一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置，本发明利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精度的振镜扫描定位效果。本发明能实现不同粗细线宽图形的快速精密刻蚀，兼顾了刻蚀精度和加工速度，可广泛应用于平面刻蚀系统和三维激光刻蚀系统，提高装备的加工效率。
【专利说明】一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置
【技术领域】
[0001]本发明属于激光加工【技术领域】，涉及激光振镜扫描精密加工技术，具体为一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置。
【背景技术】
[0002]在激光先进制造领域，人们越来越多地通过将激光振镜扫描加工头串接到机器人或机床运动轴上组成更为灵活的三维激光加工系统，以完成更复杂的三维激光加工功能。如
【发明者】蒋明, 何英, 曾晓雁, 王曦照, 柯善浩, 孙晓, 段军, 张菲 申请人:华中科技大学