专利名称：一种紫外激光在透明材质内部标记的装置及其方法
技术领域：
本发明涉及ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置及其方法，尤其涉及ー种用于触摸屏和平板电脑玻璃内部打标的装置及其方法。
背景技术：
由于手机触摸屏及平板电脑产业制成方式的变化，急需要在透明玻璃内部刻蚀出定位mark标，此定位标作为后续玻璃钢化、IT0、银浆刻蚀及单面板切割的基准标。触摸屏显示产业对此定位标的精度要求很高，且能够在后续加工中不会被磨损或发生位置偏移等情况，这样可大大提闻广品良率；
传统的定位mark标主要通过印刷的方式，将十字mark或其它图案粘贴到玻璃的表面，这种mark标一直以来在市场应用中占主流地位，随着触屏行业制成方式的改变，玻璃在印 刷，刻线以后，需要进行在钢化等流程，这样会导致印刷在玻璃表面的mark标发生磨损或位置偏移等现象，这会给后续的制成エ序带来问题，直接影响到产品成品率。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供ー种不易磨损、偏移且标记位置精确的紫外激光在透明材质内部标记的装置及其方法。本发明的目的是这样实现的ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述装置包含有激光器，所述激光器发出的激光经光闸和扩束镜后进入扫描振镜，经扫描振镜后射出的激光射向位于载物平台上的待标记エ件，且待标记エ件被安装于载物平台上的真空吸附装置所吸附。本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述扩束镜和扫描振镜之间的光路上设置有全反射镜ー和全反射镜ニ，且全反射镜ー和全反射镜ニ的反射面均匀光路呈45。。本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述扫描振镜上安装有CD系统，且⑶系统的镜头正对载物平台上的待标记エ件。本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述激光器为高频率短脉冲激光器。本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述激光器发出的激光波长为266 355nm，脉宽为I 20ns，频率为10 200KHz。本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的方法，所述方法包含有以下步骤 步骤ー将待标记エ件放置在载物平台上，启动真空吸附装置对待标记エ件进行吸
附固定；
步骤ニ 激光器发出的激光经光闸、扩束镜和扫描振镜后将焦点聚焦到待标记エ件的内部进行刻蚀标记操作。与现有技术相比，本发明的有益效果是利用激光在玻璃内部烧蚀打标的方法使得标记位于玻璃内部，避免了传统的油墨印刷带来的玻璃表面污染，其次由于mark标记在玻璃内部形成，不会因为磨损或二次钢化带来的mark标记的脱落或位置偏移，这大大提高了微加工的精度，从而提升产品良率；同时由于激光具有非接触、无污染环境、易控制的特点，因此其标记的精度更好，标记效率也更高。
图I为本发明ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置的结构示意图。其中
激光器I、光闸2、扩束镜3、全反射镜ー 4、全反射镜ニ 5、(XD系统6、扫描振镜7、载物平台8、真空吸附装置9、待标记エ件10。
具体实施方式
參见图1，本发明涉及的ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述装置包含有激光器1，所述激光器I发出的激光经光闸2控制开关光，光闸2控制激光光束后经过扩束镜3对光束进行同轴扩束，一方面改善光束传播的发散角，达到光路准直的目的，另外ー方面，对激光光束同轴扩束，使得聚焦后光斑更小，从而实现激光玻璃内部打标的目的；扩束后的光束到达45度全反射镜ー 4，光路垂直改向到达全反射镜ニ 5，继而到达扫描振镜7，所述扫描振镜7上安装有⑶系统6，且⑶系统6的镜头正对载物平台8上的待标记エ件10，经由扫描振镜7发出的激光射向位于载物平台8上的待标记エ件10，且待标记エ件10被安装于载物平台8上的真空吸附装置9所吸附；并且由扫描振镜7发出的激光聚焦在作为待标记エ件10的玻璃的内部，从而在玻璃内部进行标记操作；其中所述激光器I为高频率短脉冲激光器，且其发出的激光波长为266 355nm，脉宽为I 20ns，频率为l(T200KHz。本发明涉及ー种紫外激光在透明材质内部标记的方法，其方法包含有以下步骤 步骤ー将待标记エ件10放置在载物平台8上，启动真空吸附装置9对待标记エ件
10进行吸附固定；
步骤ニ 激光器I发出的激光经光闸2、扩束镜3和扫描振镜7后将焦点聚焦到待标记エ件10的内部进行刻蚀标记操作。
权利要求
1.ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，其特征在于所述装置包含有激光器(1)，所述激光器(I)发出的激光经光闸(2)和扩束镜(3)后进入扫描振镜(7)，经扫描振镜(7)后射出的激光射向位于载物平台(8)上的待标记エ件(10)，且待标记エ件(10)被安装于载物平台(8)上的真空吸附装置(9)所吸附。
2.如权利要求I所述ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，其特征在于所述扩束镜(3)和扫描振镜(7)之间的光路上设置有全反射镜ー(4)和全反射镜ニ(5),且全反射镜ー(4)和全反射镜ニ(5)的反射面均匀光路呈45°。
3.如权利要求I或2所述ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，其特征在于所述扫描振镜(7)上安装有⑶系统(6)，且⑶系统(6)的镜头正对载物平台(8)上的待标记 エ件(10)。
4.如权利要求3所述ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，其特征在于所述激光器(I)为高频率短脉冲激光器。
5.如权利要求4所述ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，其特征在于所述激光器(I)发出的激光波长为266 355nm，脉宽为I 20ns，频率为l(T200KHz。
6.ー种紫外激光在透明材质内部标记的方法，其特征在于所述方法采用如权利要求I所述的ー种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述方法包含有以下步骤 步骤ー将待标记エ件(10)放置在载物平台(8)上，启动真空吸附装置(9)对待标记エ件(10)进行吸附固定； 步骤ニ激光器(I)发出的激光经光闸(2)、扩束镜(3)和扫描振镜(7)后将焦点聚焦到待标记エ件(10 )的内部进行刻蚀标记操作。
全文摘要
本发明涉及一种紫外激光在透明材质内部标记的装置，所述装置包含有激光器(1)，所述激光器(1)发出的激光经光闸(2)和扩束镜(3)后进入扫描振镜(7)，经扫描振镜(7)后射出的激光射向位于载物平台(8)上的待标记工件(10)，且待标记工件(10)被安装于载物平台(8)上的真空吸附装置(9)所吸附。本发明一种紫外激光在透明材质内部标记的装置，不易磨损、偏移且标记位置精确。
文档编号B23K26/36GK102773610SQ20121018585
公开日2012年11月14日 申请日期2012年6月7日 优先权日2012年6月7日
发明者张伟, 张子国, 狄建科, 益凯劼, 蔡仲云, 赵裕兴, 闫华 申请人:江阴德力激光设备有限公司