一种全自动植球装置的制作方法

文档序号:12490258阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全自动植球装置,其特征在于,该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7),

所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8),所述的供球盒(4)可拆卸式连接在直线模组(8)上,与供球管(1)连通,所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧,

所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔,

所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧,通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡球通过植球网板(5)植到晶圆上。

2.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的供球气缸(2)控制供球管(1)在Z向的自由度。

3.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的直线模组(8)控制供球管(1)在X向的自由度。

4.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的供球机构还包括检测供球盒(4)中焊锡球数量的锡球余量检测传感器(3)。

5.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的植球网板(5)上设有多个检测焊锡球植入量的激光传感器(12)。

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