一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装置及方法与流程

文档序号:11206925阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装及方法,该装置包括飞秒脉冲激光器,第一扩束器,CCD相机,反射平面镜,分束镜,凸透镜,第二扩束器,连续激光器,飞秒脉冲激光控制器,连续激光控制器,工件,夹具,可移动工作台,工作台控制器,计算机;同时提供了采用上述装置的一种激光辅助加热飞秒脉冲打孔方法,其主要原理是在飞秒脉冲激光器对工件加工之前,采用连续激光器对工件要加工区域进行预热,预热过程材料不发生相变,从而在保证飞秒激光的加工优点的同时,提高材料对飞秒脉冲激光的吸收率,降低飞秒激光加工材料的烧蚀阈值,提高飞秒脉冲激光打孔效率。

技术研发人员:王琪琪;任乃飞;任旭东;薛宁;林卿;夏凯波
受保护的技术使用者:江苏大学
技术研发日:2017.07.19
技术公布日:2017.10.10
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