一种钽材料批量切割防掉落装置的制作方法

1.本发明属于靶材加工领域，涉及一种防掉落装置，尤其涉及一种钽材料批量切割防掉落装置。


背景技术：

2.随着电子技术的高速发展，钽溅射靶材在集成电路中的应用越来越广泛。溅射过程，主要通过物理汽化喷镀工艺(物理气相沉积pvd)即用高压加速气态离子轰击，使靶材的原子被溅射出来并以薄膜的形式沉积在硅片或其他基板上，再配合光刻等工艺，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。物理气相沉积是半导体芯片生产过程中最关键的工艺之一，是通过溅射机台来完成的，环件就是用于上述工艺中一种非常重要的关键耗材。环件通过凸起的连接部钽knob与溅射设备连接。
3.钽knob的生产，一般是用钽锭做原料，将钽锭切割成一定尺寸的钽块后，通过挤压得到细长的钽棒，然后再切割成一段一段的小圆柱料，通过退火+冲压成型得到需要的成型钽knob坯料，最后进行机械加工到成品。切割工序中，常规的切割方式有两种：方式1、由送料装置夹持辅助防护装置进行防护后分切下料，通过夹持夹具保护防止产品碰伤，每切割一次就需要重新拆开夹具取出产品，然后重新装夹进行后续产品加工，操作步骤繁琐效率低；方式2、直接将产品放置切割设备上不进行保护直接进行切割，切割后产品掉落至机床平台或收料装置中，此方式效率高，但是产品表面容易损伤，需要增加产品表面加工余量，这个方式会增加材料成本。
4.cn213945225u公开了一种用于圆钢坯的切割设备装置，切割机架坐落在圆坯切割位上；控制箱、减速电机和切割机箱体均设置在底座上端；四连杆仿形机构包括支臂、横臂和转动轴，两个支臂通过转动轴设置在切割机箱体两端，一端的主动支臂和另一端被动支臂通过横臂、销轴连接一起；限位器设置在减速电机前端，限位器主动轴一端与减速电机连接，另一端通过切割机箱体上的轴承与主动支臂相连接；阻尼器的轴设置在切割机箱体另一端通过切割机箱体上的轴承与被动支臂相连接；切割枪设置在枪架上，切割枪上端设有燃气和切割氧气。
5.cn205085518u公开了一种大圆坯离线可调速辅助切割装置，包括切割介质箱、切割小车、拖链、电气控制箱、切割渣存储斗、切割枪、切割枪轨道，其特征在于，所述的切割小车下方有四个轮子，所述的切割小车下方有与其相配合的且固定于地面的两条相互平行轨道，切割小车通过四个轮子在两条轨道上前后滑行，在两条轨道之间、切割小车的底部有切割渣存储斗，切割介质箱安装在切割小车轨道一侧。


技术实现要素：

6.为解决现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种钽材料批量切割防掉落装置，所述装置切割产品后，可防止产品掉落，有效保护产品外观，同时可实现批量切割提高生产效率。
7.为达到上述技术效果，本发明采用以下技术方案：
8.本发明提供一种钽材料批量切割防掉落装置，所述装置包括夹持组件与承载组件，所述夹持组件设置于所述承载组件上部，所述夹持组件与所述承载组件活动连接，所述承载组件下部设置有移动组件，所述承载组件沿所述移动组件移动。
9.作为本发明优选的技术方案，所述夹持组件设置有至少2个凹槽，所述凹槽平行设置，所述凹槽平行设置。其中，凹槽的个数可以是3个、4个、5个或6个等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
10.作为本发明优选的技术方案，所述凹槽用于承装钽锭。
11.作为本发明优选的技术方案，所述夹持组件以及所述凹槽内部设置有保护层。
12.本发明中，凹槽平行设置于所述夹持组件，用于盛纳被切割的材料，防止被切割材料在切割时发生移动。所述凹槽的形状可以根据被切割材料的形状的不同进行设置。所述凹槽内部的保护层可以为软材料，防止被切割材料在固定或切割过程中碰伤，软材料可以是塑料、橡胶或木料等，可以根据被切割材料的性质进行具体选择。
13.本发明中，所述夹持臂内部也可设置保护层，所述保护层可以为软材料，防止被切割材料在固定或切割过程中碰伤，软材料可以是塑料、橡胶或木料等，可以根据被切割材料的性质进行具体选择。
14.作为本发明优选的技术方案，所述承载组件包括至少2根横梁，如3根、4根、5根或6根等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，所述夹持组件设置于所述横梁上部。
15.作为本发明优选的技术方案，所述夹持组件垂直于所述横梁设置。
16.作为本发明优选的技术方案，所述活动连接包括所述夹持组件通过拆卸或移动设置于所述横梁，以调整相邻夹持组件的距离。
17.本发明中，夹持组件可以通过如螺栓等锁紧组件，实现拆卸，在横梁上设置对应空位，以调整夹持组件的位置，从而通过相邻的夹持组件的间距的变化调整切割的钽材料的长度。还可以通过在横梁上部设置滑轨的方式，通过滑动来调整横梁的位置。但并不仅限于上述方式，其他可以实现夹持组件位置调整的方式均可以应用于该装置。
18.作为本发明优选的技术方案，所述移动组件包括滑轨。
19.本发明中，通过在夹持组件下方来移动横梁，通过调整横梁的位置来达到移动夹持组件中的钽材料的目的，以满足切割的需要。
20.作为本发明优选的技术方案，所述装置还包括切割组件。
21.作为本发明优选的技术方案，所述切割组件的切割方式包括刀具切割、水切割或激光切割中的任意一种。
22.本发明中，所述钽材料批量切割防掉落装置的运行方式为：
23.将钽材料置于夹持组件的凹槽中，根据钽材料的长度以及切割段的长度调整夹持组件的数量，并移动夹持组件至合适位置，夹持组件扣合夹紧钽材料；移动承载组件使钽材料位于合适位置，并开始切割，切割完成后夹持组件仍然对切割段保持夹持状态，避免了切割段掉落或移动造成的钽材料外观碰伤的情况。
24.与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
25.本发明提供一种钽材料批量切割防掉落装置，所述装置切割产品后，可防止产品
掉落，有效保护产品外观，同时可实现批量切割提高生产效率。
附图说明
26.图1为本发明实施例1提供的钽材料批量切割防掉落装置的结构俯视图；
27.图2为本发明实施例2提供的钽材料批量切割防掉落装置的结构正视图；
28.图中：1-夹持组件，2-承载组件，3-移动组件，4-钽锭。
29.下面对本发明进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本发明的简易例子，并不代表或限制本发明的权利保护范围，本发明的保护范围以权利要求书为准。
具体实施方式
30.为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，本发明的典型但非限制性的实施例如下：
31.实施例1
32.本实施例提供一种钽材料批量切割防掉落装置，所述装置包括夹持组件1与承载组件2，所述夹持组件1设置于所述承载组件2上部，所述夹持组件1与所述承载组件2活动连接，所述承载组件2下部设置有移动组件3，所述承载组件2沿所述移动组件3移动，所述移动组件3为滑轨；
33.所述夹持组件1设置有2个凹槽，所述凹槽平行设置，所述凹槽用于承装钽锭4，所述夹持组件1以及所述凹槽内部设置有保护层；
34.所述承载组件2包括2根横梁，所述夹持组件1设置于所述横梁上部，所述夹持组件1垂直于所述横梁设置；
35.所述活动连接包括所述夹持组件1通过拆卸或移动设置于所述横梁，以调整相邻夹持组件1的距离；
36.所述装置还包括切割组件，所述切割组件的切割方式为刀具切割。
37.应用例1
38.将2条钽锭4置于夹持组件1的凹槽中，根据钽锭4的长度以及切割段的长度调整夹持组件1的数量，并移动夹持组件1至合适位置，夹持组件1扣合夹紧钽材料；移动承载组件2使钽锭4位于合适位置，并开始切割，切割完成后夹持组件1仍然对切割段保持夹持状态，避免了切割段掉落或移动造成的钽材料外观碰伤的情况。
39.实施例2
40.本实施例除了夹持组件1凹槽的数量为3，夹持组件数量为6外，其余条件均与实施例1相同。
41.实施例3
42.本实施例除了夹持组件1凹槽的数量为4，夹持组件数量为4外，其余条件均与实施例1相同。
43.申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
44.以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
45.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
46.此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。