金刚石真空钎焊炉抽气系统的制作方法

本实用新型涉及一种金刚石真空钎焊炉抽气系统。

背景技术：

常规金刚石真空钎焊炉抽气系统的结构一般是由一台扩散泵、一台罗茨泵和一台机械泵构成，采用机械泵和罗茨泵对炉体做粗真空抽气，再由机械泵、罗茨泵和扩散泵共同工作做精抽真空，该种抽气系统的缺点是粗真空抽气时间长，工作真空度低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种金刚石真空钎焊炉抽气系统，解决现有技术中的抽气系统工作后的真空度低的技术缺陷。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种金刚石真空钎焊炉抽气系统，包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵、扩散泵、粗真空阀门、第一真空阀门和第二真空阀门；所述的机械泵的进气口通过管路与第一罗茨泵的出气口连通，第一罗茨泵的进气口通过管路与第二罗茨泵的出气口连通，第二罗茨泵的进气口通过三通管分成两路。

一路通过管路连接第一真空阀门的出气口，第一真空阀门的进气口通过管路与扩散泵的出气口连通，扩散泵的进气口与粗真空阀门的下出气口连通。

另一路与第二真空阀门的出气口相通，第二真空阀门的进气口通过管路与粗真空阀门的侧出气口连通，所述的粗真空抽气阀门的进气口用于与金刚石真空钎焊炉的炉体连通。

本实用新型通过设置连个串联的罗茨泵，增强本实用新型的抽真空能力，使得本实用新型处理后的金刚石真空钎焊炉的炉体内真空度比现有技术的更高。

作为本实用新型的进一步改进，还包括支撑架，所述的支撑架包括竖直设置的支撑杆、设置在支撑杆顶部的上支撑杆和设置在支撑杆下部的下支撑板，所述的第一罗茨泵设置在下支撑板上，第二罗茨泵设置在上支撑板上。本实用新型设置支撑架，将第一罗茨泵和第二罗茨泵有现有的水平着左右放置更改为上下叠加放置，减小了一台罗茨泵所占用的面积。

作为本实用新型的进一步改进，所述的上支撑板上开有贯穿其上下的通孔，连通第一罗茨泵进气口和第二真空泵出气口的管路穿过通孔，本实用新型在上支撑板上开通孔，用于连接两个罗斯泵的管路穿过，一方面管路不会占用支撑架以外的空间，另一方面整个抽气系统整体上比较规整不凌乱。

作为本实用新型的进一步改进，所述的粗真空阀门设置在扩散泵的顶部。本实用新型中的粗真空阀门直接设置在扩散泵上，一方面减少了连接管路的长度，另一方面也进一步的减小了整个抽气系统所占用的空间。

综上所述，本实用新型的有益效果是：本实用新型处理后的金刚石真空钎焊炉炉体内的真空度高，并且本实用新型的结构简单，占地面积小，占用的空间小。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中A处的局部放大图。

其中：1、机械泵；2、第一罗茨泵；3、第二罗茨泵；4、扩散泵；5、粗真空阀门；6、第一真空阀门；7、第二真空阀门；8、三通管；9、支撑杆；10、上支撑板；11、下支撑板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步的说明。

实施例一：

如图1所示的金刚石真空钎焊炉抽气系统，包括机械泵1、第一罗茨泵2、第二罗茨泵3、扩散泵4、粗真空阀门5、第一真空阀门6和第二真空阀门7。

本实用新型中的第一真空阀门6包括圆筒状的阀门本体和设置在阀门本体顶部的气缸，阀门本体内设置挡板，气缸的活塞杆伸缩驱动挡板在阀门本体内上下运动，本申请中挡板与阀门本体内壁密封贴合，放置漏气，阀门本体的底部开有进气口，阀门本体的侧壁上开有出气口，气缸的活塞杆伸长驱动挡板向下运动，封闭进气口，第一真空阀门6闭合，气缸的活塞杆收缩，向上拉动挡板，阀门本体底部的进气口和阀门本体侧壁上的出气口相通，第一真空阀门6打开。本申请中的第二真空阀门7与第一真空阀门6结构相同，只是在使用中把进气口作为出气口而把出气口作为进气口用。本实用新型中的粗真空阀门5与第二真空阀门7的区别在于其阀门本体的侧壁上分别开有进气口和侧出气口，阀门本体的底部开有下出气口，其余的结构与第二真空阀门7相同，本实施例中粗真空阀门的尺寸较第二真空阀门7更大。

所述的机械泵1的进气口通过管路与第一罗茨泵2的出气口连通，第一罗茨泵2的进气口通过管路与第二罗茨泵3的出气口连通，第二罗茨泵3的进气口通过三通管8被分成上下两路。

三通管8向下的一路通过管路连接第一真空阀门6的出气口，第一真空阀门6的进气口通过管路与扩散泵4的侧出气口连通，扩散泵4的进气口与粗真空阀门5的下出气口连通。

三通管8向上的一路与第二真空阀门7的出气口相通，第二真空阀门7的进气口通过管路与粗真空阀门5的侧出气口连通，所述的粗真空抽气阀门的进气口用于与金刚石真空钎焊炉的炉体连通。

本实施例优选的将所述的粗真空阀门5可拆卸的设置在扩散泵4的顶部，本实施例在粗真空阀门的底部设置上法兰（图中未示出），在扩散泵4的顶部设置下法兰（图中未示出），采用螺栓与螺母配合将上法兰与下法兰连接，本实施例优选的在上法兰和下法兰之间设置密封垫。

本实用新型先开启关闭第一真空阀门6和扩散泵4，打开第二真空阀门7，并且粗真空阀门5顶部的气缸的活塞伸长，封闭粗真空阀门5的下出气口，开启机械泵1、第一罗茨泵2和第二罗茨泵3，可对炉体做粗真空抽气处理，当粗真空抽气进行一段时间后，炉体内的真空度达到一定的数值，难以通过机械泵1、第一罗茨泵2和第二罗茨泵3进一步提高真空度时，闭合第二真空阀门7、打开第一真空阀门6，并且粗真空阀门5顶部的气缸活塞收缩，开启粗真空阀门7的下出气口，并开启扩散泵4，此时机械泵1、第一罗茨泵2、第二罗茨泵3和扩散泵4同时工作，进一步的对炉体内做抽真空处理。本实用新型由于设置了两个串联的罗茨泵，提高了粗真空抽气后炉体内的真空度，使得炉体内的真空度更适合扩散泵4的使用，从而整体上提高炉体内的真空度，与现有技术相比较，本申请处理后的炉体内真空度明显更高。

是实例二：

本实施例是在实施例一的基础上做的进一步的改进，与实施例相比，本实施例还设置有支撑架，所述的支撑架包括竖直设置的支撑杆9、设置在支撑杆9顶部的上支撑板10和设置在支撑杆9下部的下支撑板11，所述的第一罗茨泵2设置在下支撑板11上，第二罗茨泵3设置在上支撑板10上，如图2所示。本实施例优选的设置四根支撑杆9，所述的上支撑板10和下支撑板11的横截面均为矩形，上支撑板10的四个直角处分别焊接在四根支撑杆9的顶端，所述的下支撑板11的四个之间处分别焊接在四根支撑杆9的下部，保持下支撑板11与上支撑板10平行，上支撑板10和下支撑板11之间的距离略大于第一罗茨泵2的高度。本实施例通过设置支撑架，将第一罗茨泵2和第二罗茨泵3上下叠加放置，虽然本申请设置两个罗茨泵，但是两者至占用一个罗茨泵的面积，节省了整个系统占用的空间。

所述的上支撑板10上开有贯穿其上下的通孔，连通第一罗茨泵2进气口和第二罗茨泵3出气口的管路穿过通孔（图中未示出）。本申请通过设置通孔，连通第一罗茨泵2和第二罗茨泵3的管路可穿过该通孔，真个管道规整不凌乱。

以上说明书中未做特别说明的部分均为现有技术，或者通过现有技术既能实现。而且本实用新型中所述具体实施案例仅为本实用新型的较佳实施案例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应作为本实用新型的技术范畴。