专利名称：内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及到一种用于超精密机床的工件轴系统，具有很高的回转精度，可实现高转速，同时也可实现很高的位置控制精度。
背景技术：
面向微结构的超精密加工工艺与装备的研究是现代高技术产品制造的核心技术之一，在许多高新技术领域有着越来越广泛的应用。其中工件轴系统是超精密加工装备最为关键的组成部分之一，实现工件轴系统的高回转精度，高速度以及高位置反馈精度，对超精加工有重要意义。传统的工件轴系统采用皮带轮驱动，电机编码器作为速度反馈装置，而位置反馈也是通过同步带连接外置编码器实现，这种结构引入了更多的机械结构，对实现高速度和高精度都有一定影响。因此，应用新技术，开发出更为合理可靠的超精密工件轴系统，有极为重要的意义。
实用新型内容本实用新型目的是为微结构超精密加工装备开发一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，具有高精度高速度以及高位置反馈分辨率。具体方案是，一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，内装电机安装在超精密工件轴后轴承外侧，在工件轴尾端，靠近内装电机的位置安装高精度位置反馈编码器，工件轴尾端，远离内装电机位置安装速度反馈编码器，两编码器反馈信号同时接入控制系统，在系统中切换实现不同作用。为达到设计目的要求，采用了内装电机驱动，双编码器反馈的形式，内装电机直接安装在轴上，可最大程度降低机械传递环节带来的精度影响。用于反馈的两个编码器，一个作为速度反馈控制，一个作为位置反馈控制，两控制信号接入系统，可满足系统接口频率要求，在不同工作状态下，通过系统进行反馈信号的切换。
图I为内装电机驱动，双编码器反馈超精密工件轴系统示意图。图2为反馈控制原理示意图。
具体实施方式
图I中为内装电机驱动，双编码器反馈超精密工件轴系统示意图，其中I为工件轴前轴承、2为工件轴后轴承、3为工件轴旋转部分、4为工件轴外壳、5为内装电机转子、6为内装电机定子、7为位置反馈编码器、8为速度反馈编码器。内装电机转子5安装在工件轴旋转部分3上，工件轴后轴承2外侧，靠近工件轴后轴承，位置反馈编码器7安装在工件轴旋转部分3上靠近内装电机转子5的位置，速度反馈编码器8安装在工件轴旋转部分3的尾端。[0010]两编码器反馈信号分别接入控制系统，图2为反馈控制原理图，进行速度控制时系统接收速度反馈编码器反馈信号，进行位置控制时，系统接收位置反馈编码器反馈信号 。
权利要求1.一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，其特征是内装电机安装在超精密工件轴后轴承外侧，在工件轴尾端，靠近内装电机的位置安装高精度位置反馈编码器，工件轴尾端，远离内装电机位置安装速度反馈编码器，两编码器反馈信号同时接入控制系统，切换使用。
专利摘要一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，涉及机床技术领域。具有高精度高速度以及高位置反馈分辨率。具体方案是，内装电机安装在超精密工件轴后轴承外侧，在工件轴尾端，靠近内装电机的位置安装高精度位置反馈编码器，工件轴尾端，远离内装电机位置安装速度反馈编码器，两编码器反馈信号同时接入控制系统，根据需要在系统中切换，实现不同作用。内装电机直接安装在轴上，可最大程度降低机械传递环节带来的精度影响。用于反馈的两个编码器，一个作为速度反馈控制，一个作为位置反馈控制，两控制信号接入系统，可满足系统接口频率要求，在不同工作状态下，通过系统进行反馈信号的切换。
文档编号B23Q5/10GK202701883SQ20122034858
公开日2013年1月30日 申请日期2012年7月18日 优先权日2012年7月18日
发明者朱生根, 罗英俊, 文平阶, 刘春雨, 于建华 申请人:北京工研精机股份有限公司