一种激光封装系统及激光封装过程中温度控制的方法与流程

技术特征：

1.一种激光封装系统，其特征在于，包括：

一玻璃基板，在所述玻璃基板上布置有用于密封玻璃基板的玻璃粉图案；

一激光器，用于提供一激光束；

一扫描振镜，控制所述激光束运动，将所述激光束投射至所述玻璃粉图案处；

一工件台，用于支撑所述玻璃基板；

一控制模块，检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度，并根据所述运动速度控制所述激光器以改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。

2.如权利要求1所述的激光封装系统，其特征在于，所述激光束位置固定，所述工件台支撑所述玻璃基板相对于所述激光束运动，使得所述激光束投射所述玻璃粉图案，所述工件台的运动速度即为所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度。

3.如权利要求1所述的激光封装系统，其特征在于，所述玻璃基板位置固定，所述激光束相对于所述玻璃基板运动投射所述玻璃粉图案，所述激光束的运动速度即为所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度。

4.如权利要求3所述的激光封装系统，其特征在于，所述扫描振镜包括F-Theta透镜和两块由电机驱动的旋转反射镜，用于控制所述激光束的运动方向和速度。

5.如权利要求1所述的激光封装系统，其特征在于，所述根据所述运动速度改变所述激光束的功率具体为：所述玻璃粉图案包括直线段和圆角段，所述激光束在所述直线段做匀速运动，速度为 ，功率不变；在所述圆角段做变速运动，速度为，功率随速度变化而变化，为，其中为热扩散系数，取值范围0~1。

6.一种激光封装过程中温度控制的方法，利用激光束投射相对玻璃基板布置的玻璃粉图案，对玻璃基板进行密封，其特征在于，包括：步骤一：检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度；步骤二：根据所述运动速度改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。

7.如权利要求6所述的温度控制的方法，其特征在于，所述步骤二中根据所述运动速度改变所述激光束的功率具体为：所述玻璃粉图案包括直线段和圆角段，所述激光束在所述直线段做匀速运动，速度为，功率不变；在所述圆角段做变速运动，速度为，功率随速度变化而变化，为，其中为热扩散系数，取值范围0~1。

8.如权利要求6所述的温度控制的方法，其特征在于，所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度具体为：所述激光束位置固定，所述玻璃基板相对于所述激光束运动，使得所述激光束投射所述玻璃粉图案，所述玻璃基板的运动速度即为所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度。

9.如权利要求6所述的温度控制的方法，其特征在于，所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度具体为：所述玻璃基板位置固定，所述激光束相对于所述玻璃基板运动投射所述玻璃粉图案，所述激光束的运动速度即为所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度。