置在空间直角坐标系中的B点(X1, Y1, Z1)，空间直角坐标系包括相互垂直的X轴、Y轴和Z轴，定向遮挡板上的定向通孔的位置设置在B点(X1, Y1, Z1)，B点的位置通过下列公式求得X-X2/X2-X0 = Y-Y2/Y2-Y0 = Z-Z2/Z2-Z0①Z = Z1②其中，公式①为空间直线方程；公式②为遮挡板(4)所在空间平面的平面方程，其高度为乙；B点(XnY1^1)为所述空间直线和所述空间平面的相交点，且与A点的沿Z轴方向的距离为Z1,其中，A点是电子束打到需要蒸镀的材料上的溅射点，C点是需要在上基板的氧化镁层上蒸镀的范围，B点是遮挡板上定向通孔的位置。定向遮挡板4的材质优选不锈钢，厚度为0.3 0.5mm，定向通孔的孔径为0. 11 013mm，在此范围内能够得到合适的蒸镀层。根据本发明的一种典型的实施方式，该蒸镀装置包括如下运行过程第一蒸镀材料盛放部11处于第一位置，电子枪3溅射第一蒸镀材料，上基板2勻速运动第一次经过第一位置上方；第二蒸镀材料盛放部12与第一蒸镀材料盛放部11位置互换，第二蒸镀材料盛放部处于第一位置，电子枪3溅射第二蒸镀材料，上基板2在定向遮挡板4的遮挡下勻速运动第二次经过第一位置上方，其中，定向遮挡板4与上基板2以相同的速度经过第一位置上方。这样就可以在上基板两次运行的过程中将第一保护层和第二保护层精确蒸镀好，工艺简单，方便操作。如图1所示，第一蒸镀材料盛放部11可以是勻速沿自身轴心旋转的一组坩埚中的每个坩埚的一半，第二蒸镀材料盛放部12是一组坩埚中的每个坩埚的另一半。优选地，一组坩埚的排布方向垂直于上基板2的运动方向，这样便于蒸镀材料均勻地蒸镀在上基板2 上。坩埚旋转半周的时间可以与上基板2 —次经过第一位置上方的时间相等，这样可以保证坩埚旋转半周即上基板运行第一次就可以将第一保护层蒸镀好，当坩埚旋转另半周时， 上基板运行第二次完成第二保护层的蒸镀。当然，如图2所示第一蒸镀材料盛放部11也可以是沿自身轴心旋转的第一组坩埚，第二蒸镀材料盛放部12是沿自身轴心旋转的第二组坩埚，第一组坩埚和第二组坩埚处于第一位置时的排布方向垂直于上基板的运动方向。同样也可以便于蒸镀材料均勻地蒸镀在上基板上。根据需要蒸镀的上基板的大小可以调整一组干锅的数量，优选的，根据图2所示的实施例，第一组坩埚与第二组坩埚分别有两个坩埚，支撑在十字型支撑架的沿水平方向的四个端部，十字型支撑架的中部具有竖直延伸的旋转轴，这样既能使坩埚可以绕自身轴心旋转又能够绕十字形支撑架的轴心旋转，保证了蒸镀的均勻性。蒸镀装置配置为使得上基板第一次经过第一位置上方后，十字型支撑架绕其旋转轴运动，互换第一组坩埚和第二组坩埚的位置，然后使上基板第二次经过第一位置上。此结构加工方便，操作简便，且蒸镀效果好。 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置，其特征在于，包括第一蒸镀材料盛放部(11)，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部(12)，处于第二位置，所述第二蒸镀材料盛放部(1 与所述第一蒸镀材料盛放部(11)的位置能够互换；电子枪(3)，设置在所述第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板G)，其上设置有定向通孔，可移动地设置在所述电子枪C3)与待蒸镀的上基板(2)之间。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述定向遮挡板(4)的定向通孔的位置设置在空间直角坐标系中的B点(X1, Y1, Z1)，所述空间直角坐标系包括相互垂直的X轴、 Y轴和Z轴，所述B点的位置通过下列公式求得X-VX2-X0 = Y-VY2-Y0 = z-z2/z2-z0 ①Z = Z1②其中，公式①为空间直线方程；公式②为遮挡板(4)所在空间平面的平面方程，其高度为21 ；B点(XnYpZ1)为所述空间直线和所述空间平面的相交点，且与A点的沿Z轴方向的距离为Z1,其中，A点是电子束打到需要蒸镀的材料上的溅射点，C点是需要在上基板的氧化镁层上蒸镀的范围，B点是遮挡板上定向通孔的位置。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述定向遮挡板的材质为不锈钢，厚度为0. 3-0. 5mm，所述定向通孔的孔径为0. 11 0. 13mm。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于所述第一蒸镀材料盛放部(11)处于所述第一位置时，所述电子枪(1 溅射所述第一蒸镀材料，并且所述上基板( 勻速运动第一次经过所述第一位置上方；所述第二蒸镀材料盛放部(1 与所述第一蒸镀材料盛放部(11)位置互换，使得所述第二蒸镀材料盛放部(1 处于所述第一位置后，所述电子枪溅射所述第二蒸镀材料，所述上基板( 在所述定向遮挡板的遮挡下勻速运动第二次经过所述第一位置上方，其中，所述定向遮挡板(4)与所述上基板O)以相同的速度经过所述第一位置上方。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸镀材料盛放部(11)是勻速沿自身轴心旋转的一组坩埚中的每个所述坩埚的一半，所述第二蒸镀材料盛放部(12) 是所述一组坩埚中的每个所述坩埚的另一半。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述一组坩埚的排布方向垂直于所述上基板O)的运动方向。
7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚旋转半周的时间与所述上基板( 一次经过所述第一位置上方的时间相等。
8.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸镀材料盛放部(11)是沿自身轴心旋转的第一组坩埚，所述第二蒸镀材料盛放部(1 是沿自身轴心旋转的第二组坩埚，所述第一组坩埚或所述第二组坩埚处于所述第一位置时的排布方向垂直于所述上基板的运动方向。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一组坩埚与所述第二组坩埚分别为两个坩埚，四个坩埚支撑在十字型支撑架的沿水平方向的四个端部，所述十字型支撑架的中部具有竖直延伸的旋转轴。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置配置为使得在所述上基板( 第一次经过所述第一位置上方后，使所述十字型支撑架绕其旋转轴运动，互换所述第一组坩埚和所述第二组坩埚的位置，然后使所述上基板( 第二次经过所述第一位置上。
全文摘要
本发明公开了一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。该用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置包括第一蒸镀材料盛放部，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部，处于第二位置，第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部的位置能够互换；电子枪，设置在第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板，其上设置有定向通孔，可移动地设置在电子枪与待蒸镀的上基板之间。应用本发明的技术方案，由于定向遮挡板的设计，可以实现在同一蒸镀装置上能够蒸镀两层不同面积的保护层，而且保护层的位置可以精确设置。
文档编号H01J9/20GK102392220SQ20111029487
公开日2012年3月28日 申请日期2011年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者曹瑞林 申请人:四川虹欧显示器件有限公司