真空吸附装置的制作方法

本实用新型涉及划片机技术领域，尤其涉及了真空吸附装置。

背景技术：

激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化，从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，且热影响极小，划精度高，广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割，可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等，工件精细美观，切边光滑。

通常激光划片机的载物台是用于放置被加工物品的，将需要加工的工件放置于载物台的上方，采用激光器作为工作光源，以进行曲线及直线图形切割。但是常规的载物台没有吸附功能，工件在载物台上容易发生位置偏移，导致切割出来的划槽发生歪斜，进而造成工件报废，因此需要研发一种真空吸附装置代替载物台，从而将工件固定住。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术中加工工件容易发生移动的缺点，提供了真空吸附装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

真空吸附装置，包括上盖板和下底板，下底板上设有上盖板，上盖板与下底板之间设有第一空腔、第二空腔和第三空腔，第一空腔内设有第一气管，第一气管连接有第一电磁阀，第二空腔内设有第二气管，第二气管连接有第二电磁阀，第三空腔内设有第三气管，第三气管连接有第三电磁阀；上盖板上设有第一气孔、第二气孔和第三气孔，第一气孔与第一空腔相通，第二气孔与第二空腔相通，第三气孔与第三空腔相通。

作为优选，第一空腔包括第一竖向通道、第一横向通道和第二竖向通道，第一气管设置在第一竖向通道上，第一竖向通道与第一横向通道连通，第一横向通道两端与第二竖向通道连通。

作为优选，第二空腔包括第一通道单元和第二通道单元，第一通道单元和第二通道单元连通，第一通道单元包括第三竖向通道、第二横向通道、第四竖向通道和第三横向通道，第二气管设置在第三竖向通道上，第三竖向通道与第二横向通道连通，第二横向通道两端与第四竖向通道连通，第三横向通道两端与第四竖向通道连通；第二通道单元包括至少一组吸气通道，相邻的吸气通道相互连接，吸气通道与第四竖向通道相通。

作为优选，吸气通道包括第五竖向通道和第四横向通道，第五竖向通道与第四横向通道连通，第四横向通道与相邻的第五竖向通道连通。

作为优选，第三空腔包括第六竖向通道、第五横向通道、第七竖向通道和第六横向通道，第三气管设置第六竖向通道上，第六竖向通道与第五横向通道连通，第五横向通道两端与第七竖向通道连通，第六横向通道两端与第七竖向通道连通。

本实用新型由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀分别与抽气泵连接，通过控制第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀，分别打开抽气泵与第一气管、第二气管、第三气管的通气道，从而使第一空腔、第二空腔、第三空腔内形成负压，第一空腔、第二空腔、第三空腔分别与第一气孔、第二气孔、第三气孔相通，由于加工工件被放置在第一气孔或第二气孔或第三气孔上，加工工件在负压的作用下被吸附，在激光器加工时提升加工工件的稳定性，防止加工工件发生偏移，有利于提升加工产品的合格率，降低加工工件的报废率。本实用新型具有有效将加工工件固定住、提升加工工件的合格率的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中上盖板的结构示意图。

图3是图2中A的局部放大图。

图4是图2中B的局部放大图。

图5是图2中C的局部放大图。

图6是图2中第一空腔的结构示意图。

图7是图2中第二空腔的结构示意图。

图8是图2中第三空腔的结构示意图。

图9是气管和电磁阀的框架示意图。

以上附图中各数字标号所指代的部位名称如下：其中，1—第一气管、2—第一空腔、201—第一竖向通道、202—第一横向通道、203—第二竖向通道、3—第二气管、4—第二空腔、401—第一通道单元、4011—第三竖向通道、4012—第二横向通道、4013—第四竖向通道、4014—第三横向通道、402—第二通道单元、4021—吸气通道、40211—第五竖向通道、40212—第四横向通道、5—第三气管、6—第三空腔、601—第六竖向通道、602—第五横向通道、603—第七竖向通道、604—第六横向通道、7—第一气孔、8—第二气孔、9—第三气孔、10—上盖板、11—下底板、12—第一电磁阀、13—第二电磁阀、14—第三电磁阀。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1

真空吸附装置，如图1-9所示，包括上盖板10和下底板11，下底板11上设有上盖板10，上盖板10与下底板11之间设有第一空腔2、第二空腔4和第三空腔6，第一空腔2内设有第一气管1，第一气管1连接有第一电磁阀12，第二空腔4内设有第二气管3，第二气管3连接有第二电磁阀13，第三空腔6内设有第三气管5，第三气管5连接有第三电磁阀14；上盖板10上设有第一气孔7、第二气孔8和第三气孔9，第一气孔7与第一空腔2相通，第二气孔8与第二空腔4相通，第三气孔9与第三空腔6相通。

第一空腔2包括第一竖向通道201、第一横向通道202和第二竖向通道203，第一气管1设置在第一竖向通道201上，第一竖向通道201与第一横向通道202连通，第一横向通道202两端与第二竖向通道203连通。

第二空腔4包括第一通道单元401和第二通道单元402，第一通道单元401和第二通道单元402连通，第一通道单元401包括第三竖向通道4011、第二横向通道4012、第四竖向通道4013和第三横向通道4014，第二气管3设置在第三竖向通道4011上，第三竖向通道4011与第二横向通道4012连通，第二横向通道4012两端与第四竖向通道4013连通，第三横向通道4014两端与第四竖向通道4013连通；第二通道单元402包括两组吸气通道4021，相邻的吸气通道4021相互连接，吸气通道4021与第四竖向通道4013相通。吸气通道4021包括第五竖向通道40211和第四横向通道40212，第五竖向通道40211与第四横向通道40212连通，第四横向通道40212与相邻的第五竖向通道40211连通。

第三空腔6包括第六竖向通道601、第五横向通道602、第七竖向通道603和第六横向通道604，第三气管5设置第六竖向通道601上，第六竖向通道601与第五横向通道602连通，第五横向通道602两端与第七竖向通道603连通，第六横向通道604两端与第七竖向通道603连通。

在加工时，首先将加工工件放置在上盖板10，根据加工工件盖住的第一气孔7、第二气孔8、第三气孔9，由于第一气孔7、第二气孔8、第三气孔9分别与第一空腔2、第二空腔4、第三空腔6相通，相应地打开其对应的电磁阀，从而使第一气孔7、第二气孔8、第三气孔9内形成负压，加工工件被吸附住。因此能根据加工工件的体积大小，选择打开相应的电磁阀，使未被盖住的气孔对应的电磁阀不用打开，从而具有根据加工工件体积合理打开电磁阀、降低能耗的优点。

实施例2

同实施例1，所不同的是当加工工件只盖住第一气孔7时，只需打开相对应的第一电磁阀12。

实施例3

同实施例1，所不同的是当加工工件只盖住第一气孔7和第二气孔8时，只需打开相对应的第一电磁阀12和第二电磁阀13。

实施例4

同实施例1，所不同的是当加工工件只盖住第一气孔7、第二气孔8、第三气孔9时，打开相对应的第一电磁阀12、第二电磁阀13和第三电磁阀14。

总之，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应属本实用新型专利的涵盖范围。