熔融金属供给筒、内置了该供给筒的熔融金属供给装置和熔融金属供给方法

专利名称：熔融金属供给筒、内置了该供给筒的熔融金属供给装置和熔融金属供给方法
技术领域：
本发明涉及熔融焊锡、铟等低熔点金属材料并供给到玻璃、陶瓷、金属等部件的熔 融金属的供给筒、内置了该供给筒的熔融金属供给装置和熔融金属供给方法。
背景技术：
图51(a)、(b)中示出了构成图像显示装置的真空容器或多层玻璃(即双层玻璃) 的玻璃嵌板。玻璃嵌板W具有一对玻璃基板w3和w4，通过间隙保持部件Q(例如玻璃球或 树脂球等)相对设置主面Sl和S2使得在厚度方向形成尺寸为g的间隙；和接合部η。在 该玻璃基板《3和w4间隙外周部分(下面称为外周间隙)k上同时接合主面Sl和S2，密封 该外周间隙k形成气密室。该接合部η通过现有的玻璃熔块形成。但是近年来基于高气密 性或低脱气性等提高密封品质的观点考虑，例如提出了用铟或焊锡等低熔点金属来形成的 方式。再有，下面以玻璃嵌板的制造技术为例进行说明，但是不限定本发明的适用对象。构成所述多层玻璃或真空容器的玻璃嵌板经过如下所述的工序进行制造。(1)准 备矩形的2片玻璃基板w3、w4。(2)在一个或两个玻璃基板的接合面上，沿外周缘成框状提 供熔融了铟或焊锡等低熔点金属材料的熔融金属，形成接合部。(3)确定位置使得玻璃基板 w3、w4的接合面彼此相对。(4)重合玻璃基板w3和w4，通过接合部接合2片玻璃基板w3和 w4。上述O)的熔融金属供给工序所涉及的技术已在专利文献1和非专利文献1中公 开。在专利文献1中公开了，为了在构成图像显示装置的真空容器的前面基板和背面基板 (任何一个都是玻璃基板)的接合面上形成由直接或间接接合的该前面基板和背面基板的 金属密封材料(在本说明书中相当于低熔点金属材料)所构成的接合部件，而在向该接合 面施加超声波的同时涂布熔融金属密封材料的装置。另外，在非专利文献1中公开了以&1、 Al,Si,Ti等易氧化元素提高I^b-Sn系焊锡和玻璃基板的接合性为着眼点，使用含有这些易 氧化元素的1种以上的I^b-Sn系焊锡作为接合材料，直接接合玻璃基板等具有氧化表面的 被接合体的技术，以及通过向熔融焊锡和玻璃基板的接触界面上施加超声波振动除去存在 于该接触界面上的气泡，改善焊锡与玻璃基板的接合性的超声波焊接技术。这样在玻璃基板上涂布熔融的低熔点金属材料(以下没有特别事先限定在本说 明书中将“熔融的低熔点金属材料”称为“熔融金属”)时施加超声波时，就通过超声波除去 在玻璃基板的表面上存在的气泡或异物，具有提高玻璃基板与接合部件的接合界面的接合 性的优点。但是，一般金属材料无论是固相还是液相在大气中都容易发生氧化，在表面产生 氧化物。此时在大气中保管的固相低熔点金属材料也同样，熔融该材料形成接合部时，在其 表面上生成的氧化物直接存在于接合部与玻璃基板的接合面之间，或混入到熔融金属中。 并且，混入的氧化物成为玻璃基板与接合部的界面缺陷及接合部的内部缺陷的起因，导致 接合部的气密性、玻璃基板与接合部的界面强度以及接合部本身的强度等变差的问题。尤其是，如专利文献1和非专利文献1所涉及的技术，在利用超声波振动形成接合部件的情况 下，由于混入到熔融金属中的氧化物被超声波振动所搅拌，所以上述问题显著地暴露出来。在专利文献2、3中记载了解决上述问题的例子。在专利文献2中公开了下述结 构，为了提供能够抑制金属材料氧化物的产生，稳定地进行金属材料与板玻璃的接合以及 采用此法的气密密封的玻璃嵌板的制造方法，通过在隔着间隙上下相对设置一对板玻璃的 同时，从储存的熔融金属材料表面所接触的气氛为惰性气体气氛状态的储存部，向外周间 隙中供给并填充熔融金属材料，从而接合板玻璃之间，气密地密封间隙。在专利文献3中公开了以下结构，为了提供一种填充熔融的金属密封材料，尽管 是在大气中进行的，仍可通过抑制金属密封材料表面上生成氧化膜，实现提高金属密封材 料的密封面的浸润性，可以完全密封的图像显示装置的制造方法和密封材料填充装置，该 装置具有支撑台，其对具有密封面的被密封物进行定位和支撑；密闭的储存部，储留储存 熔融的金属密封材料；管嘴，其将从储存部送来的熔融金属密封材料填充到上述密封面上； 填充头，其具有向管嘴的前端面和其周边提供稳定气体从而形成稳定气体气氛的气体供给
直ο与上述工序O)中相关的其他技术在专利文献4中公开了。在专利文献4中公开 了，在使用金属供给筒的熔融焊锡的填充方法中，即使在一对板玻璃的间隙尺寸小的情况 下，为了抑制熔融焊锡的漏出并可靠地填充外周间隙，而将排出口与板玻璃的端面之间形 成的间隙的距离设定为板玻璃的间隙尺寸的10倍以下的熔融焊锡的填充方法，其中金属 供给筒包括排出口，排出储存的熔融金属材料(熔融焊锡)；导入板，设置在排出口的中央 部，将熔融焊锡从排出口导入到外周间隙。根据这样的专利文献4的填充方法，即使在板玻 璃的间隙小的情况下，也可以抑制熔融焊锡扩展到预定之外的范围内，同时可以向外周间 隙中填充熔融焊锡。专利文献5中公开了与上述工序( 相关的另一种技术。在专利文献5中记载了 一种玻璃嵌板的制造方法，在一对玻璃板之间设置垫片从而形成间隙，将熔融的单一金属 材料填充到间隙的边缘部上从而直接接合一对玻璃板和金属材料，气密密封间隙。在该方 法中，为了向一对玻璃板的外周间隙中供给熔融的金属材料，将导入熔融金属材料的板状 或棒状导向件的至少一部分插入到外周间隙中。并且，在专利文献5中记载了，在狭窄的外周间隙的情况下，困难的金属材料的导 入可在上述导向件的促进下而变得容易，而且导入速度变快，所以金属材料与玻璃基板的 直接接合容易形成。另外，记载了通过根据外周间隙适当设定上述导向件的大小和形状，从 而能够向外周间隙中可靠地填充熔融金属材料。而且在专利文献5中还记载了一种玻璃嵌板的制造方法，在一对玻璃板的大小彼 此不同、一个玻璃板的端部边缘超出另一个玻璃板的端部边缘而突出的玻璃嵌板的制造方 法中，通过使熔融锡焊利用毛细管现象从一个玻璃板的突出部分向外周间隙浸透，将熔融 焊锡填充到外周间隙中。在专利文献5中记载了，毛细管现象是通过向熔融焊锡或玻璃板 的至少一个施加振动，从而使熔融焊锡向玻璃板的浸润性提高而产生的。除此之外，专利文献5的实施例14中记载了具体的焊锡供给装置。该焊锡供给装 置构成为，向准备与金属材料接合的主面之间形成0. 2mm的间隙这样设置的2片玻璃板的 外周间隙中，通过内径3mm的导管从焊锡熔融槽通过自重送入熔融焊锡，将安装在导管前端厚度为0. 15mm的金属板状导向件从外周间隙中插入约5mm，沿玻璃板的外周边缘向外周 间隙中填充熔融焊锡。并且，记载了通过该焊锡供给装置，利用熔融焊锡实施的外周间隙的 密封宽度是从玻璃板的外周边缘约5mm，密封测试、传热系数测定、铅溶出试验、氧含有率的 测定结果没有问题。现有技术文献专利文献专利文献1 特开2002-184313号公报专利文献2 特开2002-255591号公报专利文献3 特开2005-331673号公报专利文献4 特开2002-167245号公报专利文献5 :W000/58234号公报非专利文献非专利文献1 日经电子，1976. 10. 18发行，92页-113页

发明内容
发明要解决的问题[第1问题]上述专利文献2、3中记载的技术都是在非氧化气氛中对熔融金属进行动作的，具 有下述优点能够抑制低熔点金属材料的熔融过程和熔融金属的供给过程中氧化物的生 成，进而能够抑制由这些过程中产生的氧化物引起的缺陷的生成。但是，已经存在于固相低 熔点金属材料表面上的氧化物即使如专利文献2、3中的技术那样在非氧化气氛中进行动 作，也难以完全将其除去，由于混入到熔融金属中，所以不能完全消除专利文献1以及非专 利文献1所担忧的问题。而且，上述非专利文献1中所例示的是一种折中方案，一方面，在将 含有易氧化元素的结合材料直接结合到具有氧化表面的被接合体上的情况下，为了确保氧 化表面与接合材料之间的接合性，需要存在规定量的氧；另一方面，该氧使熔融的接合材料 进一步氧化，其结果是产生了在接合材料与被接合体之间产生氧化膜从而损害接合性。该 问题不能通过在非氧化气氛中进行各种动作的专利文献2、3的技术来解决。本发明的第1目的是通过比现有技术所涉及的结构更简单的结构，提供能够抑制 在熔融并供给固相的低熔点金属材料时氧化物混入到熔融金属中的熔融金属的供给筒、通 过使用该供给筒而在抑制氧化物的混入的同时供给熔融金属的熔融金属的供给装置和供 给方法。[第2问题]本发明正是鉴于上述专利文献4、5中记载的现有技术而提出来的，第2目的是提 供在向彼此主面隔着间隙设置的一对被接合材料即板状体的外周间隙中供给熔融金属时， 对现有技术进行了改进的熔融金属的供给筒、内置了该供给筒的熔融金属的供给装置以及 熔融金属的供给方法。[第3问题]通过向一对板玻璃的外周间隙中填充熔融焊锡而形成接合部时，如专利文献4中 所记载的，需要事先将熔融焊锡的排出口与板玻璃的端面隔开一定的距离。在该情况下，由于能够从排出口与板玻璃的端面间形成的间隙中充满的状态下填充熔融焊锡，所以熔融 焊锡从该间隙漏出，如图51(b)所示，不仅在板玻璃w3、w4的外周间隙中填充了熔融焊锡， 而且在板玻璃w3、w4的端面上熔融焊锡nl也形成附着状态。从该排出口与板玻璃的端面 间形成的间隙漏出的熔融焊锡量增加时，附着到端面上的熔融焊锡nl高高隆起，严重情况 下有时会从板玻璃w4的端面流下。这样的玻璃嵌板不仅外观不好，而且恐怕会损害其安装 性。另外，泄漏到承载板玻璃的部件的承载面上的熔融焊锡落下时，会产生该熔融焊锡污染 玻璃板《4的本该洁净的表面这样的质量问题、向承载部件上承载下一块板玻璃w4的情况 下高度方向的定位精度变差这样的批量生产方面的问题。该问题可以通过实现熔融焊锡的排出口与板玻璃的端面间形成的间隙恰当化、或 者熔融焊锡的供给量的恰当化来解决，但是一个一个地确定具有各种各样形态的玻璃嵌板 的恰当的条件在批量生产时非常困难，成本变高。本发明的第3目的是提供在向彼此主面隔着间隙设置的一对被接合材料即板状 体的外周间隙中供给熔融金属时，熔融金属难以附着到板状体的端面上的熔融金属的供给 筒、内置了该供给筒的熔融金属的供给装置以及熔融金属的供给方法。[第4问题]除了上述第3问题，如图51(d)所示在一对玻璃板的大小彼此不同、一个玻璃板的 端部边缘超出另一个玻璃板的端部边缘而突出的情况下，采用利用专利文献5中记载的毛 细管现象将熔融焊锡导入到外周间隙中的方法时，熔融焊锡从板玻璃w4的端面流下的担 心少了，但是如图51(d)所示，出现熔融焊锡π2大量漏出到玻璃板w4的突出部分的状态。 而且，如专利文献5的实施例1中所记载的，接合部η的宽度为2. 5-4mm时存在接合宽度不 稳定的问题。本发明的第4目的是提供在向彼此的主面隔着间隙设置的一对被接合材料即板 状体的外周间隙中供给熔融金属时，熔融金属难以附着到板状体的端面上的熔融金属的供 给筒、内置了该供给筒的熔融金属的供给装置以及熔融金属的供给方法，特别是在一对玻 璃板的大小彼此不同、一个玻璃板的端部边缘超出另一个玻璃板的端部边缘而突出的情况 下，熔融金属难以漏出到突出部分，能够向外周间隙中以一定的宽度稳定地供给熔融金属 的熔融金属的供给筒、内置了该供给筒的熔融金属的供给装置以及熔融金属的供给方法。[第5问题]在将专利文献5中记载的导向件插入到外周间隙中来填充熔融金属材料的情况 下，通过使熔融金属材料在导向件与玻璃基板之间形成的间隙中流动填充到外周间隙中。 但是，导向件与玻璃基板之间的间隙变小时流体阻力变大，流过该间隙的熔融焊锡变得难 以到达导向件的前端。此外，由于导向件在相对于供给熔融金属材料的方向垂直的方向上 移动，所以在导向件与玻璃基板的间隙内流过的熔融焊锡的量变得比前端还少。由此，在外 周间隙特别狭小化的情况下，以一定的宽度稳定地将熔融金属材料供给到外周间隙中变得 困难。再有，本发明者获得了以下见解，即在使导向件移动的情况下，按熔融焊锡随着导 向件移动的程度，将导向件与玻璃基板的间隙狭小化，接合部与玻璃板的接合强度会提高， 该间隙的大小具体为0. 01-0. 005mm左右。但是，使用专利文献5中的导向件使其与玻璃基 板的间隙为0.01-0. 005mm左右时，存在到达导向件的前端的熔融焊锡量少，另外其宽度也不稳定的问题。此外，由于熔融焊锡的供给不足，还产生了玻璃基板与接合部的接合界面上 呈线状或点状空孔缺陷使接合强度降低的问题。本发明的第5目的是提供在向彼此主面隔着间隙设置的一对被接合材料即板状 体的外周间隙中供给熔融金属时，能够以一定的宽度向外周间隙中稳定地供给熔融金属的 熔融金属的供给筒、内置了该供给筒的熔融金属的供给装置以及熔融金属的供给方法。解决问题的手段(1)实现上述第1目的的权利要求1中记载的熔融金属供给筒是熔融并供给固相 低熔点金属材料的熔融金属供给筒，其特征在于具有熔融部，其与所述低熔点金属材料直 接或间接接触生成熔融金属；大致管状的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的 第1开口以及在另一端具有第2开口，并使所述熔融部生成的熔融金属流过；在所述低熔点 金属材料在被所述熔融部熔融以前/时，通过氧化物除去部除去所述低熔点金属材料表层 的氧化物。上述⑴的供给筒起到以下的作用。S卩，固相低熔点金属材料通过与熔融部接触 而熔融生成熔融金属，该熔融金属从第1开口流入流过流通通路从第2开口流出。其中，由 于流通通路除第1开口和第2开口以外被密闭，所以供给过程中熔融金属不与大气接触，从 而抑制了氧化物的生成，避免氧化物混入到熔融金属中。而且，由于低熔点金属材料是在其 表层的氧化物被氧化物除去部除去了之后在熔融部中被熔融的，所以阻止了附着到低熔点 金属材料表面上的氧化物进入到流通通路内。再有，本说明书中的“低熔点金属”指的是例 如可用Sn、In, Zn, Ga等例示的在大概400°C以下的较低温度下熔融的金属。(2)在上述⑴的供给筒中，要想防止在除去了氧化物的低熔点金属材料的表面 上再次生成氧化物，最好是氧化物除去部与熔融部邻近设置，最好是将氧化物除去部与熔 融部一体设置，在低熔点金属材料熔融时除去低熔点金属材料的表层氧化物这的结构。(3)具体地说，在上述O)的供给筒中，第1开口最好在氧化物除去部中开口，该 第1开口的面积小于低熔点金属材料与熔融部接触的面积。通过使第1开口的面积小于低 熔点金属材料与熔融部接触的面积，低熔点金属材料以阻塞该第1开口的方式与熔融部接 触，可使附着到低熔点金属材料表面上的氧化物在第1开口的外周边缘部上被除去，阻止 氧化物进入到流通通路中。(4)为了避免已被阻止进入流通通路中的氧化物通过移动而再次进入流通通路 中，最好在上述( 或C3)的供给筒的第1开口的周围设置氧化物捕捉部，捕捉氧化物使氧 化物不发生移动。(5)在上述⑵或(3)的供给筒中，被阻止进入流通通路中的氧化物堆积在第1开 口周围的非开口部，为了避免其再次进入流通通路，最好具有从第1开口的周围排出氧化 物的氧化物排出部。(6)在上述(1)的供给筒中，最好具有以下构成氧化物除去部另外单独设置，在 低熔点金属材料的熔融前除去低熔点金属材料表层的氧化物。(7)在上述(6)的供给筒中，氧化物除去部可以包括除去低熔点金属材料表层的 刃部、(8)等离子体照射装置、或者(9)喷砂装置。(10)在上述(1)的供给筒中，为了稳定而又顺滑地供给熔融金属，最好对流通通 路的表面进行提高与熔融金属的浸润性的处理。作为该处理，在例如利用焊锡作为低熔点金属的情况下，可以采用通过电镀法、CVD、PVD或溅射法等形成Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti
等金属层的处理。(11)在上述(1)的供给筒中，为了防止熔融金属的污染，最好对流通通路的表面 进行对熔融金属的防溶蚀处理，以防流通通路表面被流通的熔融金属溶蚀后成为杂质混入 熔融焊锡Ml中。作为该处理，在例如用钢等构成供给筒的情况下，可以采用对流通通路的 表面实施氮化处理、或者对流通通路的表面进行例如TiN等陶瓷的覆盖处理的装置。(12)在上述⑴的供给筒中，为了将从第2开口流出的熔融金属稳定地供给到工 件上，最好具有对由熔融部生成的、从第2开口排出的熔融金属进行导向的导向部。再有，从使熔融金属的供给宽度稳定化的角度出发，最好将导向部安装在流出熔 融金属的供给筒的第2开口上，将所需量的熔融金属可靠地供给到外周间隙中。而且，如在 下述实施方式中详细说明的，在规定的情况下可抑制从第2开口向外周间隙中供给时氧化 物混入到熔融金属中。(13)在上述(12)的供给筒中，在向板状部件的表面或2片板状部件的间隙中供给 熔融金属的情况下，导向部最好大致呈平板状。(14)在上述(1 的供给筒中，在向工件上形成的空孔中供给熔融金属的情况下， 导向部最好大致呈柱状或大致呈筒状。(15)在上述(12)至(14)的供给筒中，为了使导向部顺滑地引导熔融金属而不间 隙地向工件供给，导向部最好呈前端细的形状。(16)在上述(12)至(14)的供给筒中，为了使导向部顺滑地引导熔融金属而不间 隙地向工件供给，最好在导向部内形成熔融金属的导向槽。(17)在上述(1 至(14)的供给筒中，为了除去工件表面上的气泡或异物，提高工 件表面的活性从而提高熔融金属对工件表面的浸润性，最好在导向部上形成与供给熔融金 属的被供给面相接触的接触面。(18)在向彼此的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间隙中供给熔融金属的 上述(1 的供给筒中，为了实现上述第2目的，导向部最好具有镘刀部，其具有与一个板 状体的主面隔着第1间隙相对的第1平面和与另一个板状体的主面隔着第2间隙相对的第 2平面，同时具有可以插入到一对板状体的外周间隙中的结构；第一接触部，其从镘刀部的 第1平面突起可与一个板状体的主面接触；和/或第2接触部，其从镘刀部的第2平面突起 可与另一个板状体的主面接触。若采用该(18)的供给筒，供给到一对板状体的外周间隙中的熔融金属通过插入 到该外周间隙中并沿该一对板状体的外周缘移动的导向部的镘刀部即可供给到外周间隙 中。在该熔融金属的供给动作中，导入到在板状体的各个主面与镘刀部的第1平面以及第2 平面之间设定的第1间隙以及第2间隙中的熔融金属，通过镘刀部沿板状体的外周缘的移 动，涂布到被镘刀部按压的板状体的各个主面上。由于通过该涂布动作施加了流动性的熔 融金属，在促进主面的活性从而提高熔融金属与主面的浸润性的同时，除去了存在于熔融 金属与主面的接触界面上的气泡或异物，所以能够提高被接合材料即板状体与接合部的接 合质量。此外，在导向部上设置的第1接触部从镘刀部的第1平面突起，具有可与一个板状 体的主面接触的结构，第2接触部从镘刀部的第2平面突起具有可与另一个板状体的主面接触的结构。因此，在上述供给动作中，即使在由于例如确定一对板状体的位置的机构或使 导向部移动的机构的动作精度的问题使得在外周间隙的厚度方向上镘刀部相对移动的情 况下，通过使接触部接触板状体的主面，也能够避免镘刀部与主面直接接触，其结果是可防 止主面的损伤，能够提高板状体与接合部的接合质量。再有，可以在导向部内仅设置第1接 触部或第2接触部，也可以同时设置二者，其选择如上述例示的那样，可由用来使导向部动 作的外围设备的动作精度或由板状体的组合所产生的外周间隙的尺寸精度等确定。再有，在(18)的供给筒中，优选上述(16)的导向槽最好在接触部上形成。下面 说明其理由。即，作为向外周间隙中供给熔融金属的方式，可以采用下述构成例如在沿一 对板状体的外周缘移动的导向部的移动方向上，在导向部的前方向外周间隙中供给熔融金 属，随后移动来的镘刀部被供给的熔融焊锡所浸渍。但是，在采用该结构的情况下，由于在 镘刀部被浸渍之前熔融金属流入到外周间隙中，所以熔融金属的供给压力的改变或熔融金 属与板状体的浸润性的不均使得难以以一定的宽度供给熔融金属，有可能形成的接合部的 宽度变得不均勻。另外，还存在在外周间隙变得狭窄时变得不能充分地提供熔融焊锡的情 况。另一方面，在上述优选方式中，通过在接触部中形成的导向槽熔融金属直接顺滑地流入 到镘刀部中，而且与镘刀部的浸润使得熔融金属浸润范围固定在镘刀部的一定范围内，从 而可以以一定的宽度供给熔融金属，并且可以使接合部的宽度更加均勻。而且，如下面所详 细说明的，在规定的情况下，能够起到抑制供给到外周间隙中的熔融金属的表面上产生的 氧化物的夹渣、提高接合部与板状体的接合质量的效果。(19)在上述(18)的供给筒中，最好采用以下构成在将导向部插入到外周间隙中 时，第1接触部与一个板状体的主面接触，并且第2接触部与另一个板状体的主面接触。若 采用该优选结构，由于第1接触部和第2接触部与一对板状体的各个主面一直保持接触，所 以该第1接触部和第2接触部使得导向部成为嵌入到外周间隙中的状态。从而，将镘刀部 的第1平面与一个板状体的主面的第1间隙的量由第1接触部的突起量来规范，第2平面 与另一个板状体的主面的第2间隙的量由第2接触部的突起量来规范。由此，由于在上述 供给动作期间，板状体的各个主面与镘刀部的第1间隙以及第2间隙的量一直保持恒定，从 而可一直在相同的状态下将熔融金属涂布到主面上，所以能够实现接合部与板状体的接合 强度的均勻化，提高接合质量。(20)在上述(18)的供给筒中，为了在防止随着导向部的移动板状体与接触部的 滑动所产生的板状体的损伤的同时，使接触部的滑动顺利，最好对接触部的与板状体主面 的接触面进行提高与板状体的滑动性的处理。(21)另外，出于相同的目的，最好在接触部上形成沿插入到导向部的外周间隙中 的方向的凹部，从而减少与板状体的接触面积。(22)在上述(18)的供给筒中，在板状体的各主面上形成的接合部的内周部上已 形成布线图形等的情况下，为了防止接触部的接触对布线图形等的损伤，最好将接触部设 置在导向部的向外周间隙插入方向的后端一侧。(23)另外，在板状体的各主面上形成的接合部的外周部上形成布线图形等的情况 下，最好将接触部设置在导向部的向外周间隙插入方向上的前端一侧。再有，如下述所详细 说明的，在规定的情况下，由设置在前端侧的接触部规范熔融金属的流动，从而可取得能够 以高精度规范接合部宽度的效果。
(24)在上述(18)的供给筒中，最好接触部具有能够在外周间隙的厚度方向上弯 曲的弹性。若采用该优选方式能够取得下面的作用，S卩，例如在不能充分确保组装精度而使 板状体的外周间隙弯曲的情况下，或者呈直线状形成外周间隙但是不能充分确保板状体的 移动机构的行走精度，使得在外周间隙的厚度方向上位置改变的同时导向部相对非水平地 移动的情况下等，有时由于导向部的行走路径与外周间隙的平行度低，所以在上述填充动 作中出现板状体与导向部接触的状态。但是，若采用上述结构，板状体首先与第1以及第2 接触部接触，沿外周间隙的厚度方向以规定的力按压第1以及第2接触部。由于被按压的 第1以及第2接触部通过其弹性发生弯曲，所以随着厚度方向上外周间隙的位置改变导向 部上下移动。其结果是，即使出现上述状态，也能够在防止镘刀部与板状体的接触的同时， 稳定地将熔融金属填充到外周间隙中。(25)在向彼此的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间隙中供给熔融金属的 上述(12)的供给筒中，为了实现上述第3目的，将导向部安装为横穿第2开口，在被该导向 部分成上侧排出口和下侧排出口的第2开口中，从下侧排出口排出的熔融金属的量最好比 从上侧排出口排出的熔融金属的量少。由此由于能够减少暴露呈向下方开放状态的熔融金 属的量，所以能够防止板状体的端面上熔融金属的隆起或下垂。(26)在上述05)的供给筒中，下侧排出口的面积最好比上侧排出口的面积小。(27)在上述05)的供给筒中，将导向部从第2开口插入到流路内规定的深度， 在被该导向部分成上侧流路和下侧流路的流路中，下侧流路的容积最好比上侧流路的容积 小。(28)在上述05)的供给筒中，最好在从第2开口的中心向下偏置状态下将导向部 插入到流通通路中。(29)在上述05)的供给筒中，导向部横穿第2开口的中心附近插入到流通通路 中，最好在流通通路的比导向部靠下侧的排出口形成面上，安装使下侧排出口的面积比上 侧排出口的面积小的挡板。(30)在上述05)的供给筒中，导向部横穿第2开口的中心附近插入到流通通路 中，最好在流通通路的下侧流路内形成使下侧流路的容积比上侧流路的容积小的挡板。(31)在向彼此的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间隙中供给熔融金属的 上述(12)的供给筒中，为了实现上述第4目的，导向部最好安装在第2开口的下部或者比 第2开口更低处，从而使从该第2开口排出的熔融金属从导向部的上面流出。这样，由于从 第2开口排出的熔融金属仅从导向部的上面流出而不沿下面流动，所以即使是设置的一对 板状体下侧呈突出的状态，熔融金属也几乎不会泄漏到突出部而附着到突出部分上。另外， 即使在两端一致的一对板状体中，暴露在向下方开放的状态中的熔融金属的量少，也能够 防止板状体的端面上熔融金属的隆起或下垂。(32)而且，在上述(31)的供给筒中，最好在导向部的前端部上形成将熔融金属从 上面引导到下面一侧的贯通部。(33)在上述(31)的供给筒中，导向部最好具有与前端部相连的倾斜部，前端部与 倾斜部是成钝角或直角的弯曲形状。(34)在上述(31)的供给筒中，导向部最好具有与前端部相连的倾斜部和与倾斜部相连的基端部，前端部与基端部平行或成钝角，2个部位呈弯曲的阶梯状形状。(35)在上述(31)的供给筒中，最好具有在轴向上从第2开口一侧以规定长度切割 含有流通通路下部的切除面，安装导向部使其上表面与该切除面接触，在被切割的流通通 路向导向部的下面侧露出的情况下，安装密封间隙的部件。(36)在上述(31)的供给筒中，最好具有从第2开口一侧的轴向上流通通路不向规 定长度范围的下部露出的平面部，安装导向部使上表面与该平面部接触。(37)在上述(31)的供给筒中，最好使一对板状材料中下侧板状材料的端部边缘 超出上侧的板状材料的端部边缘而突出地上下设置。(38)在向彼此的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间隙中供给熔融金属的 上述(1 的供给筒中，为了实现上述第5目的，熔融金属的供给筒最好具有以下特征在导 向部内，朝着该导向部的移动方向的侧部的前端上形成切除部。通过上述结构，能够使熔融金属的一部分从导向部的主面上进入到切除部的侧面 上，沿该侧面流到导向部的前端，由于沿侧面流动的熔融金属是在到达导向部的前端之后 沿前端流动的，所以能够通过前端的边缘规范位置，能够稳定地得到由导向部的长度所限 定的规定宽度的接合部。另外，由于在导向部的前端侧上熔融金属的流量增加，所以能够提 高接合部与板状体的接合强度。(39)再有，在上述(38)的供给筒中，切除部最好具有相对于导向部的移动方向向 后方倾斜的面。(40)在上述(38)的供给筒中，切除部最好具有相对于导向部的移动方向向后方 倾斜的面；和与该倾斜面顺滑连结的与导向部的移动方向大致平行的面。(41)在上述(38)的供给筒中，切除部最好具有相对于导向部的移动方向向后方 倾斜的面；和与该倾斜面顺滑连结的与导向部的移动方向大致垂直的面。(42)在上述(38)的供给筒中，切除部最好以直线或曲线或它们的组合来形成。(43)在上述(12)至02)的供给筒中，最好对导向部的与熔融金属接触的面进行 提高与熔融金属的浸润性的处理。(44)实现上述第1目的的权利要求44中记载的熔融金属的供给装置的特征在于 具有上述(1)至^幻中任何一项中记载的熔融金属的供给筒。(45)再有，在上述04)的供给装置中，供给筒最好被浮动机构间接地或直接地支 撑。若采用该优选方式的供给装置，由于涂布熔融金属的工件形状的偏差或供给筒的姿势 的偏差等被浮动机构所吸收，所以可以稳定地向工件上涂布熔融金属。(46)实现上述第1目的的权利要求46中记载的熔融金属的供给装置是内置了上 述(1)至(11)中任何一个的熔融金属的供给筒的熔融金属的供给装置，其特征在于具有 板状体设置装置，将一对板状体设置成形成了规定的间隙的状态；和供给筒定位装置，将供 给筒定位成第2开口与间隙大致连接的状态。(47)该方式的供给装置在以2片矩形的玻璃基板作为板状体的情况为例进行说 明时取得了下面的作用。首先，通过板状体设置装置将2片玻璃基板设置成形成规定间隙 的状态。接下来，通过供给筒定位装置确定上述供给筒的位置使其第2开口与间隙大致连 接。然后，通过供给筒的第2开口向2片玻璃基板的间隙中供给熔融金属。其中，如上所述 由于供给筒的第2开口被设置成与2片玻璃基板的间隙大致连接的状态，所以通过第2开口供给的熔融金属不与大气接触就充满了间隙，抑制了熔融金属供给过程中的氧化。上述 “第2开口与间隙大致连接的状态”意味着不仅第2开口与间隙密接的状态，而且即使在第 2开口与2片玻璃基板的端面(相对于间隙垂直的面)之间产生空隙而使第2开口与间隙 不完全密接的状态下，从第2开口流出的熔融金属也不从该间隙漏出的程度的状态也包含 在本发明的范围内。(47)实现上述第2-第5目的的任何一个的权利要求47中记载的熔融金属的供 给装置是内置了上述(1 至^幻中任何一个的熔融金属的供给筒的熔融金属的供给装 置，其特征在于具有板状体设置装置，将一对板状体设置成形成了规定间隙的状态；供给 筒定位装置，将导向部插入到在一对板状体之间形成的间隙中。若采用该供给装置，能够通 过导向部向板状体之间的间隙顺滑地供给熔融金属。(48)再有，在上述06)或07)的供给装置中，第2开口最好具有超过外周间隙 的厚度的口径。若与上述相同以玻璃基板为例说明该方式的供给装置的作用，通过第2开 口供给的熔融金属不仅被供给到玻璃基板之间的间隙中，还涂布到间隙以外的部分，即第2 开口所包含的2片玻璃基板的端面(相对于间隙垂直的面)上。因此，在供给到间隙中的 熔融金属的外侧上还形成了由熔融金属所构成的毛边部。因此，该毛边部成为对大气的阻 挡层，从而产生了抑制已经供给到间隙中的熔融金属与大气接触而发生氧化的效果。另外， 若采用该结构，还可使熔融金属还附着到一对板状体的外周端面上，其结果是能够形成具 有覆盖外周端面的密封功能的接合部，适用于对于接合部要求耐泄漏性的情况。(49)在上述06)或07)的供给装置中，在从例如玻璃嵌板的安装性或美观性方 面出发不希望在外周端面上形成密封部的情况下，第2开口最好具有小于等于外周间隙的 厚度的口径。(50)在上述06)或07)的供给装置中，从与G5)的供给装置的浮动机构同样的 观点出发，导向部最好由浮动机构间接地或直接地支撑。(51)在(50)的供给装置中，浮动机构最好采用在与一对板状体所形成的间隙相 平行的面内限制导向部的移动的结构。若采用该优选方式，导向部是靠与一对板状体所形成的间隙相平行的面内限制导 向部的移动的浮动机构来支撑的，换言之导向部能够沿外周间隙的厚度方向或者导向部的 插入轴周围移动。其结果是即使在板状体的外周间隙的位置发生了改变的情况下，由于浮 动机构使导向部随着其改变在厚度方向上上下移动，因而能够维持板状体的各主面与镘刀 部形成的间隙，能够稳定地向外周间隙中填充熔融金属。(52)在上述06)或07)的供给装置中，为了通过提高通过导向部供给到间隙中 的熔融金属与板状体的浸润性从而提高接合可靠性，优选除去存在于熔融金属与板状体的 界面上的气泡或杂质，优选具有向熔融金属与板状体的界面上施加超声波的超声波施加装置。(53)实现上述第1目的的权利要求53中记载的熔融金属的供给方法是由上述 (1)至(11)中任何一个的熔融金属的供给筒供给熔融金属的方法，其特征在于，包括板状 体设置工序，将一对板状体设置成形成规定间隙的状态；供给筒定位工序，将供给筒的位置 确定为第2开口与间隙大致连接的状态；熔融金属供给工序，通过第2开口将熔融金属供给 到间隙中。
若以2片矩形玻璃基板作为板状体的情况为例说明该方式的供给方法，具有以下 作用。首先，2片玻璃基板在板状体设置工序中被设置成形成了规定间隙的状态。接下来，在 供给筒定位工序中将上述供给筒的位置确定为其第2开口与间隙大致连接。然后，在熔融 金属供给工序中，通过供给筒的第2开口向2片玻璃基板的间隙中供给熔融金属。其中，如 上所述由于设置成供给筒的第2开口与2片玻璃基板的间隙大致连接的状态，所以通过第 2开口供给的熔融金属不与大气接触就充满了间隙，可抑制熔融金属供给过程中的氧化。(54)实现上述第2 第5目的中任何一个的权利要求M中记载的熔融金属的供 给装置是由上述(1 至^幻中任何一个的熔融金属供给筒供给熔融金属的方法，其特征 在于包括板状体设置工序，将一对板状体设置成形成规定间隙的状态；供给筒定位工序， 将导向部插入到在一对板状体之间形成的间隙中；熔融金属供给工序，通过第2开口将熔 融金属供给到间隙中。若采用该供给方法，能够通过导向部将熔融金属顺利地供给到板状 体之间的间隙中。(55)再有，在上述(53)或(54)的供给方法中，为了提高通过导向部供给到间隙中 的熔融金属与板状体的浸润性从而提高接合可靠性，优选除去存在于熔融金属与板状体的 界面上的气泡或杂质，优选向熔融金属与板状体的界面上施加超声波。发明效果如上述的说明，若采用本发明所涉及的熔融金属供给筒、内置了该供给筒的熔融 金属供给装置和熔融金属供给方法，可以解决本发明的问题。


图1是含有第1-1例的熔融金属供给装置的玻璃嵌板生产线的简要构成图。图2是第1-1例的熔融金属供给装置的主视图和侧视图。图3是图2的局部放大侧视图。图4是图3的局部放大图。图5是图4的氧化物除去部的变形例。图6是图1的焊锡丝送出部的变形例。图7是图1的玻璃嵌板的生产线中含有的玻璃基板的接合装置的主视图和侧视 图。图8是图7的局部放大主视图。图9是第1-2例的熔融金属供给装置的主视图和侧视图。图10是图9的局部放大图。图11是图10的局部放大图。图12是第1-3例的熔融金属供给装置的局部放大主视图。图13是示出图12的供给筒的变形例的图。图14是第2-1例的熔融金属供给装置的局部放大剖面图。图15是图14的支撑部的局部放大剖面图。图16是第2-1例的熔融金属供给装置的主视图和侧视图。图17是图14的供给筒的局部放大示意图。图18是图14的E部的放大剖面图及其侧视图。
图19是示出图14中示出的供给筒的另一变形例的图。图20是示出图14中示出的供给筒的又一种变形例的图。图21是说明图16的供给装置的运行状态的图。图22是说明图16的供给装置的运行状态的另一图。图23是示出图14中示出的供给筒的又一种变形例的图。图M是示出图14中示出的供给筒的另一变形例的图。图25是第2-2例的熔融金属供给装置的局部放大平面图和主视图。图沈是图25的局部放大剖面图。图27是第3-1例的熔融金属供给装置的简要构成图。图观是示出图27的供给筒的结构的剖面图。图四是示出图27的供给筒的结构的立体图。图30是示出在通常状态下由图27的导向部供给熔融焊锡的供给状态的图。图31是第3-2例的熔融金属供给装置的供给筒的局部放大剖面图。图32是示出图31的供给筒的变形例的局部放大剖面图。图33是示出图31的供给筒的其它另一变形例的局部放大剖面图。图34是第4-1例的熔融金属供给装置的简要构成图。图35是示出图34的供给筒的结构的局部放大剖面图。图36是示出图35的导向部的结构及其变形例的示意图。图37是示出图35的导向部的另一变形例的示意图。图38是示出由图35的导向部供给熔融焊锡的状态的图。图39是示出图35的供给筒的另一变形例的示意图。图40是示出第4-2例的熔融金属供给装置的供给筒的示意图。图41是示出第4-3例的熔融金属供给装置的供给筒的示意图。图42是示出图36的导向部中的接触部的变形例的放大剖面图。图43是第5例的熔融金属供给装置的简要构成图。图44是示出图43的供给筒的结构的放大剖面图。图45是示出图43的导向部的结构的示意图。图46是示出由图43的导向部供给熔融焊锡的状态的图。图47是示出图43的导向部中熔融焊锡的流动状态的图。图48是示出图45的导向部的变形例的图。图49是示出图45的导向部中的接触部的变形例的图。图50是示出玻璃嵌板的结构的图。图51是示出另一种玻璃嵌板的结构的图。
具体实施例方式下面参照附图根据实施例说明本申请的发明。在下面的实施例的说明中，以向板 状体即一对玻璃基板的外周间隙中供给熔融的低熔点金属SnAgAl系合金的熔融焊锡、然 后接合作为被接合体的一对玻璃基板、从而制造玻璃嵌板的情况为例进行具体说明。但是， 在将玻璃基板置换为金属基板或陶瓷基板的情况下也能够起到同样的作用、效果。另外，即使在用例如含Sn、Zn、Ti等的各种组成的钎焊锡作为低熔点金属的情况下，也能够起到同 样的作用、效果。而且，本申请的发明不受这些实施例的限定，可以在技术思想方面在与实 施例相同的范围内进行变形实施。[第1方式]首先，根据下述第1-1例、1-2例、1-3例说明在上述(1)中说明的方式的熔融金属 的供给筒、内置了该供给筒的熔融金属供给装置、熔融金属供给方法以及它们的优选方式。[第1-1 例]参照图1 8、50对本发明第1-1例的熔融金属供给筒以及内置了该供给筒的熔 融金属供给装置进行说明。参照图50说明用第1-1例的供给装置制造的玻璃嵌板的结构。图50(a)、(c)中 符号W是用第1-1例的供给装置制造的玻璃嵌板。符号Wl和W2是以尺寸为g的规定间隙 相对配置主面的一对玻璃基板。符号m是接合部，呈框状设置在相对设置的玻璃基板wl和 w2的外周边缘部上，具体地说是比各个玻璃基板的外周边缘稍稍靠近内侧处，与各个玻璃 基板的主面直接接合，形成后述的气密室。此处，如图50(b)、(c)所示，接合部m构成为在 玻璃基板上形成的接合部ml与在玻璃基板w2上形成的接合部m2通过各个玻璃基板的 接合面相对准而接合为一体化的状态。再有，使用与玻璃基板wl和的接合性优异的低 熔点金属即SnAgAl系合金，具体地说是按质量％ Ag为8. 5%、Al为0. 35%、其余为Sn所 构成的合金作为接合部m。并且，玻璃基板wl、w2以及接合部m所隔出的空间构成气密室， 根据玻璃嵌板W的用途，向该气密室中封入真空气氛、规定的气体或液体。而玻璃嵌板的结构不限定于上述结构，例如不排除如图50(d)所示的，接合部m仅 直接与一个玻璃基板接合，通过与熔融的接合部m富有浸润性的基底层u与另一个玻璃 基板接合的方式的玻璃嵌板W、或者如图50 (e)所示的，接合部m仅与一个基板wl直接 接合，通过用来确保玻璃基板wl与w2之间间隙的金属或玻璃等构成的框状部件V以及玻 璃熔块G与另一个玻璃基板w2接合的方式的玻璃嵌板W。S卩，第1-1例的供给装置以及供 给方法能够适用于接合部m与一对玻璃基板wl和w2中的至少一个直接接合的玻璃嵌板W。接下来参照图1对制造上述玻璃嵌板W的生产线进行说明。符号1是含有第1-1 例的供给装置的玻璃嵌板W的生产线，由依次排列的如下部分构成预加载室la，收容玻璃 基板wl和w2并形成规定的气氛；前处理室lb，为了除去表面上附着的杂质或水分等，对玻 璃基板wl和w2实施加热处理、等离子体照射处理等；熔融焊锡供给室lc，内置了第1-1例 的供给装置；接合室ld，将玻璃基板wl和w2接合为玻璃嵌板；冷却室le，冷却玻璃嵌板； 卸载室If，对玻璃嵌板进行出料；以及搬运装置，将在上述各室中处理的玻璃基板wl和w2 搬运到各室中。在该生产线1中，准备好的玻璃基板wl和w2装入到预加载室Ia中，然后 按照前处理室lb、熔融焊锡供给室lc、接合室Id、冷却室le、卸载室If的顺序进行处理，制 造玻璃嵌板W。参照图2 6对组装到上述熔融焊锡供给室Ic中内置的第1-1例的供给装置进 行说明。图2中符号2是供给装置。供给装置2由焊锡丝供给装置加、加热熔融装置3、移 动装置加、包容上述各装置的气密室2k、控制上述各装置的动作的控制装置2p、控制气密 室业气氛的气氛控制装置2s构成。下面以向一个玻璃基板wl供给熔融焊锡的情况为例 对上述各构成要素进行说明。
[焊锡丝供给装置]符号2b是卷绕由SnAgAl系合金构成的线状材料(下面称为焊锡丝)M的筒管状 的焊锡丝送出部，通过未图示的马达等使其旋转定量地送出焊锡丝M。符号2c是具有可插 穿焊锡丝M的导向通路即贯通孔的两端开口的大致呈管状的焊锡丝导向部。在供给装置2 中，使用的是直径2mm左右的焊锡丝M，在初始状态下，卷绕到焊锡丝送出部2b上的焊锡丝 M的前端部分从焊锡丝送出部2b引出，从焊锡丝导向部2c的上方端部开口插入到引导通路 内，设置成从下方端部开口伸出的状态(参照图3)。再有，参照图6对焊锡丝送出部2b的优选例进行说明。图6中示出的焊锡丝送出 部5是在非氧化性气氛中保管焊锡丝M的封装件，由呈线圈状卷绕的焊锡丝M的可旋转的 卷芯5b、收容卷绕在该卷芯恥上的焊锡丝M的中空圆筒形状的箱体fe、在箱体fe的侧面 上形成的孔部5d、嵌合在孔部5d中的引出部件k所构成。并且，在引出部件k上形成比 焊锡丝M的直径小的引出孔，用橡胶等弹性材料形成引出部件k，从引出孔引出焊锡丝M的 自由端时引出孔的内面与焊锡丝M的外周面贴紧，维持封装件即焊锡丝送出部5的收容室 5c的气密性。再有，收容室5c的气氛例如是真空气氛或惰性气氛，而且优选内封了用来将 收容室5c的湿度保持为一定的活性炭等除水剂。图2中的符号2d是通过由加热熔融装置3熔融焊锡丝M所形成的熔融焊锡Ml向 熔融焊锡Ml与玻璃基板wl的主面S的接触界面照射超声波的超声波施加部(参照图3)。 再有，为了装置构成的方便，将供给装置2构成为将超声波施加部2d内置到加热熔融装置 3中，通过加热熔融装置3的供给筒3a施加超声波。[加热熔融装置]加热熔融装置3中的符号3a是向应当形成玻璃基板wl的接合部的表面即主面S 供给熔融焊锡Ml的供给筒。如图3所示，供给筒3a大致呈柱状，用热传导率高的不锈钢形 成芯材，在该芯材的外周面上形成富有与熔融焊锡Ml的浸润性的Cr层，除去供给筒3a的 下端面，又在Cr层上形成与熔融焊锡Ml的浸润性低的Ni层。并且，将供给筒3a设置成第 2开口 3f开口的下端面与玻璃基板wl的主面S相对，向主面S供给熔融焊锡Ml。符号3c 是卷绕在供给筒3a的外周上的加热器，将供给筒3a加热到焊锡丝M的熔点以上的温度。图 2中的符号北是在固定供给筒3a的同时内置了加热器3c的发热电路等的主体部。再有， 如上所述在主体部北中内置了超声波施加部2d的超声波发生装置及控制电路等。如图3所示，在供给筒3a中，在上部(一个端部)设置与焊锡丝M接触从而生成 熔融焊锡Ml的熔融部3g，一个开口(第1开口) 在熔融部3g中开，另一个开口(第2开 口)3f在下端面(另一个端面)开。并且在其内部设置第1开口 :3e以及第2开口 3f以外 被密闭的大致呈圆管状的流通通路3d。从而，通过熔融部3g生成的熔融焊锡Ml从熔融焊 锡Ml的导入口即第1开口 :3e流入到流通通路3d，通过流通通路3d流向下方，从排出口即 第2开口 3f流出，供给到玻璃基板wl的主面S。作为用来使熔融焊锡Ml顺利流动到熔融 部3g以及流通通路3d中的优选结构，在其表面上形成有提高与熔融焊锡Ml的浸润性的Cr 层。再有，代替0层也可以设置由41^0、1、￥、恥、1^构成的层。而且，对本例的流通通路 3d实施作为防溶蚀处理的氮化处理，以防其表面被熔融焊锡Ml溶蚀从而作为杂质混入到 熔融焊锡Ml中，上述Cr层是在氮化处理后的表面上形成的。再有，上述提高浸润性的处理 以及防溶蚀处理可以根据作为对象的熔融金属适当选择。
更详细地对熔融部3g进行说明。如图4(a)所示，熔融部3g在供给筒3a的上部侧 面上为凹状，在其底部上圆环状的氧化物除去部4与熔融部3g —体设置。再有，在图4(a) 中为了便于理解在氧化物除去部4的部分上附加交叉影线来表示，但是氧化物除去部4与 熔融部3g不是拼接的而是一体形成的。并且，第1开口 !Be向该氧化物除去部4的上面(熔 融部3g的底面)即焊锡丝M接触而熔融的熔融面3j开口。该第1开口 !Be的直径Φ2小 于与熔融面3j接触的焊锡丝M的端面的直径Φ1。此处，焊锡丝导向部2c以其下方端部朝向向熔融面3j开口的氧化物除去部4的 第1开口 3e的姿势，定位固定于移动装置加的固定部件2j(参照图2)上。并且，在供给 装置2运行时，从焊锡丝送出部2b定量送出的焊锡丝M被焊锡丝导向部2c的引导通路引 导，从下方端部的开口排出，其端面成闭塞第1开口 :3e的姿势与熔融面3j接触。再有，加 热熔融装置3定位固定在移动装置2e的固定部件2j上，使得可以保持从焊锡丝导向部2c 排出的焊锡丝M与熔融部3g的上述位置关系(参照图2)。若采用上述加热熔融装置3的结构，从焊锡丝导向部2c的下方端部的开口排出的 焊锡丝M与被加热器3c加热的熔融面3j接触而熔融，形成熔融焊锡Ml。其中，如图4(a) 所示，焊锡丝M与熔融面3j接触而熔融，以使其端面闭塞形成为比其直径Φ 1小的直径Φ2 的氧化物除去部4的第1开口 !Be的形态形成熔融焊锡Ml。在该熔融焊锡Ml的表面上存 在在焊锡丝M的外周面上生成的氧化物El流入到熔融部3g的氧化物E2或熔融时生成的 氧化物E2。但是，该氧化物E2与不含氧化物的中心部分的纯净的熔融焊锡Ml在氧化物除 去部4的第1开口 !Be的外周缘部分被分离，氧化物E2被除去。因而，可用第1开口 ；^的 外周缘部即熔融面3j阻止氧化物E2流入到流通通路3d中，只有没有混入氧化物E2的纯 净的熔融焊锡Ml通过第1开口 :3e流入到流通通路3d中。而且，由于从第1开口 !Be到第 2开口 3f的流通通路3d的内部是密闭的非氧化性气氛，所以还抑制了供给过程中熔融焊 锡Ml的氧化的发展。再有，由于在大气中保管的焊锡丝M的表面上生成的氧化物El的层 厚度通常为几十μ m，所以焊锡丝M与第1开口 !Be的直径的差即Φ1-Φ2为Imm左右就足 够了，但是也可以根据供给对象的低熔点金属材料适当确定其尺寸。如上所述被阻止流入到流通通路3d中的氧化物E2被储存在储存部3k中，残留于 第1开口 !Be的周围。为了防止该氧化物E2在储存部3k中流动，再次流入到流通通路3d 中，在本例中，设置为从第1开口 3e的周围排出氧化物E2的氧化物排出部池的优选结构。 该氧化物排出部池具有从熔融面3 j连接到下方的倾斜面3i，构成为储存在第1开口 !Be周 围的氧化物E2从下方流出。从该氧化物排出部池流出的氧化物E2可以通过适当的装置 回收。再有，作为氧化物排出部池，只有能够从第1开口 :3e的周围排出氧化物E2，当然可 以采用例如吸引氧化物E2并排出的结构等其他装置。而且，为了防止在第1开口 !Be的周围残留的氧化物E2发生流动流入到流通通路 3d中，如图4(b)所示可以在熔融面3j上设置氧化物捕捉部3i。图4(b)的氧化物捕捉部 3i是在熔融面3j的表面E形成的多个凹凸，通过用此种凹凸部捕捉氧化物E2可抑制氧化 物E2的流动。再有，通过组合使用上述氧化物排出部池和氧化物捕捉部3i，可以进一步提 高防止残留氧化物E2流入到流通通路3d中的效果。参照图5对氧化物除去部4的变形例进行说明。图5(a)中示出的第1变形例涉 及的氧化物除去部如呈氧化物除去部如与供给筒3a分离设置的方式。即，大致圆环状的氧化物除去部如具有按照比焊锡丝M的直径Φ1小的直径Φ3形成了上部开口的贯通孔 4b，该贯通孔4b的下部开口设置在与流通通路3d的第1开口 3e相对的位置上。并且贯通 孔4b的上部开口的外周边缘形成切削除去焊锡丝M的外周面的刃部。从而，被供给的焊锡 丝M的外周面的氧化物El被比焊锡丝M小径的上部开口的外周缘的刃部除去，被除去了氧 化物El的状态的焊锡丝M被向下方运送，与熔融部3g接触而熔融，不含氧化物的纯净的熔 融焊锡Ml通过第1开口 !Be流入到流通通路3d中。再有，为了使被氧化物除去部如除去 了外周面的氧化物El的焊锡丝M不再生成氧化物，优选从喷嘴如向氧化物除去部如与第 1开口 :3e之间流入惰性气体等，使氧化物除去部如与第1开口 !Be之间成为非氧化性气氛 的结构。图5 (b)是第2变形例涉及的氧化物除去部4d。该氧化物除去部4d是通过等离子 体4e除去氧化物El的例子，具有可插穿焊锡丝M的贯通孔的圆环状的氧化物除去部4d与 未图示的等离子体发生装置连接，结构为从其内面向中心照射等离子体4e的等离子体照 射装置。并且，氧化物除去部4d在可向供给的焊锡丝M的外周面上照射等离子体如的位 置上与供给筒3a分离设置，供给氧化物除去部4d的贯通孔的焊锡丝M的外周面的氧化物 El被等离子体4e除去，除去了氧化物El的焊锡丝M与熔融部3g接触而熔融。图5 (c)是第3变形例涉及的氧化物除去部4f。该氧化物除去部4f是用硬质粒子 4g除去氧化物El的例子。即，氧化物除去部4f具有大致呈圆管状的容器4j，形成了具有 附着了氧化物El的焊锡丝M以紧贴的状态插入的上部开口和除去了氧化物El的焊锡丝M 以紧贴的状态排出的下部开口的贯通孔；流通管4h，具有从该容器4j的右侧面向左侧面贯 通设置的粒子供给通路4i。在该流通管4h的右端例如连接按照规定的流速供给含陶瓷粒 子等硬质粒子4g的气体的硬质粒子供给装置，氧化物除去部4f构成为从流通管4h的右侧 向左侧流通硬质粒子4g的喷砂装置。并且，氧化物除去部4f在可向被供给的焊锡丝M的 外周面上照射硬质粒子4g的位置上与供给筒3a分离设置，向氧化物除去部4f的贯通孔中 供给的焊锡丝M的外周面的氧化物El被硬质粒子4g除去，除去了氧化物El的焊锡丝M与 熔融部3g接触而熔融。再有，一边绕轴心旋转焊锡丝M —边向氧化物除去部4f供给焊锡 丝M的话，能够均勻地除去氧化物E1，所以优选。[移动装置]如图2所示，移动装置2e由下面的部分构成门型的支撑体2f ；升降部2g，固定在 支撑体2f的上边部；水平移动部池，设置在支撑体2f的两侧边部之间，可在相对于纸面垂 直以及水平方向上移动；载物台2i，设置在能以形成接合部ml的主面面向上方的水平姿势 承载玻璃基板wl的水平移动部池上。并且，如上所述焊锡丝导向部2c以及加热熔融装置 3通过固定部件2j与升降部2g的下端部连接。再有，下面如图2(a)所示，将升降部2g的 上下移动方向设为ζ轴方向，将水平移动部池的移动方向即与纸面平行的方向设为X轴方 向，将与X轴以及Z轴同时垂直的方向设为Y轴方向。再有，也可以在载物台2i上设置可加热玻璃基板wl的整个面的板状发热体。通 过该发热体将玻璃基板《1加热到熔融焊锡Ml的熔融温度范围，从而能够防止熔融焊锡Ml 与玻璃基板wl的温度差所产生的应力对玻璃基板wl造成损害，另外由于熔融焊锡Ml与玻 璃基板wl的浸润性会有所提高，所以能够提高接合部ml与玻璃基板wl的接合性。[控制装置]
如图2所示，控制装置2p由通过电通信线路2q与供给装置2的上述各构成元件 连接的控制部2r构成，控制各构成元件的动作。具体地说，控制部2r由计算机构成，具体 构成为通过运算部读出其存储部(存储器)中存储的运行程序以及指令数据进行适当运 算，从而对内置于焊锡丝送出部2b中的马达发出指令控制焊锡丝M的供给量，对加热器3c 发出指令控制发热温度，对构成移动装置2e的升降部2g以及水平移动部池发出指令控制 其移动线路或移动速度。[气密室]如图2所示，气密室业由下面的部分构成框体21，形成包含供给装置2的上述 各构成元件的气密空间ail ；设置在框体21的两侧壁上的进料口 2η以及出料口 20，用来向 制造装置2中装入、送出玻璃基板wl。再有，在进料口 2η以及出料口 2ο上设置用来确保气 密室业的气密性的气密门。[气氛控制装置]如图2所示，气氛控制装置2s由下面的部分构成气体供给部2u，包括供给泵，可 在规定的压力下供给收容的规定气体；真空泵2v，使气密室业的气密空间ail成真空状态； 供给配管2t，将气体供给部2u和真空泵2v连接到气密空间ail上，将气密空间ail控制为规 定的气氛。其中，可以在气体供给部2U中分别收容根据玻璃基板Wl的用途等适用的多种 气体例如惰性气体即氩气、氮气，还原性气体即氢气、一氧化碳气体，氧化性气体即氧气，还 可以通过气体供给部2u中配置的混合阀按照规定的比例混合这些气体供给到气密空间an 中。下面包含玻璃嵌板生产线1的全部动作在内，对第1-1例的供给装置2的操作过 程进行说明。[难备工序]首先，如图1所示，将准备好的玻璃基板wl和w2装入到预加载室Ia中。在装入了 玻璃基板和《2之后，使预加载室Ia的内部抽成真空后置换为氩气，成为惰性气氛。再 有，下面的前处理室lb、接合部形成室lc、接合室Id、冷却室Ie以及卸载室If同样成为惰 性气氛。[清洗工序]接下来，将玻璃基板Wl和w2装入到前处理室Ib中，在规定的温度下进行加热处 理，或者通过等离子体清洗处理洗净除去附着在玻璃基板wl和w2表面上的水分以及杂质 等。其中，在玻璃基板wl和w2上形成了多孔玻璃等杂质气体的情况下，在上述加热处理工 序中还可以同时进行除去接合部所产生的杂质气体的脱气处理。[熔融焊锡供给工序]将在前处理工序中洗净等的玻璃基板Wl和w2装入到熔融焊锡供给室Ic中，如图 50 (b)所示，向玻璃基板wl和w2供给用来形成各个接合部ml和m2的熔融焊锡Ml和M2。 其中，由于熔融焊锡Ml和M2的熔融焊锡供给方法相同，所以下面以向玻璃基板wl供给熔 融焊锡Ml的情况为例进行说明。如图2所示，以将接合部ml准备结合的表面即主面S面向上方的水平姿势，将玻 璃基板wl承载在载物台2i上。接下来，供给装置2向X、Y、Z轴各个方向移动升降部2g以 及水平移动部2h，以使在供给筒3a的下端面与玻璃基板wl的主面S之间形成规定的间隙(参照图3)，供给筒3a的下端面位于相对于准备形成的矩形框状的接合部ml确定为开始 点的角部Bl上(参照图50(b)。供给装置2驱动焊锡丝送出部2b的马达，从焊锡丝导向部2c中送出焊锡丝M。送 出的焊锡丝M与被加热器3c加热了的熔融面3 j接触并成为熔融焊锡Ml。并且，如上述说 明的，在焊锡丝M的外周面上形成的氧化物El通过氧化物除去部4的熔融面3j与熔融焊 锡Ml分离，只有没有混入氧化物El的纯净的熔融焊锡Ml流入到流通通路3d中，从第2开 口 3f流出，供给到玻璃基板wl的主面S上。供给装置2通过水平移动部池使玻璃基板wl移动，使供给筒3a从玻璃基板wl 的角部Bl相对水平地移动到B2。其中，通过超声波施加装置向被供给的熔融焊锡Ml与玻 璃基板wl的主面S的接触界面施加超声波，所以除去了接触界面上存在的气泡及杂质，提 高熔融焊锡M对玻璃基板wl的浸润性。其后通过水平移动部池使玻璃基板wl移动，沿着 经过玻璃基板《1的角部B3、B4在开始点即角部Bl处结束的不间断的移动路径水平移动供 给筒3a (参照图50 (b)，呈矩形框状供给熔融焊锡Ml。[接合工序]将在上述的熔融焊锡供给工序中供给了熔融焊锡Ml和M2的玻璃基板wl和w2装 到图1中示出的接合室1 d中，用图7、8中示出的玻璃基板的接合装置6接合。此处，如图7所示，接合装置6与上述供给装置2同样，具有设置在通过气氛控制 装置2s进行气氛控制的气密室业的内部空间ail中的、由控制装置2p进行驱动控制的移 动装置2e。该移动装置2e的载物台2i构成为可成供给了熔融焊锡Ml的主面S面向上方 的水平姿势承载玻璃基板wl。另外，在升降部2g中内置了保持装置7，以使供给了熔融焊 锡M2的主面S面向下方的水平姿势保持玻璃基板w2。如图8所示，保持装置7由下面的部分构成能以上述姿势保持玻璃基板w2的保 持部7a ；设置在保持部7a与玻璃基板w2之间的通过通电发热的板状发热部7b。再有，在 图8中为了容易理解玻璃基板wl与w2与发热部7b的位置关系而用剖面图表示它们。在发热部7b上形成与向玻璃基板w2的主面供给的熔融焊锡M2相对应的矩形框 状突起部7c。并且，将该突起部7c的结构为，在将玻璃基板w2保持在保持部7a上时，在水 平面内的与熔融焊锡M2相对应的位置上还与供给熔融焊锡M2的面相对的面接触，在使发 热部7b发热的情况下通过突起部7c仅有效地加热熔融焊锡M2，维持熔融焊锡M2的熔融状 态。说明上述接合装置6的动作。首先，以形成了熔融焊锡Ml的主面S面向上方的姿 势将玻璃基板wl承载于载物台2i上，以形成了熔融焊锡M2的主面S面向下方的姿势将玻 璃基板保持在保持部7a上。此时，载物台2i的发热体以及保持装置观的发热部7b通 电发热，熔融焊锡Ml和M2维持熔融状态。接下来，接合装置6以使熔融焊锡Ml和M2的各 个表面以彼此相向接触的状态向X、Y、Z轴各个方向移动升降部2g以及水平移动部2h，向 下方驱动升降部2g，稍微对熔融焊锡Ml和M2的接触界面加压。于是，熔融焊锡Ml和M2在 接触界面上接合一体化。其后，接合装置6停止载物台2i的发热体以及保持装置7的发热 部7b的通电，通过使一体化了的熔融焊锡Ml和M2冷却凝固而形成接合部m。通过以上的 步骤能够得到图50(a)中示出的玻璃嵌板W。[冷却工序]
将上述的在玻璃基板接合工序中形成的玻璃嵌板W装入到冷却室Ie中，保持到变 为常温。[出料工序]将冷却的玻璃嵌板W装入到卸载室If中。将卸载室If的内部从氩气置换为大气 后，将玻璃嵌板W送出到外部。[第1-2 例]参照图9_11、51对本发明的第1-2例的供给筒以及内置了该供给筒的熔融金属供 给装置进行说明。用第1-2例的供给装置制造的玻璃嵌板W与用第1-1例的玻璃嵌板生产线生产的 玻璃嵌板W相同，但是如图51 (a)、(b)所示，在接合玻璃基板w3、w4的接合部η中没有接合 界面一体地构成的方面、以及具有用来形成玻璃基板w3、w4的间隙的间隙维持部件Q的方 面不同。再有，下面以玻璃基板w3、w4的各个部分的尺寸相同为前提进行说明。如图9所示，第1-2例的供给装置8包括焊锡丝供给装置加、加热熔融装置9、移 动装置8a、气密室8c以及控制装置2p。而且，内置了以规定的姿势保持玻璃基板w3的保 持装置8d。再有，对于焊锡丝供给装置加、移动装置8a、气密室8c以及控制装置2p等供给 装置8的构成要素中与上述供给装置2具有相同结构的元件赋予相同的符号，省略详细的 说明。[保持装置、移动装置]如图9、10所示，保持装置8d由下面的部分构成多个吸附部8f，能以接合部η准 备接合的主面面向下方的姿势吸附保持玻璃基板w3 ；大致平板状的支撑部8e，其上固定有 吸附部8f。另外，供给装置8的移动装置8a包括第1升降部2g，固定在支撑体2f的上边 部的左端；第2升降部8b，固定在相同上边部的右端，上述保持装置8d安装在第2升降部 8b的下端。并且，上述第2升降部8b以及水平移动部池通过它们的协动构成对玻璃基板 4确定玻璃基板w3的位置的装置，如图10(a)所示，在水平方向上相向设置玻璃基板w3和 w4以使各个端面大致成一条直线的同时，在垂直方向上定位使得在玻璃基板w3和w4之间 形成规定的间隙。并且，在玻璃基板《3和w4的垂直方向的定位完成了之后，解除吸附部8f 对玻璃基板《3的吸附，由间隙保持部件Q保持间隙。[气密室]容纳焊锡丝供给装置加、加热熔融装置9以及移动装置8a的气密室8c在其内部 是大气气氛(氧化性气氛)方面与由气氛控制装置控制成惰性气氛的上述供给装置2的气 密室业不同。如下面所说明的，这是由于供给装置8的供给筒9a的构造使得即使在大气 气氛即氧化性气氛中的供给过程中也可以在抑制氧化进展的同时向玻璃基板w3和w4供给 熔融焊锡Ml。[加热熔融装置]本例的加热熔融装置9的基本结构与上述加热熔融装置3类似，但是供给筒的构 造以及其相对于玻璃基板w3、w4的姿势不同。S卩，如图10(a)所示，在加热熔融装置9的供 给筒9a中，在其内部设置了大致圆管状的流通通路3d，与焊锡丝M接触而生成熔融焊锡Ml 的熔融部3g设置在右端部(一个端部)，在与熔融部3g —体设置的氧化物除去部4 (交叉 影线的部分)上形成一个开口(第1开口)3e，在左端面(其它端面)开口的另一个开口(第2开口)3f。具体地说，熔融部3g在供给筒9a的右端上面呈凹状，第1开口 !Be在焊锡 丝M接触而熔融的熔融面3 j即熔融部3g的底面、即氧化物除去部4的上面开口。第1开 口 :3e的直径ΦΒ小于与熔融面3j接触的焊锡丝M的端面的直径ΦΑ，而且第2开口 3f的 直径Φ0为小于等于玻璃基板w3与w4的外周间隙k的尺寸g。并且构成为将焊锡丝M从 焊锡丝导向部的下方端部开口送出之后，其端面呈阻塞第1开口 :3e的姿势与熔融面3j接 触。而且，如图10(a)以及其C方向的视图即图10(c)所示，在第1_2例的供给筒9a 中设置沿流通通路3d的轴心向水平方向延伸的大致平板状的导向部9b。导向部9b在其前 端具有从第2开口 3f仅突出规定长度L的突出部分9c。该突出部分9c的突出长度L与应 当准备形成的接合部η的宽度相对应，或者另外其厚度小于在玻璃基板w3、w4之间形成的 外周间隙k的大小g。如下面所详细描述的，该导向部9b是实现了将从第2开口 3f流出的 熔融焊锡Ml平滑顺利地供给到玻璃基板w3与w4的外周间隙k中的功能的工件。从而，如 图10(a)的B-B剖面即图10(b)所示，需要使导向部9b的基端包含在第2开口 3f中。另 一方面，为了防止导向部9b妨碍熔融焊锡Ml从第2开口 3f中流出需要在导向部9b与流 通通路3d之间形成可流通熔融焊锡Ml的间隙，以使9b不妨碍熔融焊锡Ml从第2开口 3f 中流出。而且，为了向外周间隙k顺滑地供给熔融焊锡Ml，优选与熔融部3g以及流通通路 3d同样地对导向部9b的表面进行提高与熔融焊锡Ml的浸润性的处理。再有，下面是以包 括配置有导向部9b的供给筒9a为例说明本例的供给装置8的，但是例如在熔融金属的浸 润性高的情况下、外周间隙k的尺寸g比较大的情况等熔融金属的浸润扩散顺利的情况下， 导向部并非必不可少的构成要素。呈水平姿势保持供给筒9a，以使突出部分9c可插入到相向设置的玻璃基板w3与 w4的外周间隙k中，在向外周间隙k供给熔融焊锡Ml时，形成了第2开口 3f的左端面与玻 璃基板w3、w4的端面同时接触，从而由移动装置8a将定位成第2开口 3f与外周间隙k连 接的状态。由此，如图10(a)所示，流通通路3d与准备供给熔融焊锡Ml的玻璃基板w3与 w4的外周间隙k直接连接，流通到流通通路3d中的熔融焊锡Ml被填充到外周间隙k中而 不与周围的大气(氧)接触。而且，由于设置了导向部％，所以从第2开口 3f流出的熔融 焊锡Ml可极顺滑地填充到外周间隙k中。再有，由于供给筒9a的熔融部3g具有与上述供 给筒3a同样的构成，所以当然能够抑制在焊锡丝Ml的外周面上存在的氧化物El混入到熔 融焊锡Ml中。此处，参照图10(d)、(e)对上述导向部9b的变形例进行说明。图10(d)的导向部 9d呈沿流通通路3d的轴心的前端为前端细的形状，使从第2开口 3f中流出的熔融焊锡Ml 更顺利地流入到外周间隙k中，从而使熔融焊锡的供给性提高。另外，为了相同的目的，在 图10(e)的导向部9e上在导向部9b的表面上形成将熔融焊锡Ml导入到外周间隙k中的 导向槽U。再有，在图10(e)中将导向槽u呈与流通通路3d的轴心大致平行地、呈直线状形 成多条导向槽u，但是也可以呈放射状地形成多条导向槽，或者以弯曲的形态形成。下面对第1-2例的供给装置8的动作进行说明。而装入到供给装置8中的玻璃基 板w3和w4是已经结束了前处理工序、从其表面除去了水分及杂质的基板。[基板定位工序]以接合部η接合的主面面向下方的水平姿势，在使保持装置8d保持玻璃基板w3的同时，以接合部η接合的主面面向上方的水平姿势在载物台2i上承载玻璃基板w4。供给 装置8使第2升降部8b以及水平移动部池移动，从而在水平方向上以使各个外周端面彼 此都成一条直线的形态相向设置玻璃基板《3和w4，同时在垂直方向上定位使玻璃基板w3 和w4之间形成规定的间隙。其后，供给装置8解除吸附部8f对玻璃基板w3的吸附，通过 使第2升降部8b上升从而从载物台2i的上方退走保持装置8d。[熔融焊锡供给工序]供给装置8使内置在载物台2i中的发热体发热，将玻璃基板w3和w4加热到熔融 焊锡Ml的熔融温度左右。然后，移动第1升降部2g以及水平移动部池，将导向部9b的突 出部分9c插入到由间隙维持部件Q所保持的玻璃基板w3和w4的一个角部的外周间隙k 中，同时将供给筒9a定位于导向部9b的左端面与玻璃基板w3和w4的端面同时接触的状 态。接着，供给装置8驱动焊锡丝送出部的马达，从焊锡丝供给部送出焊锡丝M。送出 的焊锡丝M与被加热器3c所加热的熔融面3 j接触而生成熔融焊锡Ml。在焊锡丝M的外周 面上形成的氧化物El通过氧化物除去部4与熔融焊锡Ml分离，只有没有混入氧化物El的 纯净的熔融焊锡Ml流入到流通通路3d中。然后，流过除第1开口 !Be以及第2开口 3f外 均被密封的流通通路3d的熔融焊锡Ml从第2开口 3f流出而不与大气接触，然后被导向部 9b导向，在供给过程中抑制了氧化的纯净的熔融焊锡Ml被供给到玻璃基板w3与w4的外周 间隙k中。然后，在保持上述供给筒9a与玻璃基板w3和w4的垂直方向上的位置关系的同 时，水平移动部池使玻璃基板w3和w4移动以使供给筒9a绕玻璃基板w3和w4的外周一 周，从而向玻璃基板w3和w4的整个外周间隙k中供给熔融焊锡Ml，呈矩形框状填充熔融焊 锡Ml。而通过采用在保持装置8d中设置玻璃基板w3的加热功能，还有第2升降部8b也 能够向X以及Y轴方向移动的构成，因而即使不使用间隙保持部件Q也能够通过与上述相 同的动作向玻璃基板《3与w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml。[接合工序]关闭载物台2i的发热体的通电从而冷却玻璃基板w3和w4，使熔融焊锡Ml凝固形 成接合部η。如上所述，由于抑制了在焊锡丝M的氧化物El以及供给过程中生成的氧化物 的混入的纯净的熔融焊锡Ml被供给到外周间隙k中，所以难以在玻璃基板w3和w4与接合 部η的接合界面上产生接合不良，能够得到气密性或接合强度优异的玻璃嵌板W。上面为了容易理解使玻璃基板w3和w4的尺寸相同，但是即使尺寸不同也可以通 过适当设计供给筒9a的构造而构成接合装置。即，在玻璃基板w3和w4的平面尺寸不同、 对位一致情况下、在二者的端面不一致形成阶差的情况下，可以使供给筒9a的左端面具有 与该阶差相对应的形状。参照图11对第1-2例的供给筒9a的优选例进行说明。图11 (a)的供给筒9f是 形成图51 (b)的例子的、即具有不但在玻璃基板w3与w4的外周间隙k中，而且从端面溢出 部分具有毛边部nl的接合部η的玻璃嵌板W的情况的例子。图11(a)中示出的供给筒9f 具有比玻璃基板w3与w4的外周间隙k的尺寸g大的直径Φ3的第2开口 9h，换句话说具 有形成了可包含外周间隙k的第2开口 9h，第2开口 9h中比外周间隙k大的部分形成毛边部nl。该毛边部nl成为对大气的壁垒，抑制供给到外周间隙k中的熔融焊锡Ml由于与大 气接触而造成的供给后的氧化进展。另外，图11(b)的供给筒9i是为了除去玻璃基板w3和w4的主面上存在的气泡及 杂质，以及通过提高其表面的活性从而提高熔融焊锡Ml对玻璃基板的浸润性，而设置了与 玻璃基板w3和w4的主面中供给熔融焊锡Ml的供给面相接触的接触面91的例子。而图 11 (b)中的接触面91成多弯折状构成导向部9 j的突出部分9k，使得可与玻璃基板w3和w4 的主面接触，但是也可以适当构成以使接触面91不损害外周间隙k中熔融焊锡Ml的流动。[第1-3 例]参照图12、13对本发明第1-3例即熔融金属的供给筒以及内置了该供给筒的熔融 金属供给装置进行说明。由于此处的供给装置的基本结构与图9相同，所以省略关于供给 装置整体结构和动作的说明。与上述第1-2例的供给装置水平地向玻璃基板w3与w4的外周间隙k供给熔融焊 锡Ml相对应，图12中示出的第1-3例的供给装置在采用利用重力垂直地供给熔融焊锡Ml 的方式，没有导向部的方面与第1-2例的供给装置不同。图12(a)中示出的供给筒10呈上方开口的有底的圆形容器状。用来使焊锡丝M 熔融的加热器IOd卷绕在供给筒10的外周上。形成在供给筒10的中央、上面成为熔融面 IOb的环状突起是生成熔融焊锡Ml的熔融部10a，氧化物除去部IOi与熔融部IOa的上部 一体设置。另外，第1开口 IOf在熔融面IOb上开口，第2开口 IOg在下面开口，在中央设 置以连结第1开口 IOf和第2开口 IOg形态形成的流通通路10e。并且，与图10中示出的 供给筒9a相同，第1开口 IOf的直径ΦΒ小于焊锡丝M的直径ΦΑ，第2开口 IOg的直径 OC为小于等于玻璃基板w3与w4的外周间隙k的尺寸g。而且，在供给筒10中，储存被除 去的氧化物E2的储存部IOc在熔融部IOa的周围呈圆环槽状形成，构成为通过未图示的氧 化物排出部排出储存在该储存部IOc中的氧化物E2。供给筒10以准备形成接合部η的主面在垂直方向站立的姿势相对于相向设置的 玻璃基板w3与w4的外周间隙k，保持着与第2开口 IOg连接、外周间隙k和流通通路IOe 可连接的姿势。向外周间隙k供给熔融焊锡Ml时，形成了第2开口 IOg的下面与玻璃基板 w3与w4的端面同时接触，以第2开口 IOg成与外周间隙k连接的状态定位。若采用上述供给装置10的结构，从焊锡丝供给部送出的焊锡丝M与熔融面IOb接 触从而生成熔融焊锡Ml。并且，利用重力将熔融焊锡Ml快速地供给到玻璃基板w3与w4的 外周间隙k中。而由于供给筒10的构造以及玻璃基板w3与w4的位置关系与上述供给筒 9a具有同样的构成，所以能够抑制在焊锡丝Ml的外周面上存在的氧化物El混入到熔融焊 锡Ml中，而且当然能够抑制供给过程中熔融焊锡Ml氧化。图12(b)中示出的供给筒IOj与上述供给筒10结构基本相同，仅在第2开口 101 的直径φ(比外周间隙k的尺寸g大的方面不同。通过这样结构的供给筒10j，能够形成具 有与上述图11(a)中说明的供给筒9a相同的毛边部nl的玻璃嵌板W。而且，图13中示出的供给筒IOm与供给筒10结构基本相同，仅在具有与第2开口 IOg的下方连接的管状的导向部IOn的方面不同。若采用此种结构的供给筒10m，更顺滑地 向玻璃基板《3与w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml。[第2方式]
下面根据其第2-1例、第2-2例，对上述(18)中说明的方式的熔融金属供给筒、 以及内置了该供给筒的熔融金属供给装置、熔融金属供给方法以及它们的优选方法进行说 明。[第2-1 例]参照图14 M对本发明的第2-1例即熔融金属供给筒、内置了该供给筒的熔融 金属供给装置进行说明。再有，对表示图14的变形例的图19、20、23、24中相同的构成要素 标注相同的标号，省略相同要素的重复说明。第2-1例的供给装置11用来制造参照图51 (a)、(b)说明过的玻璃嵌板W的装置， 如图16所示，作为适于自动化的结构，由承载装置11a、焊锡丝供给装置lid、熔融焊锡供给 装置12、移动装置llg、控制装置llo、气密室IlI以及气氛控制装置Ilr构成。下面对各构 成要素进行说明。[承载装置]在承载装置Ila中，标号lib是可成水平姿势承载未接合体WO的载物台，未接合 体WO由玻璃基板W3和W4构成，第1玻璃基板(下面在第2-1例中称为第1基板，在第2-2 例中也一样)w3和第2玻璃基板(下面在第2-1例中称为第2基板，在第2-2例中也一样) w4的定位为隔着间隙保持部件彼此相对，将玻璃基板w3和w4设置成在各个主面S之间形 成规定的间隙。作为优选的结构，在该载物台lib中内置了可加热未接合体WO的板状的发 热体，利用该发热体将玻璃基板w3和w4加热到熔融焊锡的熔融温度左右，从而能够防止熔 融焊锡与玻璃基板《3和w4的温度差所产生的应力对玻璃基板w3、w4造成的损害，而且由 于熔融焊锡与玻璃基板《3、w4的浸润性高，所以能够提高接合部与玻璃基板w3和w4的接 合性。符号Ilc是移动部，载物台lib设置在其上部，所述移动部Ilc使载物台lib在图 面的垂直以及水平方向上移动。再有，如图16(a)所示，以载物台移动部Ilc的移动方向及 与图面平行的轴为X轴，与图面垂直的轴为Y轴，与X、Y轴同时正交的垂直的轴为Z轴。并 且，构成未接合体WO的玻璃基板w3、w4的各个主面S与含X轴以及Y轴的平面大致平行， 未接合体WO的外周端面与Z轴大致平行地承载于载物台lib上。[焊锡丝供给装置]在作为供给用来形成熔融焊锡的原料的结构的一例的焊锡丝供给装置Ild中，符 号lie是卷绕由SnAgAl系合金构成的线状材料(下面称为焊锡丝)M的筒管状的焊锡丝送 出部，用未图示的马达等使其旋转，定量地送出焊锡丝M。符号Ilf是具有可插穿焊锡丝M 的导向通路即贯通孔的两端开口的大致呈管状的焊锡丝导向部，定位固定在移动装置Ilg 的固定部件Ilk上。在本例的供给装置11中，使用成形为直径2mm左右的焊锡丝M，在初期 状态，卷绕在焊锡丝送出部lie上的焊锡丝M的前端部从焊锡丝送出部lie引出，从焊锡丝 导向部Ilf的导入开口插入到导向通路内，从供给开口突出，设置成面向供给筒14的流入 口 14a的姿势(参照图14)。[熔融焊锡供给装置]在熔融焊锡供给装置12中符号13是熔融焊锡供给部。熔融焊锡供给部13由如 图14所示的供给筒14、安装在供给筒14的前端的导向部16以及支撑供给筒14的浮动机 构即支撑部15构成。
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首先，对供给筒14进行说明。在供给筒14中，符号14h是呈左端缩径的大致圆筒 形状的筒体。筒体14h具有设置于筒体14h的右上部的一面(以下第2-1例、2-2例中称为 熔融面)14e，和设置在左端部上的另一个面(以下第2-1例、2-2例中称为吐出面)14f，构 成吐出面14f的位置被确定为隔着微少的间隙相对于未接合体WO的外周端面平行。而在 本例的供给筒14中，隔着熔融面He在两侧形成圆环状的挡板14g，该两个挡板14g所包围 的凹状部的底面成为熔融面14e。筒体14h优选由热传导率高的不锈钢等形成，而且为了使 熔融焊锡M更加顺利地流动，优选在熔融面He和吐出面14f上形成富有与熔融焊锡Ml的 浸润性的Cr层等。符号14d是沿熔融面14e和吐出面14f之间的筒体14h的外周面卷绕成线圈状， 将筒体14h加热到焊锡丝M的熔融温度以上的加热部件。在加热部件14d上连接着控制其 发热温度或发热模式的加热控制部12a。符号Hc是贯通筒体14h的内部的流路，具有在熔融面He上开口的第1开口(下 面第2-1例、2-2例中称为流入口)14a、和在吐出面14f上开口的第2开口(下面第2_1例、 2-2例中称为吐出口)14b，流入口 14a的直径ΦΒ小于焊锡丝M的直径ΦΑ。而流路14c的 剖面形状不限定于圆形，例如也可以是矩形等。优选在上述流路Hc中，在其表面上形成用来使熔融焊锡Ml顺利地流动的与熔融 焊锡Ml的浸润性高的Cr层。也可以设置由Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ag或Ni构成的层取代Cr 层。此外，优选对流路14c实施作为防溶蚀处理的氮化处理，以使其表面不被熔融焊锡Ml 所溶蚀而作为杂质混入熔融焊锡Ml中。吐出口 14b如为了便于理解而省略了熔融焊锡Ml的图示的图18(a)所示，其口径 即直径Dl为超过外周间隙k的尺寸的大小，到达了吐出口 14b的熔融焊锡Ml不仅供给到 用来与第1基板w3以及第2基板w4的各个外周端面接触的外周间隙k，而且供给到玻璃基 板w3和w4的外周端面。从而，如图51(b)所示，在使用该例的吐出口 14b制造的玻璃嵌板 W中，在外周间隙中形成含有与外周端面紧贴的突起部分nl的接合部η。另一方面，如为了便于理解省略了熔融焊锡Ml的图示的图19(a)中示出的供给筒 17，能够使吐出口 17a的口径Dl小于等于外周间隙k的尺寸g。在该例子的情况下，由于 吐出口 17a仅向外周间隙k内开口，所以到达吐出口 17a的熔融焊锡Ml仅被填充到外周间 隙k内。因此，如图51(c)所示，在使用该例子的供给筒17制造的玻璃嵌板W中仅形成与 外周间隙k接合的接合部η。在该吐出口 17a那样的方式的情况下，在流路Hc的整个长度 内都与吐出口 17a的直径为相同的直径Dl时，恐怕流动阻力变大，熔融焊锡Ml的流动性降 低。因此，优选流路14c的终端部的形状是朝向吐出面14f缩径的大致圆锥形状，从而使得 在实际吐出熔融焊锡Ml的吐出面14f上，吐出口 17a都小于等于周间隙k的尺寸g。如图14所示，焊锡丝M的前端以朝向供给筒14的流入口 14a的方式设置在焊锡 丝导向部Ilf中。从而从焊锡丝送出部lie定量送出的焊锡丝M呈其前端面阻塞流入口 14a的姿势与熔融面He接触。被加热部件14d加热的熔融面He触及的焊锡丝M熔融从 而形成熔融焊锡Ml。该熔融焊锡Ml从流入口 1 流入，在流路Hc中朝左端流动，从吐出 口 14b中吐出。再有，筒体14h定位固定在固定部件Ilk上，以便可以保持从焊锡丝导向部 Ilf送出的焊锡丝M与熔融面14e的上述位置关系。如上所述，本例的供给装置11是由供给筒14其自身将焊锡丝供给装置Ild所供给的固状焊锡丝M熔融以形成熔融焊锡Ml的例子，但是可以在供给装置11中组装例如从 可收容熔融状态的焊锡的容器中通过自重或加压力排出熔融焊锡并供给到供给筒中的结 构，也可以组装不与本发明的其它目的相反的其它供给机构。接下来，对导向部16进行说明。导向部16的构成为，如图14中的箭头Yl所示， 在沿水平面从未接合体WO的外周端面朝向内部的方向(下面称为插入方向)上插入到未 接合体WO的外周间隙k中，将从上述供给筒14的吐出口 14b中吐出的熔融焊锡Ml引导到 外周间隙k内进行供给。因此，导向部16以在安装槽中横切吐出口 14b在Z轴方向在突出 面14f的大致中央部的形态配合安装。在图示导向部16的细节的图17、18中，符号16h是厚度相对外周间隙k的尺寸g 较薄，为T2，从供给筒14的突出面14f吐出长度L2的薄板状的镘刀部。镘刀部16具有与 设置在承载装置Ila上的未接合体WO的第1基板w3的主面Sl隔着规定的第1间隙Gl相 对的上表面(第1平面)16i、与第2基板w4的主面S2隔着规定的第2间隙G2相对的下表 面(第2平面)16j。再有，本例中第1间隙Gl与第2间隙G2具有相同程度的尺寸。通过 这样结构的镘刀部16h，通过吐出口 14b供给到外周间隙k中的熔融焊锡Ml被导入到镘刀 部16的上表面16i以及下表面16j上，浸润扩展到间隙Gl与G2之间。但是，熔融焊锡Ml 的浸润扩展停留在镘刀部16h的前端(图17中的前端，图18(a)中的左端)。因此，从被供 给的熔融焊锡Ml的未接合体WO的外缘的宽度受到了镘刀部16h的长度L2的限制。并且， 在向间隙Gl和G2中填充了熔融焊锡Ml的状态下使熔融焊锡供给部13沿未接合体WO的 外缘水平移动时，该水平移动使得供给到间隙Gl和G2中的熔融焊锡Ml发生流动，该熔融 焊锡Ml的流动使得熔融焊锡Ml涂布到玻璃基板w3和w4上，随未接合体WO的外缘以一定 的宽度将熔融焊锡Ml填充到外周间隙k中。作为优选的结构，如图14、16所示，在本例的供给装置11中装有向镘刀部16h传 送超声波的超声波发生部12b，通过镘刀部16h向填充到间隙Gl和G2中的熔融焊锡Ml与 玻璃基板w3和w4的接触界面上施加超声波，使其活化并使焊锡融合到接触界面上的同时， 可除去存在于接触界面上的气泡或杂质。再有，进一步优选施加超声波以使镘刀部1 !沿 导向部16的插入方向振动。再有，为了提高熔融焊锡Ml与镘刀部16h的至少上表面16i以及下表面16 j的浸 润性，优选设置由Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ag、Ni或者Ta所构成的层，而且优选实施作为防溶 蚀处理的氮化处理等，以使镘刀部1 不被熔融焊锡Ml所溶蚀从而在熔融焊锡Ml中混入 杂质。而且，为了提高熔融焊锡Ml的追随性，优选在镘刀部1 的上表面16i和下表面16j 上事先形成与镘刀部16h的相对移动方向交叉的凹凸。在图17、18中示出的导向部16中，符号16a是第1接触部，符号16f是第2接触 部。第1接触部16a由从镘刀部16h的上表面16i突出的一对突起部16b和16c构成。突 起部16b和16c具有在向外周间隙k中插入导向部16的状态下与第1基板w3的主面Sl 接触的第1接触面16d，其X轴方向的长度以供给筒14的吐出面14f为基准是Li，其Z轴 方向的高度与第1间隙Gl大小大致相同。第2接触部16f也与上述第1接触部16a相同，由从镘刀部16h的下表面16j突 出的一对突起部16m和161构成。各突起部16m、161具有在将导向部16插入到外周间隙 k中的状态下与第2基板w4的主面S2接触的第2接触面16g，与上述第1接触部16a相同其长度为Li，其高度与第2间隙G2大小大致相同。再有，第1接触面16d以及第2接触面 16g由于与后述的浮动机构的关系，在导向部16的宽度方向(水平面中与导向部16的插入 方向垂直的方向)形成为凸状的圆筒面。对上述结构的接触部16a、16f进行详细说明。如图18所示，形成接触部16a、16f 的部分的导向部16的厚度是在镘刀部16h的厚度T2上加上接触部16a以及16f的高度 (从镘刀部16h的上表面16i到第1接触面16d的高度，镘刀部16h的下表面16 j到第2接 触面16g的高度)的厚度Tl。并且，其厚度Tl是与外周间隙k的尺寸g同等或稍小的尺 寸，以使接触部16a和16f分别与各个玻璃基板的主面Sl和S2接触，同时可在外周间隙k 中滑动。因此，在外周间隙k中插入导向部16时，接触面16d和16g与主面Sl和S2接触， 成为导向部16嵌合配合在外周间隙k中的状态。另外，第1接触部16a的高度即从镘刀部1 的上表面16i到第1接触面16d的高 度与间隙Gl相同，第2接触部16f的高度即从镘刀部16h的下表面16j到第2接触面16g 的高度与间隙G2相同。其结果是，在外周间隙k中插入镘刀部16h时，在Z轴方向确定镘 刀部1 的位置，以使形成第1间隙Gl和第2间隙G2。并且，为了向外周间隙k供给熔融 焊锡M1，使熔融焊锡供给部13沿未接合体WO的外周端面水平移动时，在接触部16a和16f 与主面Si、S2随时滑动的同时导向部16移动，所以间隙Gl和G2的大小经常维持为恒定。再有，在本例中，第1接触部16a和第2接触部16f的高度，也就是第1间隙Gl和 第2间隙G2的尺寸相同，但是该尺寸可以根据熔融焊锡Ml的特性适当设定，二者的尺寸也 可以不同来构成。在该情况下，由于被供给的焊锡Ml因重力而流下，所以优选第1间隙Gl 比第2间隙G2大。优选对第1接触面16d以及第2接触面16g实施用来提高与玻璃基板w3和w4之 间的滑动性的处理即M疏水镀处理或表面平滑处理。另外，如图示了图14的导向部的变 形例的图19(a)所示，可以在接触部16a和16f中沿导向部16的图示插入方向Yl在其中 间部分别形成凹部17c和17d。通过在接触部16a和16f中设置这样的凹部17c和17d，减 小玻璃基板w3和w4的接触面积，降低滑动阻力，从而能够使熔融焊锡供给部13顺利地移 动，此外能够进一步抑制玻璃基板w3和w4的损伤。再有，在必要的情况下也可以构成为各 个接触部16a和16f与主面Sl和S2点接触。而且，为了容易插入到未接合体WO的外周间隙k中，优选在接触部16a和16f中， 在图17中示出的插入方向Yl上与未接合体WO的外周端面相对的面Cl以及侧面C2的角 部上事先形成C面或R面。该C面或R面可以通过对面Cl以及C2的角部实施切削加工、 磨粒加工、蚀刻等来形成。而且，第2-2例的供给装置的说明中所详述的，为了与未接合体WO的外周间隙k 的位置或大小的变化相对应，优选接触部16a和16f具有在Z轴方向上可弯曲一定量的弹 性。图17、18中的符号16e表示在镘刀部16h的上部设置的第1导向槽，符号1 表示 在下部设置的第2导向槽。为了在镘刀部16h中顺利地引导从供给筒14的吐出口 14b吐 出的熔融焊锡Ml，在导向部16的宽度方向上，在接触部16a和16f的各突起部16b和16c 以及16m和161形成呈矩形槽状的导向槽16e和16k。换句话说，导向槽16e和1 设置为 截断接触部16a和16f的各个中央部位，通过导向槽16e和16k直接连接镘刀部16h和吐出口 14b。导向槽16e和16k的形态即其剖面形状或宽度和深度等可以与熔融焊锡Ml的流 动性相匹配适当确定，但是为了将熔融焊锡Ml顺利地引导到镘刀部16h内，优选分别在与 镘刀部16h的上表面16i相同的平面内形成导向槽16e的底面，在与镘刀部16h的下表面 16 j相同的平面内形成导向槽16k的底面，在导向槽16e和1 与镘刀部16h的连接部分上 优选没有高度差。而且，为了提高导向槽16e和16k的内表面上熔融焊锡Ml的浸润性，优 选设置由Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ag或Ni构成的层，而且优选实施作为防溶蚀处理的氮化 处理等，以不被熔融焊锡Ml所溶蚀从而混入杂质。而且，导向槽的结构不限于图17、18的方式，如图19(b)中示出的导向部18，优选 构成为将接触部18a和18d设置在宽度方向上镘刀部16h的中央部，在接触部18a和18d 的两侧设置从吐出口 14b通到上表面16i和下表面16j的上下各两条导向槽18b和18c以 及 18e 和 18f0上述镘刀部与接触部可为一体结构，但是镘刀部与接触部的功能不同，所要求的 特性也彼此不同。因此，例如如图20中示出的导向部19，用与熔融焊锡Ml的浸润性高的材 料形成镘刀部19f，用与玻璃基板的滑动性优异的难磨损的材料形成接触部19a和19c，能 够通过粘结或螺旋夹等适当的方法组装该分离的镘刀部19f与接触部19a及19c，构成导向 部。而且，在供给筒的吐出面上镘刀部或接触部、或者二者都可以一体形成。接下来，参照图14、15对作为优选结构的组装到本例的供给装置11中的支撑部 15进行说明。本例的支撑部15在通过供给筒14间接地支撑导向部16的同时，构成仅在Z 轴方向(外周间隙k的厚度方向)以及供给筒14的轴心(导向部16的插入轴)周围随着 作用到导向部16上的力使导向部16摇动(即不在水平面内移动)的浮动机构。在该支撑 部15中，符号15g表示与供给筒14的右端面连接的圆柱形状的支撑部件，在右端的小径部 15 上，在轴心方向上，与小径部15i邻接形成大径部15h。该小径部15i受在轴承部件15f 上设置的轴承15j所支撑，在供给筒14的轴心周围支持部件15g自由旋转。另外，如从左 侧面看图14的支撑部件15g和轴承部件15f的放大剖面图即图15所示，大径部1 呈下 方被切口的大致扇形形状，在其大径部15h的切口和轴承部件15f的内面上设置的突起部 151的两侧面之间插入左右一对、压缩状态的线圈状的压缩弹簧15K。将该一对压缩弹簧调 整为在无负荷状态时导向部16呈水平姿势。符号1 是左侧开口的二字状的移动部件，在内侧面上安装上述轴承部件15f。符 号1 是作为直线驱动部件的线性导引器，在移动部件1 的外侧面上安装移动子，使移动 部件15e仅在Z轴方向移动。符号1 是在比移动部件1 大一圈的左侧开口的二字状的 套筒，在内侧面上安装线性引导器15b的轨道，而且套筒1 位置确定地固定在移动装置 Ilg的固定部件Ilk上(参照图16)。符号15c表示在移动部件1 的上臂外面和套筒1 的上臂内面之间以及移动部件1 的下臂外面和套筒1 的下臂内面之间呈压缩状态组装 的一对弹性部件，即线圈状的压缩弹簧，符号15d表示一端部在套筒1 的上臂以及下臂上 设置的未图示的贯通孔以及压缩弹簧15c中可游动地插通的同时，另一个端部固定在移动 部件15e的上臂以及下臂上，限制压缩弹簧15c的直径方向的移动的限制轴。这样构造的支撑部15进行下面的动作。S卩，如图22所示，例如由于玻璃基板w3 以及w4的组合精度的不足或载物台移动部Ilc的行走精度的不完备，使得未接合体WO的外周间隙k沿Z轴的位置发生变化的情况下，通过与玻璃基板w3和w4接触的接触部16a 和16f，在沿供给筒14的轴心周围或Z轴方向向导向部16作用一定的力。该供给筒14的 轴心周围的力通过供给筒14传送到支撑部件15g。支撑部件15g被轴承部件15f将移动 方向仅限制在旋转方向上，由于其大径部1 被一对压缩弹簧1 支撑，所以对应作用的力 仅在供给筒14的轴心周围移动。另外，作用在导向部16上的Z轴方向的力通过供给筒14 等传送到移动部件15e。移动部件1 被直线移动部件15b限制移动方向，使其仅可能在Z 轴方向上移动，由于被压缩弹簧15c支撑，所以根据作用的力仅在Z轴方向上移动。[移动装置]如图16所示，移动装置Ilg由门型支撑体llh、固定在支撑体Ilh上边部的升降 部Ili构成，在升降部Ili的底部设有在图示的Z轴方向上升降并且在θ轴方向上旋转的 升降轴llj。并且，如上所述，焊锡丝导向部Ilf以及熔融焊锡供给部13通过固定部件Ilk 与升降轴Ilj的下端部连接。[控制装置]如图16所示，控制装置Ilo由通过电信线路Ilp连接供给装置11的上述各构成元 件的控制部Ilq构成，控制各构成元件的运行。具体地说，控制部Ilq由计算机构成，运算 部(CPU)读出存储在其存储部(存储器)中的程序以及各种数据并进行适当的运算，从而 向焊锡丝送出部lie中组装的马达发出指令，控制焊锡丝M的供给量，向加热控制装置1 发出指令，控制加热部件14d的发热温度，向超声波振动部12b发出指令，控制向镘刀部16h 施加的超声波的输出或施加模式，向构成移动装置Ilg的升降部Ili以及载物台移动部Ilc 发出指令，控制其移动路径或移动速度。[气密室]如图I6所示，气密室ill由形成内部包括供给装置11的上述各构成元件的气密 空间Iln的框体Ilm构成。[气氛控制装置]如图16所示，气氛控制装置Ilr由下面的部分构成包括供给泵的可在规定的压 力下供给所收容的规定气体的气体供给部lit使气密室111的气密空间Iln成为真空状态 的真空泵1 Iu将气体供给部lit和真空泵1 Iu连接到气密空间1 In上的配管1 ls，将气密空 间Iln控制为规定的气氛。其中，可在气体供给部lit中对应惰性玻璃嵌板用途等来分隔 收容多种气体，例如氩气、氮气，还原性气体即氢气、一氧化碳，氧化性气体即氧气，而且可 以通过气体供给部lit中包括的混合阀按照规定的比例混合这些气体并供给到气密空间 lln。下面说明上述结构的供给装置11的运行过程。首先是准备工序。如图16所示， 由间隙保持部件Q通过规定的间隙将主面Sl和S2呈相对状态的未接合体WO以水平的姿 势承载于载物台lib上的规定位置上。接下来，启动供给装置11，供给装置11使气密空间 Iln气密，由真空泵Ilu排出空气，使气密空间Iln的内部成为真空状态。然后，供给装置 11将含规定比例氧气的气体从气体供给部lit供给到气密空间Iln中，成为由含易氧化元 素的SnAgAl系焊锡所构成的熔融焊锡Ml容易与玻璃基板w3和w4接合的气氛。另外，供 给装置11使载物台lib中内置的发热体发热，将未接合体WO加热到熔融焊锡Ml的熔融温 度左右，而且为了向镘刀部1 传送应该施加给熔融焊锡Ml的超声波，使超声波振动部12b振动。接下来是供给筒的定位工序。升降部Ili使升降轴Ilj下降，而且在必要的情况 下旋转，供给装置11将熔融焊锡供给部13的定位在规定的位置上。该熔融焊锡供给部13 的位置被确定时，如图14所示，熔融焊锡供给部13设置在Z轴方向上的该导向部16的镘 刀部1 可插入到未接合体WO的外周间隙k中的位置上，并在θ轴方向上的该供给筒14 的吐出面14f与未接合体WO的外周端面平行的位置上。接下来，供给装置11使载物台移 动部Ilc水平移动，将未接合体WO定位在规定的位置上，以使供给筒14的吐出面14f和未 接合体WO的外周端面成为仅隔着微小的间隙相对的状态。在该未接合体WO的位置被确定 在水平面内的过程中，将导向部16插入到未接合体WO的外周间隙k中，由于导向部16的 接触部16a和16f的角部上形成如上所述的C面或R面，所以接触部16a和16f被顺利地 插入到外周间隙k中。但是，由于导向部16被浮动机构即支撑部15所支撑，所以即使在例 如Z轴方向上外周间隙k与导向部16的中心不同的情况下，追随该不同而上下移动的接触 部16a和16f被插入到外周间隙k中。并且，上述未接合体WO的定位动作一结束，由于接 触部16a和16f与玻璃基板w3和w4的各个主面Sl和S2都接触，所以导向部16成为与外 周间隙k嵌合的状态，镘刀部16h的位置被确定在Z轴方向上外周间隙k的大致中央处，在 玻璃基板w3和w4与镘刀部IMi之间形成间隙Gl和G2。接下来是熔融焊锡的供给工序。供给装置11驱动图16中示出的焊锡丝送出部 lie的马达，从焊锡丝导向部Ilf的下端送出焊锡丝M。如图14所示，被送出的焊锡丝M与 被加热部件14d加热到焊锡丝M的熔融温度以上的供给筒14的熔融面He接触，形成熔融 焊锡Ml。其中，由于在熔融面He上开口的流入口 1 的直径ΦB比焊锡丝M的直径ΦA 小，所以即使在焊锡丝M的外周面上形成了氧化物，该氧化物也被流入口 1 的外周缘部即 熔融面14e分离除去。其结果是，阻止了氧化物混入到流路Hc中，几乎没有混入氧化物的 洁净的熔融焊锡Ml流入到流路14c中。而后，供给装置11以一定的速度连续地送出焊锡 丝M直到填充作业结束，向流路Hc供给熔融焊锡Ml。再有，由于在大气中保管的焊锡丝M 的表面上生成的氧化物层的厚度通常是几十ym，所以焊锡丝M与流入口 1 的直径的差 (ΦΑ-ΦΒ)为Imm左右即可。在上述供给工序中，由熔融面14e被除去的氧化物在被堰14g限制了流动的同时 堆积在流入口 14a的周围，之后被后续的氧化物推压流动到供给筒14的下面，在那里被未 图示的回收装置回收。如上所述，流入到流路Hc中的熔融焊锡Ml从吐出口 14b吐出，如图18所示，在导 向部16的上下导向槽16e和16k中流动，被导入到第1间隙Gl和第2间隙G2中。其中， 从供给筒14供给的熔融焊锡Ml在被玻璃基板w3和w4以及吐出面14f几乎密闭、不与氧 接触的状态下，通过导向槽16e和16k，被供给到间隙Gl和G2中。而且，由于在熔融焊锡 Ml表面的氧化被抑制的状态下，涂入到玻璃基板w3和w4的主面Sl和S2上，所以能够提高 玻璃嵌板中的密封质量。并且，如图16所示，供给装置11使载物台移动部Ilc在X轴或Y轴方向上以一定 的速度行走，水平移动未接合体W0，使得在维持上述熔融焊锡供给部13和未接合体WO的水 平方向的位置关系的同时，导向部16呈矩形框状绕未接合体WO的外周缘的周边一周。于 是，被供给到间隙Gl和G2中的熔融焊锡Ml浸润到玻璃基板w3和w4的各个主面Sl和S2上，而且在涂入的同时以导向部16的长度L2的宽度填充到外周间隙k中。再有，如图16 的局部放大平面图即图21所示，在未接合体WO的四个角部上，供给装置11将载物台移动 部Ilc进行的未接合体WO的X和Y轴方向的移动控制与升降轴Ilj进行的熔融焊锡供给 部13的θ轴方向的移动控制结合起来，按圆弧状的路径水平移动导向部16，将熔融焊锡 Ml填充到四个角部的外周间隙k中。其中，在上述供给工序中导向部16水平移动期间，如图18所示，接触部16a和16b 分别随时处于与玻璃基板w3和w4的主面Sl和S2接触的状态，Z轴方向上镘刀部IMi的移 动被接触部16a和16f所限制。其结果是，镘刀部16h不与玻璃基板w3和w4接触，其主面 Sl和S2上不产生损害与接合部η的接合性的损伤。而且，为了将熔融焊锡Ml良好地涂入 到玻璃基板w3和w4上的一个条件是玻璃基板w3以及w4与镘刀部IMi之间的间隙Gl和 G2的大小，在供给工序期间，被从镘刀部1 突起的接触部16a和16f维持在与该间隙Gl 和G2相对应的高度上。其结果是，能够实现接合部η与玻璃基板w3以及w4的接合强度的 均勻化。此外，由于导向部16被浮动机构即支撑部15所支撑，所以即使在如图22(a)所示 的未接合体WO的外周间隙k中存在弯曲的情况下，或者如该图(b)所示载物台移动部Ilc 的行走路径相对于外周间隙k仅倾斜角度ρ的情况下等，随着在未接合体WO的移动时所产 生的外周间隙k的上下位置变化，导向部16上下移动。其结果是，导向部16与玻璃基板w3 和w4的间隙Gl和G2被维持为一定。而且，如图14所示，由于通过导向部16向填满了间隙Gl和G2的熔融金属Ml与 玻璃基板w3和w4的接触界面上施加超声波，所以玻璃基板w3和w4与熔融焊锡Ml的浸润 性提高了，熔融焊锡Ml被充分地供给到狭小的间隙Gl和G2中。而且，由于在接触界面上 存在的气泡或氧化膜等杂质被超声波振动除去了，所以能够提高作为制品的玻璃嵌板的接 合部与玻璃基板的接合强度。上述供给工序结束，向未接合体WO的整个四边的外周间隙k填充了熔融焊锡Ml 之后，经过对填充的熔融焊锡Ml进行冷却固化的熔融焊锡的冷却工序形成接合部，接合玻 璃基板w3和w4，形成玻璃嵌板W。该冷却工序可以通过在图16中示出的载物台lib上承 载有未接合体WO的的情况下停止加热体的发热来进行，也可以从载物台lib上卸下未接合 体W0，在别处进行。再有，为了玻璃嵌板制造的自动化，例如优选具有从载物台移动部Ilc 上自由装卸载物台lib的构造，具有在每个供给工序中可更换承载了未接合体WO的载物台 lib本身的结构。上述供给装置11中，如图17、18所示，说明了在导向部16的插入方向Yl中镘刀 部16h的后端侧上设置了接触部16a和16f的例子。该例的导向部16是例如组装入平面 型图像显示装置中的布线图形为在比接合部更靠内侧形成的玻璃嵌板那样，有必要为了保 护布线图形而使接触部在接合部的外侧滑动时的合适结构。另一方面，存在于玻璃基板w3 和w4中接触部16a和16f的滑动部分上的接合部的接合性，由于接触部16a和16f的滑动 而比非滑动部分差，所以存在于滑动部分上的接合部在某种意义上说成为多余部分，使接 合部的宽度不得不加宽。于是，在有必要形成比较窄的接合部的情况下，优选采用图23中示出的导向部 20。在图23中示出的导向部20中，接触部20a和20c被设置在导向部20的插入方向Yl上镘刀部20e的前端。再有，在该例子中，不设置用来将从供给筒14的吐出口 14b中吐出 的熔融焊锡Ml直接供给到镘刀部20e的导向槽。通过该导向部20，与上述导向部16相同， 镘刀部20e不与玻璃基板w3和w4接触，被供给的熔融焊锡Ml浸润扩展到镘刀部20e的上 表面和下表面，填充到与玻璃基板之间的间隙中，但是由于用接触部20a和20c来限制该熔 融焊锡Ml的浸润范围，所以能够在从未接合体的外缘的比较狭窄的宽度内填充熔融焊锡。 另外，通过用接触部20a和20c来限制该熔融焊锡Ml的浸润范围，能够沿未接合体的外缘 大致一定的宽度上向外周间隙中填充熔融焊锡。而且，在上述例子的供给装置11中，如图17、18所示，具有向外周间隙k中插入 导向部16时，第1接触部16a与第1基板w3的主面Si、第2接触部16f与第2基板w4的 主面S2双方同时接触的结构，但是如图M中示出的导向部21那样，也可以构成为接触部 21a和21b平时不与主面Sl和S2接触，在必要的情况下与玻璃基板w3和w4接触。S卩，导 向部21的基本构造与导向部16相同，镘刀部1 具有从镘刀部16h的上表面突起的第1 接触部21a和从镘刀部16h的下表面突起的第2接触部21b，但是如图M (a)所示，在接触 部21a和21b的部分中的导向部21部分的厚度Tl小于外周间隙k的尺寸g。从而，将该导 向部21插入到外周间隙k中时，第1接触部21a隔着第1空隙与第1基板w3的主面Sl相 对，同样第2接触部21b隔着第2空隙与第2基板w4的主面S2相对，在插入导向部21的 时点上接触部21a和21b不与主面Sl和S2接触。通过这样的导向部21，如图M(b)所示， 在熔融金属的供给工序中，即使在沿Z轴图示箭头Zl方向上相对改变导向部21的位置的 情况下，由于接触部21a和21b的限制，镘刀部IMi也不与玻璃基板w3和w4接触，能够防 止玻璃基板《3和w4的损伤，从而提高接合部的接合质量。再有，组装在上述支撑部中的浮动机构并非必不可少，另外即使在导向部的接触 部上形成的各个接触面成为平坦面也没关系，而且也可以仅在镘刀部的一个面上仅形成一 个接触部。即使是这样的结构，在未接合体的外周间隙的尺寸精度高的情况或载物台移动 部的行走精度高的情况等规定的情况下，通过避免玻璃基板的主面与镘刀部的接触这样的 接触部所起的作用可防止玻璃基板的损伤，并且能够发挥提高玻璃嵌板中与接合部的密封 性的效果。[第2-2 例]参照图25以及图沈对根据本发明的第2-2例的熔融金属供给筒以及内置了该供 给筒的熔融金属供给装置进行说明。再有，第2-2例的供给装置基本与参照图16说明的供 给装置11具有同样的构成，仅熔融焊锡供给部不同，所以在图25、26中都仅图示与熔融焊 锡供给部相关联的部分，省略其他构成元件的图示。另外，对于与供给装置11相同的构成 元件标记相同的符号，省略对其构造已及动作的详细说明。如图25所示，第2-2例的供给装置的熔融焊锡供给部22具有与供给筒14大致 相同结构的供给筒23和在与不构成浮动机构仅仅是与支撑部相关联的支持部件22d的前 端设置的导向部22a，在图示箭头Xl中示出的供给工序中熔融焊锡供给部22的移动方向 上，在导向部22a的前方、在与导向部2 分离的状态下设置供给筒23。在该供给筒23的 前端部上设置可插入到未接合体WO的外周间隙k中的外径的供给管23a，在移动方向上向 导向部22a的前方的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml。也可以设置多根该供给管23a，也可 以采用椭圆形剖面或矩形剖面的供给管。供给管23a的插入深度可以根据应该形成的接合部的宽度确定，在要形成特别宽的接合部的情况下，构成为改变多根供给管各个的插入深 度的结构是有效的。而且，优选供给管23a例如由用树脂覆盖表面的软质材料构成，以在接 触的情况下不损伤玻璃基板w3和w4。本例的导向部2 替换如第2-1例的供给装置那样的浮动机构，成为具有在外周 间隙k的厚度方向即Z轴方向或者供给筒23的轴心周围，其自身能够弯曲的弹性的结构。 具体地说，导向部2 被构成为如图25所示，用弹性的某种金属或树脂以及其他的弹性部 件形成上下接触部22b和22c，通过使接触部22b和22c具备弯曲性，即使在外周间隙k的 位置发生了变化的情况下，接触部22b和22c也可弯曲从而可跟随该变化。再有，可不用弹 性部件构成整个接触部22b和22c，例如可以在接触部22b和22c的与玻璃基板w3和w4的 各主面Sl和S2的接触面上设置弹性层。这样的结构具有能够简化供给装置构造的优点， 在未接合体WO的外周间隙k的Z轴方向上位置改变比较小的情况下特别有利。图沈仏)中示出的导向部2 是上述导向部22a的第1变形例。导向部22e具有 在插入方向Yl上、在导向部22e的后方接触部16a和16f的表面上重叠形成的弹性层22f 和22g，成为前端被割下的支撑部件22d从上下夹持弹性层22f和22g的构造。并且，在供 给焊锡的供给工序中，导向部22e的没有形成该弹性层22f和22g的露出的接触部16a和 16f的接触面不和与玻璃基板w3和w4接触的弹性层22f和22g直接接触。从而，能够通过 弹性层22f和22g与上述同样地与外周间隙k的位置变化相对应，而且还具有能够用单个 部件构成适于实现接触部16a、16f、弹性层22f和22g的各个功能的优点。图沈…)中示出的导向部2 是上述导向部22a的第2变形例。在该导向部22h 中，在插入到未接合体WO的外周间隙k中的镘刀部16h以及接触部16a和16f和支持部件 22d之间设置弹性部22i。该弹性部22i形成为从支撑部件22d的端面突出长度L3的薄板 状，以便易于在Z轴方向弯曲。图沈⑷中示出的导向部22j是上述导向部22a的第3变形例。在该导向部22j 中，在插入到未接合体WO的外周间隙k中的镘刀部16h以及接触部16a和16f和支持部件 22d之间设置上下一对弹性部2 和221。并且弹性部2 在接触部16a的后方，弹性部 221在接触部16f的后方，形成为从各个支撑部件22d的端面突出长度L3的薄板状。通过 该导向部22j，在Z轴方向上外周间隙k的位置改变的情况下，由于以镘刀部16h以及接触 部16a和16f为一体的支点，弹性部2 和221变位为环状，所以具有能够在相对于外周间 隙k的变动保持水平姿势的同时，镘刀部16h以及接触部16a和16f可追随变形的优点。在上述第2-2例的供给装置中，替换浮动机构内置了上述导向部22a 22j，但是 即使根据应当填充的对象物而在具有浮动机构的第2-1例的供给装置中组装上述导向部 22a 22j，当然也没问题。另外，在上述说明中为了容易理解以正面图示大小相同的玻璃基板w3和w4所构 成的未接合体WO为对象，但是即使是大小不同的玻璃基板也可以对应。即，在将大小不同 的2片玻璃基板位置对准的未接合体的端部不一致而形成阶差时，可以使供给筒的吐出面 的形状成为与该阶差相对应的形状。[第3方式]下面根据第3-1例、第3-2例，对上述0 中说明的方式的熔融金属供给筒、内置 了该供给筒的熔融金属供给装置、熔融金属的供给方法以及它们的优选方式进行说明。
[第3-1 例]参照图27-30对本发明的第3-1例即熔融金属的供给筒以及内置了该供给筒的熔 融金属供给装置进行说明。图27是示出本例中熔融金属供给装置的主要部分的局部剖面 图，图28、图四是本例中供给筒M的剖面图以及局部立体图。首先，对熔融金属的供给装置进行说明。供给装置用来制造参照图51 (a)、(b)说 明的玻璃嵌板W，包括供给筒M、安装供给筒M的夹具Ma、以夹具2 为主使其上下浮动 的浮动机构Mb、和支撑浮动机构24b的套管Me。浮动机构24b能够用上下设置了具有适 度柔软性的橡胶或弹簧的构造来实现，能够保持供给筒M的姿势，而不会向玻璃基板《3、 w4或者供给筒M作用过度的力。再有，通过轴部件24d将安装在夹具2 上的超声波振动 体2 与供给筒M接合，优选向供给筒M的长度方向施加超声波振动。如图观所示，供给筒M在内部具有在一面2 !和另一面2 开口的流通熔融焊 锡Ml的圆形截面的流路Mi，包括横切与另一面2 正交的第2开口 24h并仅插入到流路 24i中LO深度来安装的导向部25，从第2开口 24h排出的熔融焊锡Ml通过导向部25供给 到外周间隙中。供给装置使供给筒M移动，以在另一面2 与玻璃基板w3和w4的外周端面隔着 规定的间隙s的状态下，将导向部25插入到玻璃基板w3、w4的外周间隙k中，同时能够沿 着外周间隙k以一定的速度旋转一周。再有，该移动动作不必由供给装置全部进行，也可以 由承载玻璃基板《3和w4的载物台等分担，相对地进行。这样，供给装置能够配合移动方式 具有各种构造。根据移动方式的构造是哪一种，玻璃基板w3和w4的移动构造和供给装置 的移动构造可以组合公知技术，例如直线移动时马达和滚珠丝杠或直线导轨等，旋转移动 时马达或气缸与轴承来实现。上述套管2 可以通过在上下方向上调节位置的夹具等安装 在移动机构上。通过这样的结构，可以事先相对于玻璃基板w3和w4的外周间隙k调节导 向部25的高度，以与玻璃基板w4的厚度或间隙保持部件Q的高度相匹配。 对导向部25进行说明。导向部25插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中，将 从供给筒M的第2开口(下面在第3-1例、第3-2例中称为排出口)24h中排出的熔融焊 锡Ml供给到外周间隙k中。使该导向部25沿着外周间隙k移动时，使熔融焊锡Ml在玻璃 基板w3和w4的主面上滑动，也就是在涂入的同时供给到玻璃基板w3和w4的外缘间隙k 中。并且，和本例中的导向部类似的专利文献4中记载的导入板设置在熔融焊锡排出口的 中心部上，且被排出口的导入板分割的上下排出口的面积相同的结构不同，如图30所示， 在垂直方向上从排出口 24h的中心向下方偏移的状态下设置导向部25。从而，被导向部25 隔开的上侧的排出口 24j的面积比下侧的排出口 24k的面积大。如图四所示，导向部25包括比玻璃基板w3和w4的外周间隙k的尺寸g小的厚 度0 的板状体25c ；及从板状体25c的上下表面突出的、与外周间隙k的尺寸g大致相同 厚度(Tl)的突起部25a。该板状体25c插入到外周间隙k中，将熔融焊锡Ml导入到与板状 体25c的表面相对的玻璃基板w3和w4的间隙中，涂入到玻璃基板w3和w4的主面上，下面 将插入到外周间隙k中的L2的部分称为镘刀部25d。另外，在板状体25c的上下表面上形 成的突起部2 形成为从排出口 24h仅突出Ll。突起部2 具有插入到外周间隙k中可相 对玻璃基板《3和w4的主面滑动的接触面，下面将形成了该接触面的部分称为接触部25b。将导向部25插入到外周间隙k中时，通过将接触部2 嵌合在外周间隙k中，以外周间隙k限制镘刀部25d的上下方向的位置。即，如图30所示，能够将镘刀部25d的上 表面和玻璃基板《3之间的第1间隙Gu、镘刀部25d的下表面与玻璃基板w4之间的第2间 隙Gd位置维持一定。再有，优选对接触部2 实施用来使与玻璃基板w3和w4的主面的滑 动性更好的表面处理，例如M疏水电镀。另外，为了容易地嵌入到外周间隙k中，优选对接 触部2 在其侧面或与镘刀部25d的阶差面的角上实施倒角C。该倒角c可以通过切削加 工、喷砂加工、蚀刻等，通过将角部倒成直线状或曲线状来形成。再有，上述板状体25c和突起部2 可以通过一体构造来形成，也可以是通过粘结 或叠层工序等固定了其他部件的组装构造。为组装构造时，可以使板状体25c为玻璃，使突 起部2 为金属等，与要求的功能相适应选择适当的材料进行组合。如图四(a)所示，在板状体25c的上下表面上形成的突起部25a，形成为左右夹着 可从流路24i流入熔融焊锡Ml的导向槽2&、2釙的形式。导向槽2 和2 可以通过进行 槽加工来形成，以便分隔例如一体形成的突起部25a。导向槽2 和25h的宽度、深度可以 与熔融焊锡Ml的导通性相适应适当确定，但是对于导通性来说优选尺寸较大，如图29(b) 所示，也可以是掘入板状体25c达到镘刀部25d的方式。如前所述，在镘刀部25d通过导向槽25e、2^!将供给的熔融焊锡Ml导入到间隙 Gu、Gd中的同时，牢固地与玻璃基板w3、w4接合。从而，随着镘刀部25d的移动，熔融焊锡 Ml从间隙Gu、Gd流入填充到其移动方向上镘刀部25d的后方的外周间隙k中，接合部η的 宽度由镘刀部25d的长度L2确定。镘刀部25d的厚度T2根据第1间隙Gu以及第2间隙 Gd的尺寸设定，以使用均勻的面压力接触玻璃基板w3和w4的主面的同时，涂入熔融焊锡 Ml。为了使熔融焊锡Ml随着镘刀部25d —起移动、良好地涂入到玻璃基板w3和w4中，优 选间隙Gu、Gd狭窄。另外，为了提高熔融焊锡Ml的跟随性，也可以在镘刀部25d的表面上 形成与移动方向交叉的槽。对供给筒M进行说明。供给筒M从在一面2 !上形成的第1开口 24g中供给熔 融焊锡M1，从在另一面2 上形成的第2开口即排出口 24h中排出。向该第1开口 24g供 给的熔融焊锡Ml例如以规定的速度将焊锡丝M送入到第1开口 24g中的同时被供给筒M 熔融，根据应当充分填满玻璃基板w3和w4的外周间隙k的供给量进行流量供给控制。如图观所示，供给筒M具有如上所述熔融焊锡丝M形成的熔融焊锡Ml流通的 流路Mi、形成流路24i的第1开口 24g并熔融焊锡丝M的熔融面2 !、以及形成排出口 Mh 的另一面即排出面Mh，在其外周面上卷绕用来熔融焊锡丝M的加热器Ml。通过这样结构 的供给筒对，控制为以闭塞第1开口 24g的姿势使下端面与熔融面2細接触的速度送出焊 锡丝M，将其按压到熔融面2細上而熔融。于是，熔融焊锡Ml流过流路24i从排出口 24h连 续地排出。第1开口 24g所开口的熔融面2 !是例如对供给筒M的表面进行锪孔加工形成 的凹状部的底面。第1开口 Mg的直径ΦΒ小于与熔融面2 !接触的焊锡丝M的端面直径 ΦΑ，流路24i形成为至少在熔融面2 !的附近是直径ΦΒ的管状。由此，即使在焊锡丝M的 外周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路Mi的流入也被第1开口 Mg的外周缘部，即熔 融面2細所阻止，只有几乎没有混入氧化物E的洁净的熔融焊锡Ml流入到流路24i中。再 有，由于在大气中保管的限制焊锡M的表面上生成的氧化物E层的厚度通常为几十μ m左 右，所以焊锡丝M与第1开口 Mg的直径的差，SP ΦΑ-ΦΒ为Imm左右就足够了。
再有，优选在供给筒M的周围形成周壁Mo以包围熔融面2細。被阻止流入到流 路Mi中的氧化物E储存在熔融面2 !的凹状的底部上，但是也可以通过吸引或切开周壁 24ο的一部分使其流出而适当回收。另外，排出面2 附近的流路24i的末端部优选形成为 与排出面2 大致正交。由此，确定供给筒M的位置以使隔着间隙s排出面2 与玻璃基 板w3和w4的外周端面相对时，排出面Mn的附近的流路24i相对于外周间隙k呈平行的 状态。对上述供给筒M进行的熔融焊锡Ml的供给动作进行说明。在供给熔融焊锡Ml 时，将供给装置构成为供给筒M中平稳熔融焊锡Ml的流通状态处于平稳状态时沿玻璃基 板w3和w4的外周间隙k移动。所谓平稳状态指可以将熔融焊锡Ml从导向部25的导向槽 25e和25h中导入到间隙Gu和Gd中的状态，如图30所示，是到达了排出口 24h的熔融焊锡 Ml处于比导向槽2 高水平的状态。其中，优选开始从第1开口 24g供给熔融焊锡Ml到达 该平稳状态的时间尽可能短。因此，控制熔融焊锡Ml的供给量，以成为能够在非平稳状态 即熔融焊锡Ml的供给开始时，熔融焊锡Ml迅速地填满流路24i，在平稳状态下充分地填满 外周间隙k的流量。由于在平稳状态下，在被导向部25上下分离的流路Mi中，下侧的流路24q被熔 融焊锡Ml填满，所以在下侧的流路24q开口的下侧的排出口 24k与玻璃基板w4的端面之 间的间隙s中也填满了熔融焊锡Ml。在该状态下，熔融焊锡Ml被导入到第2间隙Gd中，但 是从排出口 Mk与玻璃基板w4的端面之间的间隙s中溢出多余的熔融焊锡Ml。供给到流 路Mi中的熔融焊锡Ml流量被控制，排出口 24k与玻璃基板w4的端面之间的间隙s中存 在的熔融焊锡Ml上供给压力并不大，但是该间隙s的重力方向(下方)开放，所以漏出的 熔融焊锡Ml变为垂下。由于从该下侧流路Mq中的漏出从熔融金属Ml的供给开始到达到 平稳状态时一直都在发生，所以优选漏出量少。另一方面，即使与上侧流路24p相连的上侧 排出口 24j与玻璃基板w3的端面的间隙s被熔融焊锡Ml填满，该间隙中存在的熔融焊锡 Ml也由于导向部25的存在不易漏出。从而，为了减少从排出口 24h与玻璃基板w3以及w4 的端面的间隙s中漏出的熔融焊锡Ml的量，也可以减少从下侧流路24q中排出的熔融焊锡 Ml的量。由于供给筒M被安装在导向部25从排出口 24h的中心向下方偏移的位置上，所 以下侧排出口 Mk的面积比上侧排出口 24j的面积小。另外，下侧流路Mq的容积也比上 侧流路Mp的容积小。从而，从下侧排出口 Mk中排出的量比从上侧排出口 24j中排出的 量少。即，在供给筒24中从下侧流路24q中排出的熔融焊锡Ml的量少，能够减少从排出口 24h与玻璃基板w3以及w4的端面的间隙s中的漏出量，而且能够缩短达到平稳状态的时 间。导向部25的偏移量F可以根据熔融焊锡Ml的供给量、排出面2 与玻璃基板w3以及 w4的端面的间隙s的大小以及导向槽2 和25h的大小等适当设定，但是由于越大时填满 下侧流路24q的熔融焊锡Ml的量越少，所以能够在进一步减少漏出量的同时还能够缩短达 到平稳状态的时间。采用上述供给筒M时，被供给的洁净的熔融焊锡Ml在排出面2 和玻璃基板w3 以及《4的端面的间隙s以及间隙Gu和Gd中，仅稍与外部气氛接触，即被供给到玻璃基板 w3和w4的外周间隙k中。从而，被供给的洁净的熔融焊锡Ml即使在大气气氛下，也能够 在氧化被抑制的状态下与玻璃基板w3和w4的主面接触。从而，本例的供给装置适用于使用SnAgAl系合金焊锡，该SnAgAl系合金焊锡借助适当量的氧具有与玻璃的优异的接合性。 再有，为了提高熔融焊锡Ml的填充性，优选对导向部25的表面的至少接触熔融焊锡Ml的 面进行提高与熔融焊锡Ml的浸润性的处理，例如覆盖Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外， 优选实施作为防溶蚀处理的氮化处理等，以使导向部25的表面不被熔融焊锡Ml所溶蚀，在 熔融焊锡Ml中混入杂质。另外，优选也对流路24i的表面进行所述处理。接下来，说明本例的供给装置进行的向外周间隙k供给熔融焊锡Ml的动作。在内 置有发热体的、可在XY两轴方向上移动的载物台上，通过规定尺寸的间隙保持部件Q，确定 上下配置的玻璃基板《3和w4的位置，将玻璃基板w3和w4加热到熔融焊锡Ml的熔融温度 的程度。供给筒M的导向部25被插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中一边端部的规 定位置上，移动供给筒M以在玻璃基板w3和w4的端面和排出面2 中形成规定的间隙S。 此时，预先调节安装位置，以使镘刀部25d来到外周间隙k的上下方向的中心附近，却难以 精确地调整到外周间隙k的中央。但是，如不良好地进行该调节，即使将镘刀部25d插入到 外周间隙k中，也有接触部2 接触上下任意一个玻璃基板w3或w4的端面的可能性。其 中，供给筒M在上下方向上被浮动机构支撑，另外由于对接触部2 实施倒角c，所以容易 将接触部2 嵌入到外周间隙k中。由此，将镘刀部25d的位置确定在外周间隙k的上下 方向上的大致中央处，镘刀部25d与玻璃基板w3以及w4的间隙Gu和Gd上下大致相同。规定流量的洁净的熔融焊锡Ml被供给到流路Mi中，开始从排出口 24h中排出。 由于将导向部25偏移，并安装在排出口 24h的下侧上，所以短时间内达到平稳状态，为了向 外周间隙k的一边供给熔融焊锡M1，能够使玻璃基板w3和w4呈直线以规定的速度向一个 方向(X方向)移动。期间，熔融焊锡Ml被导入到间隙Gu和Gd中，填充到外周间隙k中， 但是由于从导向部25的下部的排出口 24k与玻璃基板w4的间隙s中漏出的熔融焊锡Ml 较少，所以几乎不发生垂下或滴下。另外，由于接触部2 嵌入到位置间隙k中并且处于浮 动状态，所以会追随玻璃基板《4的厚度偏差或向X方向的载物台的上下方向的弯曲等，在 玻璃基板w3和w4的移动时产生的外周间隙k的上下方向的位置变化，间隙Gu和Gd维持 各自的尺寸。由此，由于沿镘刀部25d的上下表面导入几乎相同量的熔融焊锡M1，所以随着 镘刀部25d的移动而移动的熔融焊锡Ml流动状态在间隙Gu和Gd中几乎相同，对玻璃基板 w3的主面、玻璃基板w4的主面相同地供给熔融焊锡Ml。另外，在填充中使超声波动作，向导向部25施加超声波振动时，熔融焊锡Ml与导 向部25、以及熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的浸润性提高，即使在间隙Gu和Gd狭窄 的情况下也顺利地供给熔融焊锡Ml。该超声波振动通过熔融焊锡Ml还作用在玻璃基板w3 和w4的主面上，除去熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的接触界面上存在的气泡或氧化 膜等杂质。从而，能够提高熔融焊锡Ml对玻璃基板w3和w4的接合性，对于提高玻璃嵌板 W的接合强度是有效的。如上所述，在外周间隙k 一边的熔融焊锡Ml的供给结束时，安装了供给筒M的套 筒2 在水平方向上旋转90度，接着，玻璃基板w3和w4沿着与上述一边垂直的另一边水 平移动。并且，即使在另一边也与上述一边相同，向外周间隙k供给熔融金属M1，而在玻璃 基板w3和w4的外周端面上熔融焊锡Ml几乎不垂下。对各边依次进行该动作，向玻璃基板 w3和w4的整个外周间隙k中供给熔融焊锡M1，供给熔融焊锡Ml而不会在玻璃基板w3和 w4外缘端面上大量堆积或垂下。向该玻璃基板w3和w4的供给动作结束时，承载了玻璃基板w3和w4的载物台向外部转移。并且有，从搬到外部的载物台上取下玻璃基板w3和w4， 但是由于熔融焊锡Ml没有附着在载物台上，所以不必进行从载物台上除去焊锡的动作。接着，重新装载承载其他玻璃基板w3和w4并进行了加热准备的其他载物台，与 上述供给动作相同地进行向新的玻璃基板w3和w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml的动 作。其中，由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安装到载物台上的状态不 同，新的玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周间隙k的位置会有不同的可能性。即使在 该情况下，通过本例的供给装置，由于在上下方向上由浮动机构支撑供给筒对，另外对接触 部2 实施了倒角Tc，所以能够在上下方向上将镘刀部25d插入到外周间隙k的中心位置 上，能够在维持间隙Gu和Gd的尺寸的状态下填充熔融焊锡Ml。再有，导向部25沿着外周间隙k移动时，由于毛细管现象，熔融焊锡Ml渗透到接 触部2 与玻璃基板w3以及w4的主面之间。熔融焊锡Ml从镘刀部25d迂回地供给到受 渗透的熔融焊锡Ml的吸引、接触部2 接触并且通过后的接触区域上。但是，在接触部25b 的长度Ll较长的情况下，由于恐怕不能向整个接触区域部分供给熔融焊锡M1，所以优选图 29中示出的接触部25b的长度Ll较短，优选为接合部η的宽度的10-20%左右。再有，接 触部25b的上下表面不限于如图四所示的平坦平面，也可以是形成了槽的平面，另外也可 以是曲面。[第3-2 例]参照图31-33对本发明的第3-2例即熔融金属供给筒以及内置了该供给筒的熔融 金属供给装置进行说明。第3-1例的供给筒M是从排出口 24h的中心向下方偏移地安装导向部25，但是本 例中的供给筒的构成是将导向部25安装在排出口 24h的中心或中心附近，另 一方面，从排出口 24h的下侧排出口 24k中排出的熔融焊锡Ml的量比从上侧排出口 24j中 排出的量少。在图31(a)中示出了在下侧流路Mq的端部上安装了挡板^b的供给筒^a。隔 着间隙在导向部25的下表面设置该挡板^b，该间隙形成下侧排出口 Mk。在图31(b)中示 出的供给筒26c与上述同样设置挡板沈山但是在与导向部25之间不设置间隙，在挡板 的上方形成使小剖面的熔融焊锡Ml通过的通过孔，以该孔为下侧排出口 Mk。图31 (c)的 供给筒^e由于在下侧流路Mq内安装挡板部件^f，所以下侧流路Mq的容积比上部流路 24p的容积小。上述第3-1例、第3-2例的供给装置是为了将镘刀部25d与玻璃基板w3以及w4 的间隙Gu和Gd维持为恒定，而在导向部25上设置构成接触部2 的突起部25a，将突起部 2 插入到供给筒M中进行设置为例的供给装置。但是，如图32(a)中示出的供给筒^g 那样，能够不将突起部2 插入到供给筒M中，仅在从供给筒M的端面刚刚伸出的部分上 形成突起部2 而构成接触部25b。另外，如图32(b)的供给筒2 所示，还可以在板状体 25c的前端部上形成突起部2 而构成接触部25b。再有，导向部25中的板状体25c以及 突起部2 可以是金属、玻璃、陶瓷等相同的材料或其他材料。另外，如图32(c)中示出的供给筒26p所示，还可以仅采用没有突起部的厚度相同 的板状体26q。这也适用于玻璃基板的厚度偏差或玻璃基板的移动机构的引导振动等极小， 只会在可忽略间隙的程度上变化，例如一边为几到十几cm左右的小尺寸玻璃基板的情况。再有，在该情况下作为供给装置不一定由浮动机构支撑供给筒。上面的说明中为了容易理解，玻璃基板w3和w4的平面尺寸相同，但是即使它们是 不同的尺寸也能够对应。即，在玻璃基板w3和w4的平面尺寸不同、位置对应的情况下，在 双方的外缘端面不齐而形成阶梯的情况下，如图33的供给筒26ι 所示，可以通过使排出口 24h开口的排出面2 为与该阶梯相对应的形状来解决。[第4方式]下面根据其第4-1例、第4-2例、第4_3例对上述(31)的熔融金属供给筒、组装了 该供给筒的熔融金属供给装置、熔融金属供给方法以及它们的优选方式进行说明。[第4-1 例]参照图34 图39对本发明的第4_1例即熔融金属供给筒以及组装了该供给筒的 熔融金属供给装置进行说明。图34是示出第4-1例的供给装置的主要部分的局部剖面图， 图35是示出本例供给筒的剖面图，图36以及图37是示出本例的导向部以及其变形例的立 体图，图38是示出将图36的导向部插入到玻璃基板的外周间隙中供给熔融焊锡时的状态 示意图，图39是示出图36的导向部的变形例的示意图。首先对本例的供给装置进行说明。该供给装置是制造参照图51(d)说明的、玻璃 基板w3和w4的平面尺寸不同、下侧的玻璃基板w4的端缘超出上侧的玻璃基板w3的端缘 而突出的玻璃嵌板W的供给装置，包括供给筒27、安装供给筒27的夹持器27a、以夹持器 27a为主上下浮动的浮动机构27b、支撑浮动机构27b的套管27e。浮动机构27b可以通过 上下设置了具有适度柔软性的橡胶或弹簧的构造来实现，能够保持供给筒27的姿势而不 向玻璃基板w3和w4或供给筒27作用过度的力。再有，优选通过轴部件27d使安装在夹持 器27a上的超声波振动体27c与供给筒27接合，向供给筒27的长度方向施加超声波振动。供给筒27在内部具有在侧面上的一面2 和端面侧的另一面271上开口的圆形 剖面的流过熔融焊锡Ml的流路27i，包括安装在另一面271侧上的导向部观，将导向部观 的前端部插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中，通过导向部28将从另一面271侧的第 2开口(下面称为第4-1例、第4-2例、第4-3例的排出口)2 排出的熔融焊锡Ml供给到 向外周间隙k中。如图34所示，供给筒27在向玻璃基板w3和w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml 时，位置确定在相对于外周间隙k仅向上方偏离规定高度的位置上，以不与相对于上侧的 玻璃基板w3突出的下侧的玻璃基板w4的突出部分发生干扰。从而本例的导向部观是具 有与上下方向上供给筒27的排出口 2 和外周间隙k的高度的差相对应的阶梯形状。供给装置在该另一面271与上侧玻璃基板w3的端面仅隔着规定间隙s的状态下， 将导向部观的前端部插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中的同时，可使供给筒27沿 着外周间隙以规定的速度移动一周。再有，该移动动作不必全部由供给装置进行，也可以由载置了玻璃基板w3和w4的 载物台等分担相对进行。这样一来供给装置可以与移动方式相对应具有各种构造。基于移 动方式的构造是哪一种，玻璃基板《3和w4的移动机构或供给装置的移动机构可以通过组 合公知技术，例如直线移动时组合马达和滚珠丝杠或线性导轨等，旋转移动时组合马达或 气缸与轴承来实现。上述套管27e可以通过在上下方向上调节位置的工具等安装在移动机 构上。通过这样的结构，可以事先相对于玻璃基板w3和w4的外周间隙k调节导向部25的高度，以与玻璃基板《4的厚度或间隙保持部件P的高度相匹配。参照图36 38说明本例的导向部28。如图36(a)以及图38所示，将导向部28 构成为安装在排出口 2 的下部以仅使其上表面面对流路27i，从排出口 Wh中排出的熔融 焊锡Ml基本上仅在上表面上流动，不在下表面上流动。如图36和37所示，导向部28包括一段阶梯状的板状体28c和在板状体^c的表 面上形成的突起部^a。板状体28c具有安装在供给筒27上的基端部^e、插入到外周间隙 中的前端部^cU和连结其间的倾斜部^f。基端部28e被设置为与前端部28d大致平行， 倾斜部28f被设置为相对于前端部28d呈规定的角度θ。该角度θ是由倾斜部^f的水 平方向的突出尺寸L、高度方向的阶梯高度F所决定的角度。该尺寸L、F根据供给筒27的 另一面271与玻璃基板w3的间隙S、供给筒27以及流路27i的外径尺寸等决定。角度θ 通常是钝角，但是还存在突出尺寸L为零的情况，在该情况下角度θ为90°。上述板状体 28c可以在两个部位弯曲板材来形成，也可以由块状体通过切削加工切削而形成。如图38所示，导向部28的板状体^c的前端部28d被插入到玻璃基板w3和w4 的外周间隙k中，将从供给筒27的排出口 2 中排出的熔融焊锡Ml供给到外周间隙k中。 使该导向部观沿着外周间隙k移动时，使熔融焊锡Ml在玻璃基板w3和w4的主面上滑动， 即在涂布的同时供给到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中。从而，板状体28c的前端部28d 的厚度T2比玻璃基板w3和w4的外周间隙k的尺寸g小。以下将距离前端部^d的前端 距离为L2的范围称为镘刀部^g。镘刀部^g的上下表面被设置为与玻璃基板w3和w4的 主面隔着一定的间隙Gu和Gd相对。即使有时将导向部28插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中移动时、上下方 向上外周间隙k的位置发生变化等，突起部^a也将间隙Gu和Gd维持为恒定。将突起部 28a设置在前端部28d上，但是为了后述的其他目的有时也在前端部^d以外处形成。下 面将设置在前端部28d上的突起部28a称为接触部^b。接触部28b从前端部^d的上下 表面突出，其厚度Tl与外周间隙k的尺寸g大致相同，具有插入到外周间隙k中可与玻璃 基板w3和w4的各个主面之间可滑动的接触面。再有，突起部接触部^b)可以在板 状体前端部^d)上通过粘结或叠层工艺等形成。由此，板状体28c中采用的例如金 属、玻璃、陶瓷等可以不必与突起部28a是相同的材料，可以与滑动性或耐磨损性等要求的 功能相适应采用适当的材料。再有，突起部28a与板状体28c可以一体形成。根据上述导向部观，将导向部28插入到外周间隙k中时，将接触部28b嵌合到外 周间隙k中，从而限制了外周间隙k中镘刀部28g上下方向的位置。即能够将镘刀部28g 的上表面和玻璃基板w3间的第1间隙Gu、镘刀部^g的下表面与玻璃基板w4间的第2间 隙Gd维持为恒定。优选对接触部^b实施用来提高与玻璃基板w3和w4之间的滑动性的 表面处理，例如M疏水电镀。另外，为了易于嵌入到外周间隙k中，优选对接触部28b实施 嵌入方向上存在角部的倒角。该倒角可以通过使角部修整成直线状或者曲线状的部位，通 过切削加工、磨粒加工、蚀刻等来形成。来自排出口 2 的熔融焊锡Ml被排出到导向部观的上表面上。作为优选的方式， 在本例的导向部观的上表面上设置用来将熔融焊锡Ml平滑地导入到前端部28d中的导向 槽观11。沿着熔融焊锡Ml的排出方向即排出口 27h附近的流路27i的轴心，在基端部^e、 倾斜部^f、前端部28d的上表面上连续地形成多条线状的导向槽^h。再有，不受图36 (a)中示出的方式的限定，导向槽例如像图36(b)中示出的导向部四那样，可以成为在板状体 28c上设置的规定宽度、深度的一条导向槽^a的方式，也可以如图37(a)中示出的导向部 30那样，成为将突起部28a延伸设置到倾斜部^f以及基端部28e上，并设置了以该突起部 28a为侧壁的导向槽30a的方式。导向槽的结构可以与熔融焊锡Ml的流通性或外周间隙k 的尺寸g等相适应，适当地用单独的或复合的构造来形成。熔融焊锡Ml流过导向部观的上表面被供给到第1间隙Gu中。作为优选的方式， 在本例的供给筒中，为了将供给到该第1间隙Gu中的熔融焊锡Ml导入到第2间隙Gd中， 如图36和37 (a)所示，在前端部28d上设置在厚度方向上贯通前端部^d的贯通孔29b或 者切口 28j所构成的贯通部观1。再有，如图37(b)中示出的导向部31那样，在与将导向 部洲插入到外周间隙k中移动时的箭头所表示的移动方向相对的前端部的侧面上设置切 除部31a，将导入到第1间隙Gu中的熔融焊锡Ml导入到第2间隙Gd中。该切除部31a也 与贯通部的方式相同。通过设置上述的贯通部^i，随着插入到外周间隙k中的导向部28沿着外周间隙 k移动，被导入到第1间隙Gu中的熔融焊锡Ml被良好地导入到第2间隙Gd。其结果是，从 间隙Gu和Gd向导向部观的移动方向上对导向部观后方的外周间隙k中迂回供给熔融焊 锡M1，由镘刀部28g涂布到玻璃基板w3和w4的主面上。其中，熔融金属Ml的供给宽度由 镘刀部^g的长度L2大致限定，能够得到稳定的供给宽度。再有，镘刀部^g的厚度T2根 据在均勻的面压力下使熔融焊锡Ml与玻璃基板w3和w4接触时涂入的间隙Gu和Gd的尺寸 来设定。熔融焊锡Ml随着镘刀部28g —起移动，为了良好地涂布到玻璃基板w3和w4上， 优选间隙Gu和Gd较窄。另外，为了提高熔融焊锡Ml的追随性，优选在镘刀部^g的表面 上形成与移动方向交叉的细微的槽。下面对供给筒27进行说明。供给筒27从在一个面2 上形成的第1开口 27g中 供给熔融焊锡M1，从另一面271上形成的第2开口即排出口 Wh中排出。被供给到该第1 开口 27g中的熔融焊锡Ml，例如在以规定的速度将锡焊丝M送入到第1开口 27g中的同时 被供给筒27熔融，按照应该充分地填满玻璃基板w3和w4的外周间隙k的供给量进行控制 的流量进行供给。如图35所示，供给筒27具有熔融锡焊丝M形成的熔融焊锡Ml流通的流路27i ； 形成流路27i的第1开口 27g、并熔融锡焊丝M的熔融面27k ；形成了排出口 2 的排出面 271，在其外周面上卷绕用来熔融锡焊丝M的加热器27j。通过这样结构的供给筒27，按照 被控制为以通过下端面阻塞第1开口 27g的方式与熔融面2 接触的速度送出锡焊丝M，将 其按压到熔融面27k上进行熔融。于是，熔融焊锡Ml流过流路27i，从排出口 Wh连续地 排出。第1开口 27g所开口的熔融面2 是例如对供给筒27的侧面进行锪孔加工形成 的凹状部的底面。第1开口 27g的直径ΦΒ不大于与熔融面2 接触的锡焊丝M端面的直 径ΦΑ，流路27i形成为在熔融面27k的附近直径ΦΒ的管状。由此，即使在锡焊丝M的外 周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路27i的流入也被第1开口 27g的外周缘部，即熔融 面2 所阻止，只有几乎没有混入氧化物E的洁净的熔融焊锡Ml流入到流路27i中。再有， 由于在大气中保管的焊锡M的表面上生成氧化物E层的厚度通常为几十μ m左右，所以锡 焊丝M与第1开口 Mg的直径的差，即ΦΑ-ΦΒ为Imm左右就足够了。
再有，优选在供给筒27的周围形成周壁27m以包围熔融面27k。被阻止流入到流 路27i中的氧化物E储留在熔融面27k的凹状的底部上，但是也可以通过吸引或切开周壁 27m的一部分使其流出而适当回收。另外，排出面271附近的流路27i的末端部优选形成为 与排出面271大致垂直。由此，确定供给筒27的位置以使排出面271与玻璃基板w3的外 周端面隔着间隙s相对时，排出面Mn附近的流路24i相对于外周间隙k呈平行的状态。再有，在图36(a)的供给筒27中，在排出面27的下部设置切槽，通过将基端部^e 插入到切槽中以形成基端部28e露出于流路27i的状态，在供给筒27中组装导向部观。但 是，也可以构成为即使导向部观的上表面不露出于流路27i，从排出口 2 排出的熔融焊 锡Ml也仅流过上表面的结构。如图39(a)中示出的供给筒32所示，也可以形成为从排出 面271以规定的长度沿轴向上对供给筒27的下部进行切割形成切除部，其中切除部包含流 路27i,并紧贴基端部28θ的上表面以闭塞该切除部，从而对它们讲行接合的方式。在该切 除部与基端部^e的接合部间产生了间隙的情况下，设置密封该间隙的密封板32a。另外，如图39 (b)中示出的供给筒32那样，形成为在轴向上形成供给筒27的下部 不露出流路27i的安装面，该安装面紧贴基端部^e的上表面，从而对它们进行接合的方 式。另外，也可以在图36(a)中示出的供给筒27中，在供给筒27的筒体部分上设置从排出 面271的插入孔以不露出流路27i，在该插入孔中插入导向部28进行组装。另外，在图36(a)的供给筒27中，平行地设置导向部观的前端部28d和基端部 ^e，但是也可以设置为前端部28d和基端部^e以规定的角度交叉。对上述供给筒M进行的熔融焊锡Ml的供给操作进行说明。在供给熔融焊锡Ml 时，将供给装置构成为熔融焊锡Ml对供给筒27的流通状态处于稳定状态时沿玻璃基板w3 和w4的外周间隙k移动。所谓稳定状态指可以将熔融焊锡Ml从排出口 Wh排出到导向部 28的上表面上并导入到外周间隙k中的状态，如图38所示，是排出口 2 基本上被熔融焊 锡Ml填满的状态。其中，优选开始从第1开口 27g供给熔融焊锡Ml到达该稳定状态的时 间尽可能短。因此，控制熔融焊锡Ml的供给量，以成为能够在非稳定状态下即熔融焊锡Ml 的供给开始时，熔融焊锡Ml迅速地填满流路27i，并且在稳定状态下充分地填满外周间隙k 的流量。由于如图38所示，在稳定状态下，从排出口 Wh排出的熔融焊锡Ml仅从导向部观 的上表面供给到外周间隙k中，所以首先被导入到第1间隙Gu中之后，经过第1间隙Gu被 导入到第2间隙Gd中。此时，熔融焊锡Ml在填满倾斜部^f的上表面与玻璃基板w3之间 的间隙s的同时被导入到第1间隙Gu中。其中，由于熔融焊锡Ml从倾斜部28f流下，并且 在导向部观中沿熔融焊锡Ml的流下方向形成了导向槽^h，所以熔融焊锡Ml非常顺利地 被导入到第1间隙Gu中。另一方面，由于在倾斜部^f的上表面与玻璃基板w3之间的间 隙s中存在的熔融焊锡Ml存在于前端部28d上，所以几乎不从倾斜部28f上漏出。从而， 如图51(e)所示，能够在下侧的玻璃基板w4的突出部分上形成不漏出熔融焊锡Ml的接合 部η。采用上述供给筒27时，通过排出面271与玻璃基板w3的端面之间的间隙s以及 间隙Gu和Gd，仅稍与外部气氛接触地将供给的洁净熔融焊锡Ml填充到玻璃基板w3和w4 的外周间隙k中。从而，即使是在大气气氛中，也可在抑制了氧化的状态下使供给的洁净熔 融焊锡Ml与玻璃基板w3和w4的主面接触。从而，本例的供给装置适用于使用借助适量的氧而与玻璃具有优异的接合性的SnAgAl系合金焊料的情形。再有，为了提高熔融焊锡Ml 的填充性，优选至少对导向部27的表面、至少是与熔融焊锡Ml接触的面进行提高与熔融焊 锡Ml的浸润性的处理，例如被覆Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外，优选实施作为防溶蚀 处理的氮化处理，以使导向部27的表面不被熔融焊锡Ml溶蚀而使杂质混入到熔融焊锡Ml 中。再有，优选对流路27i的表面也进行这些处理。接下来说明由本例的供给装置进行的向外周间隙k中供给熔融焊锡Ml的操作。在 内置了发热体的、可在XY两轴方向上移动的载物台上，通过规定尺寸的间隙保持部件P，确 定上下设置的玻璃基板《3和w4的位置，将玻璃基板w3和w4加热到熔融焊锡Ml的熔融温 度的程度。供给筒27中，导向部观的镘刀部28g被插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k 中一边端部的规定位置上，移动供给筒27以在玻璃基板w3的端面和排出面271间形成规 定的间隙S。此时，预先调节安装位置，以使镘刀部28g来到外周间隙k的上下方向的中心 附近，但是难以精确地调整到外周间隙k的中央。但是，不良好地进行该调节时，即使将镘 刀部28g插入到外周间隙k中，也有接触部28b接触上下任意一个玻璃基板w3或w4的端 面的可能性。其中，供给筒27在上下方向上被浮动机构支撑，另外由于对接触部^b实施 倒角，所以容易将接触部28b嵌入到外周间隙k中。由此，将镘刀部^g的位置确定在外周 间隙k的上下方向上的大致中央处，镘刀部^g与玻璃基板w3以及w4的间隙Gu和Gd上 下大致相同。由于被控制的规定流量的熔融焊锡Ml被供给到流路27i中，所以为了短时间达到 稳定状态，向外周间隙k的一边供给熔融焊锡Ml，可以使玻璃基板w3和w4呈直线以规定的 速度向一个方向(X方向)移动。期间，熔融焊锡Ml被导入到间隙Gu和Gd中，填充到玻璃 基板w3和w4的外周间隙k中，但是由于不从导向部观的下面供给熔融焊锡Ml，所以在下 侧的玻璃基板《4的突出部分上不会漏出熔融焊锡Ml。另外，由于接触部28b嵌入到位置间 隙k中并且处于浮动状态，所以对随着玻璃基板w4的厚度偏差或向X方向的载物台的上下 方向的弯曲等，在玻璃基板w3和w4的移动时产生的外周间隙k的上下方向的位置变化也 可进行追随，从而，间隙Gu和Gd也可维持各自的尺寸。由此，由于沿镘刀部^g的上下表 面导入几乎相同量的熔融焊锡M1，所以随着镘刀部观8的移动而移动的熔融焊锡Ml的流动 状态在间隙Gu和Gd中几乎相同，对玻璃基板w3的主面、对玻璃基板w4的主面同样地供给 熔融焊锡Ml。另外，在填充中使超声波振动，并向导向部观施加超声波振动时，熔融焊锡Ml与 导向部28、以及熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的浸润性提高，即使在间隙Gu和Gd较 窄的情况下也平滑地供给熔融焊锡Ml。该超声波振动通过熔融焊锡Ml还作用在玻璃基板 w3和w4的主面上，除去熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的接触界面上存在的气泡或氧 化膜等杂质。从而，能够提高熔融焊锡Ml对玻璃基板w3和w4的接合性，对于玻璃嵌板W 的接合强度的提高是有效的。如上所述，在外周间隙k的一边的熔融焊锡Ml的供给结束时，安装有供给筒27的 套筒27e在水平方向上旋转90度，接着，玻璃基板w3和w4沿着与上述一边正交的另一边 水平移动。并且，即使在另一边也与上述一边相同，向外周间隙k供给熔融金属M1，同时在 玻璃基板w4的突出部分上熔融焊锡Ml不会漏出。对各边依次进行该操作，向玻璃基板w3 和w4的整个外周间隙k中供给熔融焊锡Ml，且被供给的熔融焊锡Ml不会在玻璃基板w4的突出部分漏出。向该玻璃基板《3和w4的供给操作结束时，载置了玻璃基板w3和w4的载 物台被转移到外部。再有，从搬出到外部的载物台上取下玻璃基板w3和w4，但是由于熔融 焊锡Ml没有附着在载物台上，所以没有必要进行从载物台上除去焊锡的操作。接着，重新装载载置有其他的玻璃基板w3和w4并进行了加热准备的其他载物台， 与上述供给操作同样地进行向新的玻璃基板w3和w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml的 操作。其中，由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安装到载物台上的状态 不同，存在新的玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周间隙k的位置不同的可能性。即使 在该情况下，通过本例的供给装置，由于在上下方向上由浮动机构支撑供给筒观，另外对接 触部^b实施了倒角，所以能够在上下方向上将镘刀部28g插入到外周间隙k的中心位置 上，能够在维持间隙Gu和Gd的尺寸的状态下填充熔融焊锡Ml。再有，导向部观沿着外周间隙k移动时，由于毛细管现象，熔融焊锡Ml浸透到接 触部28b与玻璃基板w3和w4的主面之间。被该浸透了的熔融焊锡Ml所引领，接触部28b 接触并且通过后的接触区域上，从镘刀部28g向该接触区域迂回供给熔融焊锡Ml。但是，在 接触部^b的长度较长的情况下，由于恐怕不能向整个接触区域部分供给熔融焊锡M1，所 以优选接触部^b的长度较短，为接合部η的宽度的10-20%左右更为合适。再有，接触部 ^b的上下表面不限于如图36或37所示的平坦平面，也可以是形成了沟槽的平面，另外也 可以是曲面。[第4-2 例]参照图40对本发明的第4-2例即熔融金属供给筒以及组装了该供给筒的熔融金 属供给装置进行说明。在第4-1例中，以具有前端部^cU基端部28e和连结它们的倾斜部^f的在两个 位置弯曲的具有阶梯形状的板状体28c作为导向部观的元件为例，对供给筒27进行了说 明。另一方面，如图40所示，本例中的供给筒33以仅打开规定角度θ的L字形状的板状 体33c为导向部的元件。即，板状体33c是在一个位置弯曲的形状，具有前端部33d和倾斜 部33e，呈相对于流路27i平行的姿势，将倾斜部3 安装到排出口 3 的底部上。本例的 供给筒33与上述供给筒27 —样，能够使熔融焊锡Ml仅在板状体33c的上表面上流动，将 熔融焊锡Ml供给到外周间隙k中，与上述供给筒27相比可简化板状体33c的形状。此外， 在本例的供给筒33中，向外周间隙k中供给熔融焊锡Ml时，将供给筒33设置为流路27i 相对于外周间隙k仅倾斜规定的角度θ，流路27i向下方倾斜。从而，位于流路27i中的熔 融焊锡Ml容易向下方流出，流路27i中的熔融焊锡Ml的流动性高。因此，能够向外周间隙 k中良好地供给熔融焊锡Ml。[第4-3 例]参照图41对本发明的第4-3例即熔融金属供给筒以及组装了该供给筒的熔融金 属供给装置进行说明。第4-1例、第4-2例的供给筒27、33采用在一个位置或两个位置弯曲的板状体，本 例的供给筒34、35在以前端部和基端部直接连结成一条直线状的笔直的板状体为导向部 的元件的方面有所不同。图41 (a)中示出的供给筒34是这样构成的，从排出面271在轴向 上仅按规定的长度切割供给筒34的下部，形成切除部以包含流路27i，密封地接合板状体 34c的基端部34的上表面以闭塞该切除部，仅在板状体3 的上表面上流过熔融焊锡M1，通过插入到外周间隙k中的前端部3 供给熔融焊锡Ml。再有，切除部的长度大于下侧玻 璃基板w4的突出部分的长度，在切除部与基端部34d的接合部中产生间隙的情况下，设置 密封该间隙的密封板32a。由此，即使在供给熔融焊锡Ml时不将供给筒34设置在玻璃基板 w4的上方，也能够避免玻璃基板w4的突出部分与供给筒34发生干扰。另外，如图41 (b)所示，也可以采用安装基端部35d的底面是平面即四角形剖面的 供给筒35。在该情况下，也可以将熔融焊锡Ml从在排出面271上开口的排出口 2 的整 个面上排出到导向部35d的上表面上。但是，从防止熔融焊锡Ml氧化的观点出发，优选在 排出面271上安装具有仅在排出口 Wh的下部开口的排出口 35c、并闭塞上部的盖35b。再 有，闭塞该排出面271的盖3 也可以适用于上沭第4-1例以及第4-2例的供给筒。上面在第4-1例、第4-2例、第4_3例中说明了在板状体的后端侧设置用来将镘刀 部与玻璃基板的主面的间隙维持为恒定的接触部的供给筒的例子，但是如图42(a)所示， 也可以成为在前端部^d的前端设置接触部^b的导向部36。在该情况下，可以形成更宽 的稳定的接合部。另外，也可以成为如图42(b)中示出的导向部37那样的不具有接触部的构造。玻 璃基板的厚度偏差或玻璃基板移动机构的引导振动等极小，这也适用于玻璃基板的厚度偏 差或玻璃基板的移动机构的引导振动等极小，只在可忽略间隙的程度上变化，例如对于一 边为几到十几cm左右的小尺寸玻璃基板的情况。再有，在该情况下作为供给装置未必由浮 动机构支撑供给筒。另外，本例中以玻璃基板w3和w4的平面尺寸是不同的尺寸、下侧玻璃基板w4相 对于上侧玻璃基板w3突出的玻璃嵌板W为例进行了说明。但是，对于采用相同尺寸的玻璃 基板w3和w4、端面一致的玻璃嵌板W，上述例子也可以适用。[第5方式]下面根据其第5例对上述(38)的熔融金属供给筒、组装了该供给筒的熔融金属供 给装置、熔融金属供给方法以及它们的优选方式进行说明。[第5 例]参照图43 图49对本发明的第5例即熔融金属供给筒以及组装了该供给筒的熔 融金属供给装置进行说明。首先对供给装置进行说明。供给装置是制造参照图51(a)、(b)说明的玻璃嵌板W 的供给装置，包括供给筒38 ；安装供给筒38的夹持器38a ；以夹持器38a为主上下浮动的 浮动机构38b ；支撑浮动机构38b的套管38e。浮动机构38b可以通过上下设置了具有适度 柔软性的橡胶或弹簧的构造来实现，能够保持供给筒38的姿势而不向玻璃基板w3和w4或 供给筒38作用过度的力。再有，在夹持器38a上安装超声波振动体38c，优选通过轴部件 38d与供给筒38接合，向供给筒38的长度方向施加超声波振动。如图43和44所示，供给筒M在内部具有一面3 和另一面381上开口的流过熔 融焊锡Ml的圆形剖面的流路38i，和横切与另一面381正交的第2开口(下面称为第5例 的排出口)38h、仅插入安装到流路38i中深度LO的导向部39，通过导向部39将从一面3 的开口(下面称为第5例的第1开口)38g供给的、从第2开口 3 排出的熔融焊锡Ml供 给到外周间隙k中。供给装置在另一面381与玻璃基板w3和w4的端面隔着规定间隙s的状态下，在将导向部39插入到玻璃基板w3、w4的外周间隙k中的同时，使供给筒38可沿着外周间隙 k以规定的速度移动一周。再有，该移动动作没有必要全部由供给装置进行，也可以由载置 了玻璃基板w3和w4的载物台等分担而相对进行。这样一来供给装置可以与移动方式相对 应具有各种构造。基于移动方式的构造是哪一种，玻璃基板w3和w4的移动机构或供给装 置的移动机构可以通过组合公知的技术，例如直线移动时组合马达和丝杠或线性导轨等， 旋转移动时组合马达或气缸与轴承来实现。上述套管2 可以通过在上下方向上调节位置 的工具等安装在移动机构上。通过这样的结构，可以事先相对于玻璃基板w3和w4的外周 间隙k调节导向部25的高度，以与玻璃基板w4的厚度或间隙保持部件Q的高度相匹配。如图45所示，导向部39包括比玻璃基板w3和w4的外周间隙k的尺寸g小的厚 度(T2)的板状体39c;从板状体39c的上下表面突出的、与外周间隙的尺寸大致相同厚度 (Tl)的突起部39a。再有，本例的突起部39a设置在板状体39c的后端侧的左右，在插入到 供给筒38中的状态下安装导向部39，以在上下方向上横切排出口 3 的大致中央部分。如图46所示，导向部39被插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙k中，将从供给筒 38的排出口 3 中排出的熔融焊锡Ml供给到外周间隙k中。使该导向部39沿着外周间隙 k移动时，使熔融焊锡Ml在玻璃基板w3和w4的主面上滑动，即在涂布的同时供给到玻璃 基板w3和w4的外周间隙k中。其中，如图45所示，下面将板状体39c中插入到外周间隙 k中的L2部分称为镘刀部39d。另外，在板状体39c的上下表面上形成的突起部39a被形 成为从排出口 3 仅突出Li。突起部39a具有插入到外周间隙k中、与玻璃基板w3和w4 的主面可滑动地接触的面，下面将形成了该接触面的部分称为接触部39b。如图46所示，镘刀部39d将从排出口 3 供给的熔融焊锡Ml导入到镘刀部39d 的上表面与玻璃基板w3的第1间隙Gu、镘刀部39d的下表面与玻璃基板w4的第2间隙Gd 中，涂布到玻璃基板w3和w4的主面上。从而，为了使熔融焊锡Ml良好地涂布到玻璃基板 w3和w4的主面上，优选间隙Gu和Gd较窄，以使熔融焊锡Ml追随镘刀部39d —起移动。但 是，由于流体阻力，被导入到狭窄的间隙Gu和Gd中的熔融焊锡Ml难以到达镘刀部39d的 前端。 下面，参照图47 (a)对被导入到间隙Gu和Gd中的熔融焊锡Ml的流动状态进行说 明。再有，图47 (a)中示出的镘刀部40c是平面视图为矩形形状的板状体的前端部分，镘刀 部40c向箭头F方向移动。图中，由供给筒38供给的熔融焊锡Ml难以在间隙Gu和Gd内流向镘刀部40c的前 端40g。其中，由于流体阻力，熔融焊锡Ml的流动速度越向前端40g越低，而且镘刀部40c 向箭头F的方向移动，所以流过间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml的流动方向越向镘刀部40c的 前端前进越相对于移动方向F向后方偏离。其中，在间隙Gu和Gd中流动的熔融焊锡Ml的 流线随熔融焊锡Ml的供给量、在间隙Gu和Gd的入口处的流速、玻璃基板与镘刀部的摩擦 系数、玻璃基板以及镘刀部与熔融焊锡Ml的浸润性、镘刀部40c的移动速度等供给条件而 不同，但是在间隙Gu和Gd的大小狭小的情况下，流过间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml的外周 r成为没有到达镘刀部40c的前端40g的状态。其中，最终形成的接合部η的宽度由流过了间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml从镘刀部 40c的后表面40i离开后合流，然后填充到外周间隙中时的涂布宽度来限定。该涂布宽度由 后表面40i上熔融金属Ml的外周r的位置来限定。并且，在流过了间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml的外周r没有到达镘刀部40c的前端40g的情况下，熔融焊锡Ml在没有任何限制的 不稳定状态下在间隙Gu和Gd中流动。从而，在上述说明的供给条件变化时，熔融焊锡Ml 的流动状态也会变化，在第1间隙Gu和第2间隙Gd中外周r不同的位置处，熔融焊锡Ml 从后表面40i离开，其结果是，涂布宽度变得不均勻。而且，在镘刀部40c的前端侧上，由于 伴随镘刀部40c的移动同时移动的熔融焊锡Ml的量较少，所以在熔融焊锡Ml与玻璃基板 的接触界面上产生空孔等缺陷，接合部与玻璃基板的接合强度和密封性降低。再有，将供给 压力提高到熔融焊锡Ml达到镘刀部40c的前端的程度以增加熔融焊锡Ml的供给量，则由 于熔融焊锡Ml的流动状态被前端40g所限制所以涂布宽度稳定，但是在该情况下，从供给 筒38与玻璃基板的端面的间隙s中流出熔融焊锡M1，导致玻璃嵌板的外观质量等变差的问 题。第5例的导向部39解决了上述问题。如图45所示，导向部39的镘刀部39d在朝 向移动方向F的侧部即朝向突出方向的其前端部上具有切除部39m。具体地说，镘刀部39d 的形状具有相对于移动方向F正交的前表面39f ；在镘刀部39d的突出方向上，在前端形 成的、相对于镘刀部39d的移动方向F平行的前端面39g ；相对于镘刀部39d的移动方向F 向后方倾斜的、将前表面39f和前端面39g连结为倒角状的倾斜面39h ；后表面39i，前表面 39f和前端面39g的延长线和倾斜面39h所构成的区域是切除部39m。通过具有上述切除部39m的镘刀部39d起到下面的作用。S卩，如图47(b)所示，流 过第1间隙Gu的熔融焊锡Ml中存在于移动方向F前部的熔融焊锡Ml到达镘刀部39d的 倾斜面39h，沿着该倾斜面39h流动到前端面39g。另外，到达了倾斜面39h的熔融焊锡Ml 的一部分越过倾斜面39h进入到切除部39m中，然后与流过第2间隙Gd的熔融焊锡Ml合 流，沿着倾斜面39h流动到前端面39g。其结果是，流过间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml的外 周r的位置受前端面39g的限制经常为恒定，从后表面39i离开合流的熔融焊锡Ml的宽度 稳定。而且，由于镘刀部36d的前端部分中熔融焊锡Ml的流量增加，所以在熔融焊锡Ml与 玻璃基板的接触界面上不易产生空孔等缺陷，能够得到希望的接合质量的接合部。如上所 述，本例的镘刀部39d即使不过剩地供给用来填充到玻璃基板之间的外周间隙中的熔融焊 锡M1，也能够使流过间隙Gu和Gd的熔融焊锡Ml的外周r与切除部39m的倾斜面39h交叉 而导入到前端面39g上，从而按照希望的宽度供给熔融焊锡Ml。参照图48对上述镘刀部39d的变形例进行说明。安装在图48 (a)中示出的供给 筒41上的镘刀部41d除了与镘刀部39d —样在镘刀部41d的前端形成的倾斜面(第1倾 斜面)39h，还具有相对于镘刀部41d的移动方向F向后方倾斜、形成在镘刀部41d的基端侧 上的第2倾斜面41a，第2倾斜面41a与第1倾斜面39h的端部之间由R面平滑地连结，前 端面39g、前表面39f的延长线以及第1倾斜面39h、第2倾斜面41a构成切除部41m。安装在图48(b)中示出的供给筒43上的镘刀部42d除了与镘刀部39d —样形成 在镘刀部42d的前端的倾斜面39h，还具有相对于镘刀部42d的移动方向F平行的、形成在 镘刀部42d的基端侧上的平行面42a，平行面4 与倾斜面39h的端部之间由R面平滑地连 结，前端面39g、前表面39f的延长线以及倾斜面39h、平行面4 构成切除部42m。安装在图48(c)中示出的供给筒43上的镘刀部43d除了具有相对于镘刀部43d 的移动方向F向后方倾斜、形成在镘刀部43d的基端侧上的倾斜面43b，和相对于移动方向 F正交、形成在镘刀部43d的前端的正交面43a，倾斜面4 与正交面43a的端部之间由R面平滑地连结，前端面39g、前表面39f的延长线以及倾斜面43b、正交面43a构成出切除部 43m。再有，在上述例子中，在平面视图为直线状的面上形成了切除部39m、41m 43m， 但是这些面也可以是曲线状，也可以是直线与曲线组合的形状。另外，镘刀部的前端也可以 不是具有一定长度的前端面，例如也可以是前端尖的形状。而且，倾斜面等的倾斜角度和形 状可以根据熔融焊锡的供给量、玻璃基板与镘刀部之间的间隙入口处熔融焊锡的流速、玻 璃基板与镘刀部的摩擦系数、玻璃基板以及镘刀部与熔融焊锡的浸润性、镘刀部的移动速 度等供给条件适当确定。另外，如安装在图48(d)中示出的供给筒44上的镘刀部44d那样， 后表面4 也可以形成为与倾斜面39h大致平行。该镘刀部44d沿镘刀部44d的移动方向 F的镘刀部44d的长度从基端到前端面39g大致恒定，能够使与移动方向F垂直的方向(宽 度方向)上熔融焊锡Ml涂布到玻璃基板主面上的效果均勻。对接触部39b进行说明。如图45和46所示，将导向部39插入到外周间隙k中时， 触部39b嵌合到外周间隙k中，由此#外周间隙k限穿锝刀部39d的h.TTf ^^W0
即，能够将镘刀部39d的上表面与玻璃基板w3之间的第1间隙Gu、镘刀部39d的下表面与 玻璃基板《4之间的第2间隙Gd维持为恒定。再有，优选对接触部39b进行用来使与玻璃 基板w3和w4的主面的滑动性更好的表面处理，例如Ni疏水镀。再有，构成镘刀部39d的 板状体39c和构成接触部39b的突起部39a可以由一体构造来形成，也可以是通过粘结或 叠层工艺等固着了其它部件的组装构造，是组装构造时，可以使板状体39c为玻璃，使突起 部39a为金属等，与要求的功能相适应选择适当的材料进行组合。另外，为了容易嵌入到外 周间隙k中，优选对接触部39b的侧面或与镘刀部39d的阶梯面的角上实施倒角C。该倒角 c可以通过切削加工、喷砂加工、蚀刻等，通过将角部倒成直线状或曲线状来形成。对在导向部上形成的导向槽进行说明。如图45(a)所示，在导向部39的上下表面 的基端上形成以左右的突起部39a为侧壁的导向槽39e。由于导向槽39e通过排出口 3 与流路38i连通，所以流过流路38i从排出口 3 中排出的熔融焊锡Ml通过导向槽39e流 入到镘刀部39d中。该导向槽39e的宽度、深度及形状可以与熔融焊锡Ml的流动性相匹配 适当确定。例如，如图45(b)所示，可以设置掘入到板状体39c的上下表面、到达倾斜面39h 的导向槽。供给筒38从在一个面3 上形成的第1开口 38g中供给熔融焊锡Ml，从另一面 381上形成的排出口 3 中排出。被供给到该第1开口 38g中的熔融焊锡Ml例如在以规定 的速度将锡焊丝M送入到第1开口 38g中的同时被供给筒38熔融，按照应该充分地填满玻 璃基板w3和w4的外周间隙k的供给量进行控制的流量进行供给。如图44所示，供给筒M具有如上所述熔融锡焊丝M形成的熔融焊锡Ml流通的 流路38i ；形成流路38i的第1开口 38g、熔融锡焊丝M的熔融面38k ；形成了排出口 3 的 排出面381，在其外周面上卷绕用来熔融锡焊丝M的加热器38j。通过这样结构的供给筒 38，按照被控制为成下端面闭塞第1开口 38g的姿势与熔融面3 搭接的速度送出锡焊丝 M，并将其按压到熔融面3 上进行熔融。于是，熔融焊锡Ml流过流路38i，从排出口 3 连 续地排出。第1开口 38g所开口的熔融面3 是例如对供给筒38的表面进行锪孔加工形成 的凹状部的底面。第1开口 38g的直径ΦΒ不大于与熔融面3 搭接的锡焊丝M的端面直径ΦΑ，流路38i形成为至少在熔融面3 的附近为直径ΦΒ的管状。由此，即使在锡焊丝M 的外周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路38i的流入也被第1开口 38g的外周缘部，即 熔融面3 所阻止，只有几乎没有混入氧化物E的洁净的熔融焊锡Ml流入到流路38i中。 再有，由于在大气中保管的限制焊锡M的表面上生成的氧化物E的层的厚度通常为几十μπι 左右，所以锡焊丝M与第1开口 38g的直径的差，SP ΦΑ-ΦΒ为Imm左右就足够了。再有，优选在供给筒38的周围形成周壁38m以包围熔融面38k。被阻止流入到流 路38i中的氧化物E储留在熔融面38k的凹状的底部上，但是也可以通过吸引或切开周壁 38m的一部分使其流出而适当回收。另外，排出面381附近的流路38i的末端部优选形成为 与排出面381大致正交。由此，确定供给筒38的位置以使排出面381与玻璃基板w3和w4 的外周端面隔着间隙s相对时，排出面381附近的流路38i相对于外周间隙k呈平行的状 态。对上述供给筒38进行的熔融焊锡Ml的供给操作进行说明。在供给熔融焊锡Ml 时，将供给装置构成为熔融焊锡Ml对供给筒38的流通状态处于稳定状态时沿玻璃基板w3 和w4的外周间隙k移动。所谓稳定状态指可以将熔融焊锡Ml从排出口 3 排出到导向部 39的上表面上并导入到外周间隙k中的状态，如图46所示，是排出口 3 基本上被熔融焊 锡Ml填满的状态。其中，优选开始从第1开口 38g供给熔融焊锡Ml到达该稳定状态的时 间尽可能短。因此，控制熔融焊锡Ml的供给量，以成为能够在非稳定状态即熔融焊锡Ml的 供给开始时，熔融焊锡Ml迅速地填满流路38i，在稳定状态下充分地填满外周间隙k的流
Mo采用上述供给筒38时，在排出面381与玻璃基板w3以及w4的端面的间隙s以及 间隙Gu和Gd中，仅稍与外部气氛接触地将供给的洁净熔融焊锡Ml填充到玻璃基板w3和 w4的外周间隙k中。从而，即使是大气气氛，也可在抑制了氧化的状态下使供给的洁净的熔 融焊锡Ml与玻璃基板w3和w4的主面接触。从而，本例的供给装置适用于使用通过适量的 氧而与玻璃具有优异的接合性的SnAgAl系合金焊料的情形。再有，为了提高熔融焊锡Ml 的填充性，优选至少对导向部39的表面中至少与熔融焊锡Ml接触的面进行提高与熔融焊 锡Ml的浸润性的处理，例如被覆Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外，优选实施作为防溶蚀 处理的氮化处理，以使导向部39的表面不被熔融焊锡Ml溶蚀而使杂质混入到熔融焊锡Ml 中。再有，优选对流路38i的表面也进行上述处理。接下来说明由本例的供给装置进行的向外周间隙k中供给熔融焊锡Ml的操作。在 内置了发热体的、可在XY两个轴向上移动的载物台上，通过规定尺寸的间隙保持部件Q确 定上下设置的玻璃基板《3和w4的位置，将玻璃基板w3和w4加热到熔融焊锡Ml的熔融温 度的程度。供给筒38中，导向部39的镘刀部39d被插入到玻璃基板w3和w4的外周间隙 k中一边端部的规定位置上，移动供给筒38以在玻璃基板w3和w4的端面与排出面381间 形成规定的间隙s。此时，预先调节安装位置，以使镘刀部39d来到外周间隙k的上下方向 的中心附近，但是难以精确地调整到外周间隙k的中央。但是，不良好地进行该调节时，即 使将镘刀部39d插入到外周间隙k中，也有接触部39b接触上下任意一个玻璃基板w3或w4 的端面的可能性。其中，供给筒38在上下方向上被浮动机构支撑，另外由于对接触部39b 实施倒角c，所以容易将接触部39b嵌入到外周间隙k中。由此，将镘刀部39d的位置确定 在外周间隙k的上下方向上的大致中央处，镘刀部39d与玻璃基板w3以及w4的间隙Gu和Gd上下大致相同。为了从规定流量的熔融焊锡Ml被供给到流路38i中、从排出口 38h中排出开始， 短时间达到稳定状态，向外周间隙k的一边供给熔融焊锡Ml，可以使玻璃基板w3和w4呈直 线以规定的速度向一个方向(X方向)移动。期间，熔融焊锡Ml被导入到间隙Gu和Gd中， 逐渐供给到玻璃基板《3和w4的外周间隙k中，但是由于接触部39b嵌入到外周间隙k中 并且处于浮动状态，所以39b也会追随玻璃基板w4的厚度偏差或向X方向的载物台的上下 方向的弯曲等，在玻璃基板w3和w4的移动时产生的外周间隙k的上下方向的位置变化，使 间隙Gu和Gd维持各自的尺寸。由此，由于沿镘刀部39d的上下表面导入几乎相同量的熔 融焊锡Ml，所以随着镘刀部39d的移动而移动的熔融焊锡Ml的流动状态在间隙Gu和Gd中 几乎相同，对玻璃基板《3的主面、对玻璃基板w4的主面同样地供给熔融焊锡Ml。另外，在填充中启动超声波振动，向导向部39施加超声波振动时，熔融焊锡Ml与 导向部39、以及熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的浸润性提高，即使在间隙Gu和Gd较 窄的情况下也平滑地供给熔融焊锡Ml。该超声波振动通过熔融焊锡Ml还作用在玻璃基板 w3和w4的主面上，除去熔融焊锡Ml与玻璃基板w3以及w4的接触界面上存在的气泡或氧 化膜等杂质。从而，能够提高熔融焊锡Ml对玻璃基板w3和w4的接合性，对于玻璃嵌板W 的接合强度的提高是有效的。如上所述，在外周间隙k的一边的熔融焊锡Ml的供给结束时，安装了供给筒38的 套筒38e在水平方向上旋转90度，接着，玻璃基板w3和w4沿着与上述一边正交的另一边 水平移动。并且，即使在另一边也与上述一边相同，向外周间隙k中供给熔融金属Ml。对各 边依次进行该操作，向玻璃基板w3和w4的整个外周间隙k中供给熔融焊锡Ml。向该玻璃 基板w3和w4的供给操作结束时，载置了玻璃基板w3和w4的载物台被转移到外部。再有， 从搬出到外部的载物台上取下玻璃基板w3和w4，但是由于熔融焊锡Ml没有附着在载物台 上，所以没有必要进行从载物台上除去焊锡的操作。接着，重新装载载置有其他的玻璃基板w3和w4并进行了加热准备的其他载物台， 与上述供给操作同样地进行向新的玻璃基板w3和w4的外周间隙k中供给熔融焊锡Ml的 操作。其中，存在由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安装到载物台上的 状态不同，而使玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周间隙k的位置不同的可能性。即使 在该情况下，通过本例的供给装置，由于在上下方向上由浮动机构支撑供给筒38，另外对接 触部39b实施了倒角c，所以能够在上下方向上将镘刀部39d插入到外周间隙k的中心位置 上，能够在维持间隙Gu和Gd的尺寸的状态下填充熔融焊锡Ml。再有，导向部39沿着外周间隙k移动时，由于毛细管现象，熔融焊锡Ml浸透到接 触部39b与玻璃基板w3以及w4的主面之间。被该浸透的熔融焊锡Ml所引领，从镘刀部 39d向接触部39b接触并且通过后的接触区域迂回供给熔融焊锡Ml。但是，在接触部39b 的长度较长的情况下，由于恐怕不能向整个接触区域部分供给熔融焊锡Ml，所以优选接触 部39b的长度较短，为接合部η的宽度的10-20%左右最佳。再有，接触部39b的上下表面 不限于如图45所示的平坦平面，也可以是形成了槽的平面，另外也可以是曲面。上面，第5例的供给装置是为了将镘刀部39d与玻璃基板w3以及w4的间隙Gu和 Gd维持为恒定，在导向部39上设置构成接触部39b的突起部39a，并将突起部39a插入到 供给筒38中的例子的供给装置。但是，如图49(a)中示出的供给筒45那样，也可以不将突起部39a插入到供给筒45中，而仅在从供给筒45的端面伸出的邻近部分上形成突起部39a 来构成接触部39b。另外，如图49(b)的供给筒46所示，也可在板状体39c的前端部上形成 突起部39a来构成接触部39b。另外，如图49(c)中示出的供给筒47那样，也可以仅采用没 有突起部的厚度相同的板状体47a。这也适用于玻璃基板的厚度偏差或玻璃基板的移动机 构的引导振动等极小，仅在可忽略间隙的程度上变化，例如一边为几到十几cm左右的小尺 寸玻璃基板的情况。再有，在该情况下对于供给装置也未必由浮动机构支撑供给筒。另外，导向部39可以横切排出口 3 安装在供给筒上，不限定于安装在上下方向 的大致中心部上，也可以安装在向上方向或下方向错开的适当位置上。例如，向下方向错开 时，可以减少从供给筒的排出面与玻璃基板的间隙中流向重力方向的熔融焊锡的漏出量， 也可以安装在来自于排出口的熔融焊锡不从导向部的下侧漏出的位置上。在该情况下，可 以在导向部上设置适当的贯通孔或贯通槽，以使熔融焊锡从上面侧流向下面侧。附图标记说明2、8、11 熔融焊锡供给装置2a、lid:锡焊丝供给装置3、9 加热熔融装置3a、9a、10、14、17、24、23、26a、26c、26e、27、32、32b、33、34、35、38 供给筒4、4a、4d、4f、10i 氧化物除去部2e、8a 移动装置8d 保持装置Ila:载置装置12 熔融焊锡供给装置13、22 熔融焊锡供给部15 支撑部16、18、19、20、21、22a、22a、22e、22h、22j、25、28、39 导向部Ml，nl，n2 熔融焊锡W 玻璃嵌板wl、w2、w3、w4 玻璃基板S、Si、S2 玻璃基板的主面k:外周间隙kn, m 接合部
权利要求
1.一种熔融金属供给筒，为对固相低熔点金属材料进行熔融然后供给的熔融金属供 给筒，其特征在于，具有熔融部，其与所述低熔点金属材料直接或间接接触生成熔融金属； 大致管状的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的第1开口以及在另一端具有第 2开口，并使所述熔融部生成的熔融金属流过；在所述低熔点金属材料在所述熔融部中被 熔融以前/时，通过氧化物除去部除去所述低熔点金属材料表层的氧化物。
2.如权利要求1所述的熔融金属供给筒，其特征在于，其结构为所述氧化物除去部与 所述熔融部一体设置，所述低熔点金属材料熔融时，除去所述低熔点金属材料表层的氧化 物。
3.如权利要求2所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述第1开口在所述氧化物除去 部上开口，该第1开口的面积小于所述低熔点金属材料与所述熔融部接触的面积。
4.如权利要求2或3所述的熔融金属供给筒，其特征在于，在所述第1开口的周围设置 氧化物捕捉部。
5.如权利要求2或3所述的熔融金属供给筒，其特征在于，具有从所述第1开口的周围 排出氧化物的氧化物排出部。
6.如权利要求1所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述氧化物除去部另外单独设 置，在低熔点金属材料熔融前除去所述低熔点金属材料表层的氧化物。
7.如权利要求6所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括除去所 述低熔点金属材料表层的刃部。
8.如权利要求6所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括等离子 体照射装置。
9.如权利要求6所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括喷砂装置。
10.如权利要求1所述的熔融金属供给筒，其特征在于，对所述流通通路的表面实施提 高与熔融金属的浸润性的处理。
11.如权利要求1所述的熔融金属供给筒，其特征在于，对所述流通通路的表面进行相 对于熔融金属的防溶蚀处理。
12.如权利要求1所述的熔融金属供给筒，其特征在于，具有引导所述熔融部所生成 的、从所述第2开口排出的熔融金属导向部。
13.如权利要求12所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部呈大致平板状。
14.如权利要求12所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部呈大致柱状或呈 大致筒状。
15.如权利要求12至14中任一项所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部呈 前端较细的形状。
16.如权利要求12至14中任一项所述的熔融金属供给筒，其特征在于，在所述导向部 中形成熔融金属的导向槽。
17.如权利要求12至14中任一项所述的熔融金属供给筒，其特征在于，在所述导向部 中形成与供给熔融金属的被供给面接触的接触面。
18.一种熔融金属供给筒，是向彼此的主面通过间隙相对设置的一对板状体的外周间 隙中供给熔融金属的权利要求12记载的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部具有镘刀部，其结构为具有与一个板状体的主面隔着第1间隙相对的第1平面和与另一个板状体 的主面隔着第2间隙相对的第2平面，同时可以插入到所述一对板状体的外周间隙中；从所 述镘刀部的第1平面突起并可与一个板状体的主面接触的第1接触部和/或从所述镘刀部 的第2平面突起并可与另一个板状体的主面接触的第2接触部。
19.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，其结构为将所述导向部插入 到所述外周间隙中时，所述第1接触部与一个板状体的主面接触，并且所述第2接触部与另 一个板状体的主面接触。
20.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，对所述接触部的与所述板状 体的主面接触的面实施提高与该板状体的滑动性的处理。
21.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，在所述接触部中沿着所述导 向部插入到外周间隙中的方向形成凹部。
22.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述接触部设置在所述导向 部插入到外周间隙中的方向上的后端侧。
23.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述接触部设置在所述导向 部插入到外周间隙中的方向上的前端侧。
24.如权利要求18所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述接触部具有可以在所述 外周间隙的厚度方向上弯曲的弹性。
25.一种熔融金属供给筒，是向彼此相对的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间 隙中供给熔融金属的如权利要求12所述的熔融金属供给筒，其特征在于，将所述导向部安 装为横切所述第2开口，在被该导向部分成上侧排出口和下侧排出口的所述第2开口中，从 下侧排出口排出的熔融金属的量少于从上侧排出口排出的熔融金属的量。
26.如权利要求25所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述下侧排出口的面积比所 述上排出口的面积小。
27.如权利要求25所述的熔融金属供给筒，其特征在于，将所述导向部从第2开口插入 到流路内规定的深度，在被该导向部分成上侧流路和下侧流路的流路中，下侧流路的容积 比上侧流路的容积小。
28.如权利要求25所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部在比所述第2开口 的中心向下方偏置的状态下被插入到所述流通通路中。
29.如权利要求25所述的熔融金属供给筒，将所述导向部横切所述第2开口的中心附 近插入到所述流通通路中，在比所述流通通路的所述导向部下侧排出口形成面上安装使下 侧排出口的面积比上侧排出口的面积减小的挡板。
30.如权利要求25所述的熔融金属供给筒，将前述导向部横穿第2开口的中心附近插 入到所述流通通路中，在所述流通通路的下侧流路内形成使下侧流路的容积比上侧流路的 容积减小的挡板部件。
31.一种熔融金属供给筒，是向彼此相对的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间 隙中供给熔融金属的权利要求12所述的熔融金属供给筒，其特征在于在所述第2开口的 下部或者比第2开口更低处安装所述导向部，使从该第2开口排出的熔融金属从所述导向 部的上表面疏出。
32.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，其特征在于，在所述导向部的前端部上形成将熔融金属从上表面导入到下表面一侧的贯通部。
33.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部具有与前端部相 连的倾斜部，前端部与倾斜部是呈钝角或直角的弯曲形状。
34.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述导向部具有与前端部相 连的倾斜部和与倾斜部相连的基端部，前端部与基端部是平行或成钝角，2个部位弯曲的阶 梯状形状。
35.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，其特征在于，具有在轴向上从所述第2开口 一侧以规定长度切割含有所述流通通路下部的切除面，安装所述导向部使其上表面与所述 切除面接触，在被切割的所述流通通路向所述导向部的下面侧露出的情况下，安装密封间 隙的部件。
36.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，具有从所述第2开口一侧的轴向上，所述流 通通路不向规定长度范围的下部露出的平面部，安装所述导向部使上表面与所述平面部接 触。
37.如权利要求31所述的熔融金属供给筒，其特征在于，使所述一对板对板状体配置 为下侧板状材料的端部边缘超出上侧的板状材料的端部边缘而突出地上下设置。
38.一种熔融金属供给筒，是在向彼此的主面隔着间隙设置的一对板状体的外周间隙 中供给熔融金属的权利要求12所述的熔融金属供给筒，其特征在于在所述导向部内，在 朝着该导向部的移动方向的侧部的前端部上形成切除部。
39.如权利要求38所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述切除部具有相对于所述 导向部的移动方向向后方倾斜的面。
40.如权利要求38所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述切除部具有相对于所述 导向部的移动方向向后方倾斜的面；和与该倾斜面平滑连结的与所述导向部的移动方向大 致平行的面。
41.如权利要求38所述的熔融金属供给筒，其特征在于，所述切除部具有相对于所述 导向部的移动方向向后方倾斜的面；和与该倾斜面平滑连结的与所述导向部的移动方向大 致正交的面。
42.如权利要求38所述的熔融金属供给筒，其特征在于，以直线或曲线或直线与曲线 的组合来形成所述切除部。
43.如权利要求12至42中任一项所述的熔融金属供给筒，其特征在于，对所述导向部 的与熔融金属接触的面实施提高与熔融金属的浸润性的处理。
44.一种具有权利要求1至43中任一项所述的熔融金属供给筒的熔融金属供给装置。
45.如权利要求44所述的熔融金属供给装置，其特征在于，所述供给筒被浮动机构间 接地或直接地支撑。
46.一种熔融金属供给装置，内置了权利要求1至11中任意一项所述的熔融金属供 给筒，其特征在于，具有板状体设置装置，将一对板状体设置成形成了规定的间隙的状态； 和供给筒定位装置，将供给筒的位置确定成所述第2开口与所述间隙大致连接的状态。
47.一种熔融金属供给装置，内置了权利要求12至43中任意一项所述的熔融金属供 给筒，其特征在于，具有板状体设置装置，将一对板状体设置成形成了规定的间隙的状态； 和供给筒定位装置，将所述导向部插入到在所述一对板状体之间形成的间隙中。
48.如权利要求46或47所述的熔融金属供给装置，其特征在于，所述第2开口具有超 过所述外周间隙厚度的口径。
49.如权利要求46或47所述的熔融金属供给装置，其特征在于，所述第2开口具有所 述外周间隙的厚度以下的口径。
50.如权利要求46或47所述的熔融金属供给装置，其特征在于，所述导向部被浮动机 构间接地或直接地支撑。
51.如权利要求50所述的熔融金属供给装置，其特征在于，所述浮动机构在与所述一 对板状体所形成的间隙相平行的面内限制所述导向部的移动。
52.如权利要求46或47所述的熔融金属供给装置，其特征在于，具有向所述熔融金属 与所述板状体的界面上施加超声波的超声波施加装置。
53.一种熔融金属供给方法，由权利要求1至11中任意一项所述的熔融金属供给筒供 给熔融金属，其特征在于，包括板状体设置工序，将一对板状体设置成为形成规定间隙的 状态；供给筒定位工序，将供给筒的位置确定为所述第2开口与间隙大致连接的状态；熔融 金属供给工序，通过所述第2开口将熔融金属供给到间隙中。
54.一种熔融金属供给方法，由权利要求12至43中任意一项所述的熔融金属供给筒供 给熔融金属，其特征在于，包括板状体设置工序，将一对板状体设置为形成规定间隙的状 态；供给筒定位工序，将所述导向部插入到在一对板状体之间形成的间隙中；熔融金属供 给工序，通过所述第2开口将熔融金属供给到间隙中。
55.权利要求53或M所述的熔融金属供给方法，其特征在于，在所述熔融金属供给工 序中，向熔融金属与板状体的界面上施加超声波。
全文摘要
本发明的目的是通过比现有技术的结构更简单的结构，提供一种能够抑制在固相低熔点金属材料表面上生成的氧化物混入到熔融金属中的熔融金属供给筒。本发明是一种熔融金属供给筒，是对固相低熔点金属材料进行熔融并供给的熔融金属供给筒，具有熔融部，其与所述低熔点金属材料直接或间接接触生成熔融金属；大致管状的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的第1开口以及在另一端具有第2开口，并使所述熔融部生成的熔融金属流过；在所述低熔点金属材料在被所述熔融部熔融以前/时，通过氧化物除去部除去所述低熔点金属材料表层的氧化物。
文档编号B23K3/06GK102123811SQ200980131470
公开日2011年7月13日 申请日期2009年8月7日 优先权日2008年8月14日
发明者久保贤一, 伊藤元通 申请人:日立金属株式会社