Au-Ga钎料的制作方法

文档序号:17752187发布日期:2019-05-24 21:02阅读:576来源:国知局

本发明涉及电子封装行业的贵金属钎料领域,具体涉及一种au-ga钎料。



背景技术:

目前,在大功率、高集成度的电子器件封装,尤其是芯片的连接与封装行业,大量采用贵金属钎料。近几年,在igbt产品的制造需求带动下,贵金属钎料的应用越来越广泛。目前,用于电子封装领域的贵金属钎料主要有au-sn、au-si、au-ge等,其具有良好的润湿性和流动性、良好的导热导电性以及耐热耐蚀性,高的稳定性,低的蒸汽压,容易与半导体si或gaas芯片形成共晶键合,但是,其熔点均低于365℃,无法满足大功率、高集成度的电子器件封装的需要。us201414460904公开了一种au-ga-in钎焊材料,其固相线温度最高只有390℃,仍然偏低。因此,急需开发出固相线温度在450℃以上的金基钎料,以满足高铁用igbt器件制造的需要,本项发明“au-ga钎料”,即是在这种技术背景下完成的。



技术实现要素:

本项发明的目的是提供一种具有优良的润湿铺展性能、优良的导电性和导热性,可用于大功率、高集成度的电子器件封装(如igbt器件),尤其是芯片的连接与封装的固相线温度在450℃以上的金基钎料。为此,本项发明的一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:29%~31%的ga,0.001%~0.05%的ni,0.001%~0.05%的al,余量为au,其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃,满足了上述要求。

使用市售的金锭、金属镓、镍板、铝板,按设计成分配比,将金与镓置于石墨坩埚中,在中频炉中进行熔炼,加热至约1200℃,待金与镓完全熔化成均匀液体后,用纯金箔包覆粉末状镍粉、铝粉加入,并搅拌均匀。冶炼时加入经优化筛选确定的覆盖剂。经过浇铸、轧制、裁剪,即得到需要尺寸的焊片。本发明产品可用于大功率、高集成度的电子器件封装,尤其是芯片的连接与封装。

本发明的au-ga钎料,在冶炼时,由于纯镓的熔点为29.8℃,液态镓不易准确称量。因此,必须先将金属ga放入冰箱冷藏保存,然后,在“固态”下准确称量ga的配比,保证au-ga钎料的成分范围准确。

为保证发明的au-ga钎料具有优良的润湿和铺展性能,同时其固相线温度能够达到454℃,经过反复试验发现,添加0.001%~0.05%的ni,0.001%~0.05%的al,能够提高au-ga钎料的熔化温度范围,但是,ni、al的添加量不宜大于0.05%。通过对钎料成分优化,在优化后的成分范围,新发明的au-ga钎料各项性能指标均达到要求。

具体实施方案

本项发明主要解决的关键性问题以及创造性在于:

1)通过添加微量al,解决了au-ga钎料冶炼与钎焊时的“脱氧”问题,大大降低了au-ga钎料自身以及钎焊焊点中的氧含量,使得钎料中的au、ga元素不被氧化在钎焊时具有优良的润湿铺展性能,从而提高了钎焊焊点质量。需要特别指出的是,由于au、ga元素自身不易氧化,但是在应用于“高端”电子器件的制造时,即使极微量的氧含量(如氧含量≥30ppm)也会影响钎焊焊点质量。所以,必须通过添加微量的al,以保证au-ga钎料及其焊点中的氧含量降低至20ppm以下。但是,al元素的添加量不能太多,高于0.05%后,会影响au-ga钎料的润湿铺展性能,使得钎焊接头抗剪强度反而下降。但是如果al的加入量小于0.001%,“脱氧”效果达不到预期,使得钎焊接头抗剪强度也会降低。

经理论计算和试验验证,al的添加量(质量百分数)控制在0.001%~0.05%以内最佳。

2)经过12组60个合金配方试验研究发现,在au-ga钎料中添加微量的高熔点元素,可以提高au-ga钎料的固相线、液相线温度,从而满足大功率、高集成度的电子器件封装用钎料的需要。经过成分优化和钎焊试验发现,能够在au元素中“无限固溶”的ni元素,可以显著提高au-ga钎料的固相线、液相线温度。试验发现,添加0.001%~0.05%的ni元素,可以将其固相线温度从449℃提高至454℃,液相线温度从456℃提高至461℃。

但是,ni元素的添加量不能太多,高于0.05%后,会影响au-ga钎料的润湿铺展性能,使得钎焊接头抗剪强度反而下降。但是如果ni的加入量小于0.001%,对au-ga钎料的固、液相线温度的提高不显著。

3)从对比例3和对比例4还可以看出,ni与al元素还具有“协同效应”。单独添加其中一种元素,au-ga钎料的固、液相线温度与钎焊接头抗剪强度均低于同时添加ni与al元素的实施例1至实施例5。

根据本发明的“au-ga钎料”的质量配方比,叙述本发明的具体实施方式。

实施例一

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:29%的ga,0.05%的ni,0.001%的al,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为60mpa±2mpa。

实施例二

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:31%的ga,0.001%的ni,0.05%的al,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为60mpa±2mpa。

实施例三

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30%的ga,0.01%的ni,0.01%的al,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为60mpa±2mpa。

实施例四

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:29.5%的ga,0.001%的ni,0.01%的al,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为60mpa±2mpa。

实施例五

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30.5%的ga,0.01%的ni,0.001%的al,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为60mpa±2mpa。

对比例1

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30.5%的ga,0.001%的al,0.06%的ni,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为48mpa±3mpa。

对比例2

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30%的ga,0.001%的al,0.0009%的ni,余量为au。其固相线温度为449℃,液相线温度为455℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为52mpa±2mpa。

对比例3

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:29.5%的ga,0.01%的al,余量为au。其固相线温度为449℃,液相线温度为454℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为47mpa±3mpa。

对比例4

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:29.5%的ga,0.01%的ni,余量为au。其固相线温度为453℃,液相线温度为459℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为50mpa±2mpa。

对比例5

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30.5%的ga,0.0009%的al,0.02%的ni,余量为au。其固相线温度为454℃,液相线温度为461℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为46mpa±3mpa。

对比例6

一种au-ga钎料,其化学成分按质量百分数是:30.5%的ga,0.06%的al,0.02%的ni,余量为au。其固相线温度为453℃,液相线温度为459℃。在490℃至510℃范围,钎焊纯镍与无氧铜板(厚度均为2mm),钎焊接头抗剪强度为49mpa±2mpa。

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