本实用新型涉及激光加工设备技术领域，特别是涉及一种微调滑台、二维微调滑台及光学系统。
背景技术：
光学系统一般会使用扩束镜组件进行光束整形，扩束镜组件的安装通常需要进行二维方向的调节。市面上现有的二维调节机构通过滑台和滑轨相互配合，而滑台和滑轨间通常有间隙，并且由于滑台和滑轨的结构限制，该类二维调节机构在调节好位置后，只能锁紧侧面，该种锁紧方式无法消除滑动或者滚动间隙。将这种二维调节机构安装在有较高频率震动场合的设备上，设备长时间工作过程中，滑台和滑轨会发生相对位移，导致光束指向的位置产生偏移，影响到设备的加工精度。
技术实现要素：
基于此，有必要针对现有二维调节机构的滑台和滑轨间存在间隙的问题，提供一种微调滑台、二维微调滑台及光学系统。
一种微调滑台，包括固定板、滑动板、调节件、限位组件及紧固件，所述固定板与所述滑动板滑动配合，所述调节件用于带动所述滑动板相对所述固定板移动，所述滑动板开设有长圆孔，所述限位组件的一端穿设所述长圆孔并连接于所述固定板，另一端压合于所述滑动板，所述紧固件用于将所述滑动板固定于所述固定板。
上述微调滑台的限位组件与滑动板上开设的长圆孔相配合，滑动板相对固定板运动时，限位组件对滑动板形成限位作用，此外，限位组件压合于滑动板，即限位组件对滑动板产生压紧力，使得滑动板紧密贴合于固定板，从而滑动板与固定板的间距保持固定，提高调节精度；调节完毕后，紧固件沿垂直于滑动板表面的方向将滑动板固定于固定板，使得滑动板和固定板的锁定更牢固。
在其中一个实施例中，所述限位组件包括限位件和弹性件，所述弹性件套设于所述限位件并抵接于所述滑动板。
在其中一个实施例中，所述固定板设有连接板，所述连接板开设有导向孔，所述调节件穿设所述导向孔并连接于所述滑动板。
在其中一个实施例中，所述紧固件的个数为4，所述滑动板上开设有若干腰形孔，每一所述紧固件穿设一所述腰形孔以使所述滑动板与所述固定板保持相对静止。
在其中一个实施例中，所述滑动板设有滑轨，所述固定板开设有与所述滑轨相配合的滑槽；或，所述固定板设有滑轨，所述滑动板开设有与所述滑轨相配合的滑槽。
在其中一个实施例中，所述调节件与所述滑动板螺纹连接。
一种二维微调滑台，包括第一微调滑台和第二微调滑台，所述第一微调滑台和所述第二微调滑台均包含所述的微调滑台，其中所述第二微调滑台的固定板垂直设于所述第一微调滑台的滑动板。
一种光学系统，包括光学镜头组件和所述的二维微调滑台，所述光学镜头组件设于所述第二微调滑台的滑动板上。
在其中一个实施例中，所述光学镜头组件为扩束镜组件。
一种光学系统，其特征在于，包括光学镜头组件和所述的微调滑台，所述光学镜头组件设于所述滑动板上。
附图说明
图1为一实施例中微调滑台的结构示意图；
图2为图1所示微调滑台中滑动板的结构示意图；
图3为一实施例中二维微调滑台的结构示意图；
图4为一实施例中光学系统的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“内”、“外”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1，一种微调滑台100包括固定板10、滑动板20、调节件30、限位组件40及紧固件50，固定板10与滑动板20滑动配合，调节件30用于带动滑动板20相对固定板10移动，滑动板20开设有长圆孔21，限位组件40的一端穿设长圆孔21并连接于固定板10，另一端压合于滑动板20，紧固件50用于将滑动板20固定于固定板10。
上述微调滑台100的限位组件40与滑动板20上开设的长圆孔21相配合，滑动板20相对固定板10运动时，限位组件40对滑动板20形成限位作用，此外，限位组件40压合于滑动板20，即限位组件40对滑动板20产生压紧力，使得滑动板20紧密贴合于固定板10，从而滑动板20与固定板10的间距保持固定，提高调节精度；调节完毕后，紧固件50沿垂直于滑动板20表面的方向将滑动板20固定于固定板10，使得滑动板20和固定板10的锁定更牢固可靠。
固定板10设有连接板11，连接板11开设有导向孔，调节件30穿设导向孔并连接于滑动板20。需要说明的是，固定板10呈平板状，连接板11设于固定板10的一端，连接板11大体呈L型，连接板11上开设的导向孔的轴向与固定板10的中心线平行，调节件30穿设导向孔并连接于滑动板20，操作人员通过调节件30带动滑动板20相对固定板10运动而进行调节，连接板11和调节件30相配合，避免固定板10和滑动板20相对运动过程中发生脱离。
在一些实施例中，连接板11与固定板10可为一体结构。在其他实施例中，连接板11与固定板10也可为分体结构，通过螺钉将连接板11固定于固定板10。
请参阅图2，滑动板20设有滑轨22，固定板10开设有与滑轨22相配合的滑槽(未图示)。滑轨22和滑槽的设置，一方面在微调滑台100安装过程中方便滑动板20和固定板10的定位，另一方面在滑动板20和固定板10发生相对运动时起到导向作用。需要说明的是，固定板10上可设置滑轨，滑动板20上设置滑槽，通过滑轨和滑槽的配合实现滑动板20和固定板10的滑动连接。
调节件30与滑动板20螺纹连接，在进行调节时，旋转调节件30，使得滑动板20相对固定板10运动，旋转运动转换为直线运动，使得调节更精准。具体的，调节件30可为普通螺栓或蝶形螺栓。
限位组件40包括限位件41和弹性件42，弹性件42套设于限位件41并抵接于滑动板20。微调滑台100安装时，将弹性件42设置为预压紧状态，一方面弹性件42对滑动板20产生弹性压紧力，使得滑动板20紧密贴合于固定板10，从而滑动板20与固定板10的间距保持固定，提高调节精度，另一方面，限位件41不会锁死而导致滑动板20的运动阻力过大。具体的，弹性件42为压簧或弹片，限位件41为螺栓，压簧两端还设有压簧套，用于增大压簧与滑动板20和限位件41的接触面积。
紧固件50的个数为4，滑动板20上开设有若干腰形孔，每一紧固件50穿设一腰形孔以将滑动板20固定于固定板10。具体的，紧固件50可为螺钉，腰形孔的尺寸与长圆孔21的尺寸相同，滑动板20与固定板10发生相对位移，若干紧固件50穿设滑动板20上的腰形孔，将滑动板20与固定板10固定。
需要说明的是，腰形孔分布于滑动板20的四个对角位置且相互对称，使得滑动板20与固定板10的安装固定更牢固。
根据实际需要，滑动板20上的长圆孔21和腰形孔均可设计为阶梯孔的形式。
一种光学系统(未图示)，包括光学镜头组件和上述微调滑台100，光学镜头组件设于滑动板20上。由于该光学系统的微调滑台100采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此，至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
请参阅图3，一种二维微调滑台200，包括第一微调滑台210和第二微调滑台220，第一微调滑台210和第二微调滑台220均包含上述微调滑台100，其中第二微调滑台220的固定板垂直设于第一微调滑台210的滑动板。由于该二维微调滑台200的微调滑台100采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此，至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
请参阅图4，一种光学系统300，包括光学镜头组件310和上述二维微调滑台200，光学镜头组件310设于第二微调滑台220的滑动板上。由于该光学系统的二维微调滑台200采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此，至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
具体的，光学镜头组310为扩束镜组件，上述光学系统300还包括激光器(未图示)，该扩束镜组件用于对激光器发射的激光束进行整形，通过二维微调滑台200调节扩束镜组件的安装位置以确保激光束指向目标位置。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。