技术总结
提供激光加工装置，对因激光光线的输出变化或在光学系统中产生的畸变而导致的激光加工槽的宽度变化进行监视。该装置的激光光线照射构件包含：脉冲激光光线振荡构件；聚光器，其对脉冲激光光线进行会聚而照射到保持在卡盘工作台上的被加工物；分色镜，其配设在脉冲激光光线振荡构件与聚光器之间；闪光灯光照射构件，其对配设分色镜和聚光器的路径照射光；分束器，其配设在闪光灯光照射构件与分色镜之间；和拍摄构件，其配设在借助分束器而分支的路径上。控制构件使闪光灯光照射构件和拍摄构件按照照射到被加工物的脉冲激光光线的时机进行动作，根据来自拍摄构件的图像信号对刚刚照射了脉冲激光光线后的激光加工槽的宽度进行检测。
技术研发人员：小田切航;岩本拓;小田中健太郎;大久保广成;筑地修一郎;根桥功一;约耳·科维尔
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
文档号码：201610559368
技术研发日：2016.07.15
技术公布日：2017.01.25