一种通过液体散射改善通孔锥度的装置及方法与流程

技术特征：
1.一种通过液体散射改善通孔锥度的装置，包括激光发生器，其特征在于：还包括反射装置和反射调节机构，所述激光发生器设置在工件的一侧，所述反射装置和反射调节机构设置在所述工件的另一侧；所述反射装置包括盛放液体的空腔，所述液体的液面即是用来反射激光束的反射平面；所述反射调节机构与所述反射装置连接，用以在所述液面上产生不同波幅的波纹；所述激光发生器在所述工件上加工出带有锥度的通孔后，其激光束穿过所述通孔后落到所述反射装置的反射平面上，经所述反射平面反射后落到所述通孔的孔周和内壁；以调节所述反射平面的方向的方式，并通过所述反射调节机构调节所述反射装置，在所述反射平面上产生不同波幅且不断传播的波纹，使得经过这样的所述反射平面反射的激光束落到所述通孔的孔周和内壁上不同位置，以将所述通孔内的锥度逐步消除。2.根据权利要求1所述的通过液体散射改善通孔锥度的装置，其特征在于：所述反射调节机构为频率可调的振动源。3.根据权利要求2所述的通过液体散射改善通孔锥度的装置，其特征在于：所述振动源包括超声发生装置和超声驱动装置，所述超声发生装置和超声驱动装置电连接，所述超声发生装置与发射装置连接，使空腔里反射平面的表面形成结构性波纹。4.根据权利要求1所述的通过液体散射改善通孔锥度的装置，其特征在于：所述反射平面的面积为所述通孔的最小截面直径的10～15倍。5.根据权利要求1所述的通过液体散射改善通孔锥度的装置，其特征在于：所述工件通过夹具固定在所述激光发生器的一侧。6.一种通过液体散射改善通孔锥度的方法，其特征在于：其包括以下步骤：1)将工件装夹到夹具上，并调整夹具将工件上待加工通孔的目标位置调节到激光发生器的正下方；2)开启激光发生器，使其发出的高能脉冲激光束聚焦到通孔的目标位置上，开始在工件上打孔；经过数个或几十个脉冲后，打出带锥度的通孔；3)激光发生器继续维持开启的状态，其穿过通孔的入射激光束打到反射装置的反射平面上，并经反射平面将入射激光束反射，使得反射激光束落到通孔的孔周和内壁，将孔周和内壁上多余的材料通过熔化消除或升华消除；4)通过反射调节机构调节所述反射装置，在所述反射平面上产生不同波幅的波纹，使得经过这样的所述反射平面反射的激光束落到所述通孔的孔周和内壁上不同位置，以将所述通孔内的锥度逐步消除，得到内径一致的通孔。7.根据权利要求6所述的通过液体散射改善通孔锥度的方法，其特征在于：完成加工一个通孔的加工后，夹具带动工件移动到下一个通孔的目标位置，重复所述步骤1)～4)，直至完成该工件所需数量的通孔的加工。8.根据权利要求6所述的通过液体散射改善通孔锥度的方法，其特征在于：步骤4)中，所述反射激光束从下往上运动，依次消除所述通孔内的锥度。