技术总结
本实用新型提供一种激光加工装置，能抑制装置的大型化，同时使聚光光学系统侧的结构相对于加工对象物移动。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、安装于装置框架的激光输出部(300)、以相对于激光输出部(300)能够移动的方式安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有射出激光的激光振荡器。激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面(410a)和聚光透镜单元的入射光瞳面构成处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
技术研发人员：奥间惇治;长尾光洋;伊崎泰则
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
文档号码：201720101990
技术研发日：2017.01.26
技术公布日：2017.11.10