一种硅晶圆激光切割用高精度DD承载转台结构的制作方法

本实用新型涉及一种激光切割承载台结构，属于激光切割设备技术领域。

背景技术：

目前在进行对硅晶圆等工件进行高精度激光切割加工制备作业中，所使用工件承载台往往依然时传统的两轴或多轴联动的机械式承载台，虽然可以满足对硅晶圆等高精度工件承载及加工作业的需要，但一方面传统的机械式承载台结构复杂，集成化及模块化程度低，安装定位、设备日常维护、零部件更换及整体更换难度大，难以灵活适应多种不同激光切割设备及切割工艺使用的需要，使用灵活性和通用性相对较差；另一方面传统的机械式承载台设备往往均是金属零部件间直接刚性连接，因此运行时以收到外界震动及冲击作用力影响而其运行定位精度，从而导致精光切割加工精度稳定性差，此外，传统的机械式承载台其运行检测计量中，往往均是通过位移传感器、倾角传感器、转速传感器等传感器设备直接对承载台进行接触式测，虽然可以满足检测的需要，但检测手段单一，易受到设备故障、磨损等因素而导致检测定位精度下降，同时当前的承载台对运行定位检测数据也缺乏有效的第三方校核，从而严重影响了运行精度。

因此，针对这一现状，迫切需要开发一种硅晶圆承载设备，以满足实际使用的需要。

技术实现要素：

针对现有技术上存在的不足，本实用新型提供一种硅晶圆激光切割用高精度dd承载转台结构，该新型结构集成化、模块化程度高，且结构简单承载能力好，面具有良好的承载能力、运行作业是转矩大，且运行控制精度，并可根据承载作业的需要，在一定范围内进行相应的结构调整，从而有效的满足大负载承载及驱动调节作业的需要。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：

一种硅晶圆激光切割用高精度dd承载转台结构，包括承载座、承载底托、dd马达、承载托盘、编码器及接线端子，承载座为轴线与水平面垂直分布且轴向截面呈“凵”字形槽状结构，承载底托嵌于承载座内，与承载座同轴分布，并与承载座侧壁滑动连接，承载底托为轴向截面呈“h”字形槽状结构，其下端面与承载座底部间间距为0—10毫米，上端面与dd马达连接并同轴分布，dd马达通过传动轴与承载托盘下端面连接并同轴分布，承载托盘为轴向截面呈“冂”字形槽状结构，包覆在承载座上端面，且承载托盘下端面与承载座底部间间距为承载座高度的50%—90%，承载托盘槽底与承载座上端面滑动连接，编码器嵌于承载托盘下端面并与dd马达间通过传动轴相互连接并同轴分布，编码器另与接线端子电气连接，所述接线端子至少一个，并嵌于承载座外侧面。

进一步的，所述承载座外表面设弹性密封环，所述弹性密封环与承载座同轴分布并包覆在承载座外，且所述弹性密封环位于承载座外侧面与承载托盘内侧面接触面之间位置，所述弹性密封环对应的承载座外侧面设定位槽，所述弹性密封环嵌于定位槽内，且弹性密封环前端面高出承载座侧表面0—5毫米。

进一步的，所述的承载底托侧表面与承载座侧壁间通过至少两条滑槽滑动连接，所述滑槽嵌于承载座侧壁内并与承载座轴线平行分布，所述滑槽内另设一条承载弹簧，所述承载弹簧分别与承载底托的下端面及承载座底部垂直连接。

进一步的，所述的述承载底托的槽底上均布若干透孔，且位于承载底托下端面的槽体设散热风机，所述散热风机与承载底托同轴分布，且散热风机对应的承载座下端面设散热风口。

进一步的，所述的承载托盘槽底均布若干万向滚珠，所述万向滚珠环绕承载托盘轴线呈环状结构均布，且各万向滚珠上端面通过调节弹簧与承载托盘槽底连接并同轴分布，下端面与承载座上端面相抵并滑动连接，且所述万向滚珠对应的承载座上端面位置设与承载座同轴分布的导向槽，

进一步的，所述的调节弹簧与承载托盘弹簧槽底间通过压力传感器连接，且各压力传感器均相互并联，所述承载托盘下端面另设一个三轴陀螺仪，所述压力传感器和三轴陀螺仪均与至少一个接线端子电气连接。

本新型结构集成化、模块化程度高，且结构简单承载能力好，面具有良好的承载能力、运行作业是转矩大，且运行控制精度，并可根据承载作业的需要，在一定范围内进行相应的结构调整，从而有效的满足大负载承载及驱动调节作业的需要。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型。

图1为本新结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1所示，一种硅晶圆激光切割用高精度dd承载转台结构，包括承载座1、承载底托2、dd马达3、承载托盘4、编码器5及接线端子6，承载座1为轴线与水平面垂直分布且轴向截面呈“凵”字形槽状结构，承载底托2嵌于承载座1内，与承载座1同轴分布，并与承载座1侧壁滑动连接，承载底托2为轴向截面呈“h”字形槽状结构，其下端面与承载座1底部间间距为0—10毫米，上端面与dd马达3连接并同轴分布，dd马达3通过传动轴7与承载托盘4下端面连接并同轴分布，承载托盘4为轴向截面呈“冂”字形槽状结构，包覆在承载座1上端面，且承载托盘4下端面与承载座1底部间间距为承载座1高度的50%—90%，承载托盘4槽底与承载座1上端面滑动连接，编码器5嵌于承载托盘4下端面并与dd马达3间通过传动轴7相互连接并同轴分布，编码器5另与接线端子6电气连接，所述接线端子6至少一个，并嵌于承载座1外侧面。

本实施例中，所述承载座1外表面设弹性密封环8，所述弹性密封环8与承载座1同轴分布并包覆在承载座1外，且所述弹性密封环8位于承载座1外侧面与承载托盘4内侧面接触面之间位置，所述弹性密封环8对应的承载座1外侧面设定位槽9，所述弹性密封环8嵌于定位槽9内，且弹性密封环8前端面高出承载座1侧表面0—5毫米。

同时，所述的承载底托2侧表面与承载座1侧壁间通过至少两条滑槽10滑动连接，所述滑槽10嵌于承载座1侧壁内并与承载座1轴线平行分布，所述滑槽10内另设一条承载弹簧11，所述承载弹簧11分别与承载底托2的下端面及承载座1底部垂直连接。

进一步优化的，所述的述承载底托2的槽底上均布若干透孔12，且位于承载底托2下端面的槽体设散热风机13，所述散热风机13与承载底托2同轴分布，且散热风机13对应的承载座1下端面设散热风口14。

重点说明的，所述的承载托盘4槽底均布若干万向滚珠15，所述万向滚珠15环绕承载托盘4轴线呈环状结构均布，且各万向滚珠15上端面通过调节弹簧16与承载托盘4槽底连接并同轴分布，下端面与承载座1上端面相抵并滑动连接，且所述万向滚珠15对应的承载座1上端面位置设与承载座1同轴分布的导向槽17，

与此同时，所述的调节弹簧16与承载托盘弹簧4槽底间通过压力传感器17连接，且各压力传感器17均相互并联，所述承载托盘4下端面另设一个三轴陀螺仪18，所述压力传感器17和三轴陀螺仪18均与至少一个接线端子6电气连接。

本新型在具体实施中，首先对构成本新型的承载座、承载底托、dd马达、承载托盘、编码器及接线端子进行组装，然后将组装后的本年新型通过承载座安装到切割机的机身指定位置，并使其轴线与水平面垂直分布，同时将本新型的接线端子与切割机设备电气连接，从而完成本新型装配。

本新型在运行中，将工件直接安装在承载托盘上，然后直接通过对dd马达驱动，并通过编码器对dd马达运行转速、方向及转动角度，达到驱动工件旋转的同时，有效减少了传动齿轮等机械结构，极大的简化了设备结构，并提高传动效率和传动控制精度；

在进行承载作业中，一方面通过承载座、承载底托及承载托盘共同提高本新型的承载能力；另一方通过滑槽及滑槽内的弹簧及承载托盘下端面的万向滚珠及承压弹簧实现在本新型承载不同重量的负载时对承载结构进行相应调整，从而确保在满足使用需要的同时，降低因负载过大而造成的机械磨损增加的缺陷。

此外，在运行中，本新型在通过编码器对转动角度、转速进行精确监控的同时，另可通过各压力传感器对承载负荷进行检测检测，便于根据承载负荷合理分配驱动作用力，同时另可通过各压力传感器压力值变化及三轴陀螺的检测参数实现对承载负荷的分布情况进行检测，防止因重力分布不均而造成的设备损毁情况发生。

本新型结构集成化、模块化程度高，且结构简单承载能力好，面具有良好的承载能力、运行作业是转矩大，且运行控制精度，并可根据承载作业的需要，在一定范围内进行相应的结构调整，从而有效的满足大负载承载及驱动调节作业的需要。

本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制。上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理。在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进。这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。