载物平台及激光加工设备的制作方法

1.本技术属于晶元加工技术领域，更具体地说，是涉及一种载物平台及激光加工设备。


背景技术：

2.随着国内显示面板行业的迅速发展，显示面板在国内的需求量急剧增加，这对显示面板的生产加工的质量也提出了更高的要求。例如，在涉及显示面板的激光切割工序中，切割过程中所产生的较小的废料或者粉尘如果不及时地清理掉的话会对切割的精度产生影响，因此需要设计一种能够及时将较小的废料以及粉尘进行清理的载物平台。


技术实现要素：

3.本技术在于提供载物平台，以解决上述背景技术所提到的技术问题。
4.本技术采用的技术方案是一种载物平台，包括
5.载物支撑件；
6.仿形件，设置于所述载物支撑件上，用于承载工件；以及
7.抽尘组件，设置于所述载物支撑件上远离仿形件的一端，并且在所述仿形件上对应所述工件的每一加工部位分别设置有抽尘通槽，所述抽尘组件的抽尘口与每一所述抽尘通槽连通。
8.可看出，上述载物平台通过载物支撑件设置抽尘组件，并在仿形件上对应工件的每一加工部位分别设置有抽尘通槽，该抽尘通槽与抽尘组件连通，使工件加工过程中所产生的废料和粉尘能够及时被抽尘组件抽走，提高工件加工的精度。
9.进一步地，在所述载物支撑件上对应抽尘通槽的区域上设置有导向槽，所述导向槽延伸至所述抽尘口处。
10.进一步地，所述导向槽内还可设置有导向件，所述导向件上设置有延伸至所述抽尘口的滑槽。
11.进一步地，所述滑槽朝向抽尘口的一侧倾斜。
12.进一步地，所述仿形件的承载面上设置有若干个吸附孔。
13.进一步地，所述仿形件包括载物安装板和仿形板；其中，
14.所述载物安装板设置于所述载物支撑件的承载面上；以及
15.所述仿形板设置于所述载物安装板上，所述吸附孔设置于所述仿形板远离载物安装板的一端，并且在所述仿形板靠近载物安装板的一端设置有与所述吸附孔连通的负压槽，所述负压槽与所述载物安装板形成负压腔体。
16.进一步地，所述载物安装板内部设置有气道，并且在所述载物安装板上对应所述负压槽的区域设置有气孔，所述气孔与所述气道连通。
17.进一步地，还包括可拆卸结构，所述仿形件通过所述可拆卸结构设置于所述载物支撑件上。
18.进一步地，所述载物平台还包括光斑分析仪和/或激光功率计，所述光斑分析仪和/或激光功率计分别设置于所述载物支撑件上，并位于激光可照射的区域上。
19.一种激光加工设备，包括激光加工头、运动平台以及以上任意一项所述的载物平台，其中，所述运动平台上设置若干个所述载物平台，所述运动平台分别驱使每一所述载物平台带动工件移动至所述激光加工头的加工区域。
20.可看出，激光加工设备设置有本技术的载物平台，能够提高对工件的加工精度。
附图说明
21.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本技术实施例提供的载物平台的结构示意图之一；
23.图2为图1所示载物平台中仿形件远离工件一端的结构示意图；
24.图3为图1所示载物平台中载物安装板靠近仿形件一端的结构示意图；
25.图4为图1所示载物平台中载物支撑件靠近载物安装板一端的结构示意图；
26.图5为图1所示载物平台的结构示意图之二。
27.附图标记：
28.400、载物平台；410、载物支撑件；420、仿形件；421、载物安装板；422、仿形板；423、负压槽；424、吸附孔；425、气孔；426、密封圈；427、加强柱；428、吸盘；429、限位槽；430、可拆卸结构；440、抽尘通槽；450、导向槽；460、导向件；461、滑槽；470、光斑分析仪；480、激光功率计；490、避空槽；500、保护盖；510、保护驱动件；
29.600、抽尘组件。
具体实施方式
30.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
31.需要说明的是，当元结构被称为“固定于”或“设置于”另一个元结构，它可以直接在另一个元结构上或者间接在该另一个元结构上。当一个元结构被称为是“连接于”另一个元结构，它可以是直接连接到另一个元结构或间接连接至该另一个元结构上。
32.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元结构必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
33.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在一些申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.本技术提供一种载物平台400，其一般设置于激光加工设备上，用于承载并固定工件，以便于激光加工设备对工件进行高精度的加工。例如，在涉及显示面板的激光切割工序中，激光加工设备需要对显示面板的外轮廓进行切割以及需要在显示面板上切割出圆形的摄像孔，因此需要载物平台400对显示面板支撑和定位，同时需要将切割过程中所产生的废料以及粉尘及时清除，以提高切割的精度。
35.结合图1，载物平台400包括载物支撑件410，载物支撑件410设置于运动平台上，且载物支撑件410上设置有仿形件420，仿形件420用于承载工件，并对工件进行定位和固定。
36.进一步地，为了便于仿形件420对工件进行固定，在仿形件420上与工件的接触的区域设置有若干个吸附孔424，吸附孔424用于吸附仿形件420所承载的工件，以防止载物平台400再带动工件移动过程中，工件发生位移。
37.进一步地，结合图1和图2，仿形件420包括载物安装板421和仿形板422，其中，载物安装板421可拆卸设置于载物支撑件410上，仿形板422设置于载物安装板421上，若干吸附孔424设置于仿形板422远离载物安装板421的一端与工件接触的区域上，并且在仿形板422靠近载物安装板421的一端设置有负压槽423，负压槽423与每一吸附孔424连通，用于向吸附孔424通入负压气体，使吸附孔424能够产生吸力对工件进行吸附。
38.进一步地，参阅图3，在载物安装板421内部还可设置有气道(图中未标示)，并且在载物安装板421上对应负压槽423的区域上设置有气孔425，该气孔425与气道连通，当仿形板422安装在载物安装板421上时负压槽423与其对应的载物安装板421的安装表面形成负压腔体，此时，气孔425恰好位于该负压腔体内，气孔425向负压腔体内通入负压气体。
39.具体地，外部真空装置通过向气道通入负压气体，该负压气体通过气孔425将负压气体通入负压腔体内，使整个负压腔体形成一个负压区，负压区使得与负压槽423连通的每一吸附孔424产生吸附力。
40.可看出，上述吸附结构通过在仿形板422靠近载物安装板421的一侧设置负压槽423，并使负压槽423与每一个吸附孔424连通，并通过在载物安装板421内设置气道以及在载物安装板421与负压槽423相对应的区域设置气孔425，当仿形板422安装到载物安装板421上时负压槽423与载物安装板421之间即可形成负压腔体，该负压腔体可以均匀使每一个吸附孔424产生吸附力，并且该方式使整个吸附结构中的负压腔体的加工更加简单方便，同时保证每个吸附孔424的吸附力一致。
41.进一步地，参阅图3，在仿形板422与载物安装板421之间还可设置有密封结构，该密封结构对负压槽423与其对应的载物安装板421的安装表面所形成的负压腔体起到密封的作用。
42.具体地，在仿形板422上或载物安装板421上环绕负压腔体设置有密封槽，在该密封槽内设置有密封圈426，当仿形板422安装在载物安装板421上时，密封圈426起密封的作用。
43.可选地，参阅图2，在负压槽423内还可设置有若干个加强柱427，该加强柱427对负压槽423所对应的仿形板422起加强支撑的作用，防止仿形板422对应负压槽423的部分因受到负压槽423内负压的作用产生凹陷变形，进而也可能使得仿形板422所承载的工件被吸附变形。
44.此外，在一些实施例中，工件可能包括有两个部分或者多个部分，例如，当工件为
显示面板时，其包括面板部分以及与面板部分连接的fpc部分(柔性线路板)。参阅图1，针对该类型的工件，仿形件420一般需要同时对工件的两个部分进行固定，因此，除了在仿形件420对应工件第一部分的区域设置上述吸附孔424之外，还可在仿形件420对应工件第二部分的区域设置若干个吸盘428用于对第二部分进行吸附固定。
45.此外，在本技术中，仿形件420中的载物安装板421可拆卸设置于载物支撑件410上，可实现仿形件420与载物支撑件410的可拆卸连接，使载物平台400可根据不同的工件更换不同的仿形件420，提高载物平台400的兼容性。
46.具体地，载物安装板421与载物支撑件410之间可设置有可拆卸结构430。在本技术中，可拆卸结构430可以是吸附装置，吸附装置可设置于载物支撑件410上，并且该吸附装置包括有定位孔，在载物安装板421与载物支撑件410接触的一端设置有与定位孔相配合的定位柱(图中未标示)，载物安装板421通过该定位柱安装至吸附装置的定位孔内完成定位，并且吸附装置可通过该定位孔对载物安装板421定位柱进行吸附，使载物安装板421的固定在载物支撑件410上。
47.进一步地，在载物支撑件410上还可设置有限位槽429，当载物安装板421安装在载物支撑件410上时，限位槽429对载物安装板421起到初步定位的作用，提高安装的效率。
48.在其它实施例中，可拆卸结构430还可使卡扣结构或者螺栓结构等。
49.参阅图4，激光加工设备还可包括抽尘组件600，抽尘组件600设置于载物平台400上，用于将工件加工过程中所产生的废料以及粉尘抽走。
50.具体地，结合图1和图4，抽尘组件600设置于载物支撑件410上，并且在仿形件420上对应工件的每一加工部位分别设置有抽尘通槽440(即在仿形件420中的仿形板422和载物安装板421上对应工件的每一加工部位均分别设置有抽尘通槽440)，抽尘组件600通过抽尘口与抽尘通槽440连通，使工件加工过程中所产生的废料以及粉尘在抽尘组件600的作用下通过抽尘通槽440被抽尘组件600抽走。
51.例如，当工件为显示面板时，激光加工头需要对面板部分的外形轮廓进行切割加工，以及需要在面板部分上切割形成至少一个摄像孔，因此需要在仿形板422和载物安装板421上对应外形轮廓的切割位置以及摄像孔加工位置设置抽尘通槽440，对外形轮廓切割过程中所产生的粉尘以及对摄像孔切割所产生的圆形废料通过对应的抽尘通槽440在抽尘组件600的作用下被抽走。
52.进一步地，参阅图4，在载物支撑件410上对应抽尘通槽440的区域设置有导向槽450，并且该导向槽450延伸至抽尘组件600的抽尘口处，与抽尘口连通。具体地，工件加工过程中所产生的废料通过抽尘通槽440被吸到掉落在导向槽450内，并在抽尘组件600的作用下沿着导向槽450进入到抽尘组件600的抽尘口处。
53.可选地，在一些实施例中，导向槽450可向抽尘口一侧倾斜设置，以便于掉落在导向槽450内的废料更容易在吸力的作用下沿导向槽450滑落到抽尘口处。
54.进一步地，在导向槽450内可拆卸设置有导向件460，在导向件460上设置有延伸至抽尘口的滑槽461，工件加工过程中所产生的废料通过抽尘通槽440掉落在该滑槽461内。
55.具体地，导向件460的一端可通过螺栓可拆卸地安装在载物安装板421与承载面相对的底面上。
56.可理解，废料从抽尘通槽440掉落之后通过抽尘组件600所产生吸力驱动废料沿着
滑槽461移动抽尘口处，因此为了提高废料下料的效率，需要保证滑槽461的表面光滑程度，而切割后所产生的废料在滑动过程中可能会与滑槽461的表面产生划痕，特别是当该导向件460使用的时间较长之后，滑槽461的表面会变得越来越粗糙，使废料不能很顺畅移动到抽尘口处，所以在本技术中通过在导向槽450内可拆卸设置导向件460，可以根据导向件460的磨损程度更换新的导向件460，使废料能够始终保持顺畅地滑动到抽尘口处。
57.可选地，在一些实施例中，导向件460上设置的滑槽461可向抽尘组件600的抽尘口一侧倾斜设置，以便于掉落在滑槽461内的废料更容易地沿滑槽461滑落到抽尘组件600的抽尘口处，提高废料下料的效率。
58.可看出，上述载物平台400通过载物支撑件410设置抽尘组件600，并在仿形件420上对应工件的每一加工部位分别设置有抽尘通槽440，该抽尘通槽440与抽尘组件600连通，使工件加工过程中所产生的废料和粉尘能够及时被抽尘组件600抽走，提高工件加工的精度。
59.结合图1和图5，载物平台400还可包括有光斑分析仪470和/或激光功率计480，光斑分析仪470和/或激光功率计480分别设置于载物支撑件410上，并位于激光可照射的区域，其中，光斑分析仪470用于测得激光加工头所发射激光的光斑形貌，激光功率计480用于测得激光加工头所发射激光的功率。
60.具体地，在一些实施例中，当激光加工设备上设置有多个载物平台400时，可在其中一个载物平台400的载物支撑件410上设置光斑分析仪470，在另一个载物平台400的载物支撑件410上设置激光功率计480，使多个载物平台400相互配合分别对激光加工设备的同一个激光加工头测试不同的激光参数，而不需要在同一个载物平台400上同时设置光斑分析仪470和激光功率计480，降低成本。
61.在其它实施例中，光斑分析仪470和激光功率计480也可同时设置于同一个载物平台400上，使一个载物平台400能够同时对激光的光斑和激光的功率进行检测。
62.进一步地，载物平台400还可包括有保护盖500，保护盖500活动设置于载物支撑件410上，用于打开或关闭激光功率计480的检测部位。
63.具体地，载物平台400还可保护驱动件510，保护驱动件510设置于载物支撑件410上，且保护驱动件510的驱动端与保护盖500驱动连接，用于驱动保护盖500朝靠近或远离激光功率计480的检测部位的方向移动，实现打开或关闭激光功率计480的检测部位，在激光功率计480不使用时，对其进行保护。
64.此外，本技术还提供一种激光加工设备，其包括激光加工头、运动平台以及以上所述的载物平台400，其中，激光加工头设置于运动平台的上方，运动平台上设置若干个载物平台400，运动平台分别驱使每一载物平台400带动工件移动至所述激光加工头的加工区域，激光加工头对位于该区域的工件进行加工。
65.可看出，激光加工设备设置有本技术的载物平台，能够提高对工件的加工精度。
66.以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在一些申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在一些申请的保护范围之内。